ເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກລຸ້ນຕໍ່ໄປກຳລັງກຳນົດຂອບເຂດຂອງຄວາມແມ່ນຍຳສູງສຸດຄືນໃໝ່ບໍ?

ໃນຫ້ອງໂຖງທີ່ງຽບສະຫງົບຂອງຫ້ອງທົດລອງການວັດແທກ, ຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດເຄິ່ງຕົວນຳ, ແລະຊຸດການວັດແທກການບິນອະວະກາດ, ການປະຕິວັດທີ່ງຽບສະຫງົບກຳລັງດຳເນີນຢູ່. ມັນບໍ່ໄດ້ຖືກຂັບເຄື່ອນໂດຍຊອບແວ ຫຼື ເຊັນເຊີພຽງຢ່າງດຽວ - ແຕ່ໂດຍວັດສະດຸທີ່ເປັນພື້ນຖານຂອງການວັດແທກເອງ. ຢູ່ແຖວໜ້າຂອງການປ່ຽນແປງນີ້ແມ່ນເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກທີ່ກ້າວໜ້າ, ລວມທັງໄມ້ບັນທັດອາກາດເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ ແລະທໍ່ຊິລິໂຄນຄາໄບ (Si-SiC) ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ມີຄວາມແຂງແກ່ນເປັນພິເສດ. ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນເຄື່ອງມືເທົ່ານັ້ນ; ພວກມັນເປັນຕົວກະຕຸ້ນຂອງຍຸກໃໝ່ທີ່ຄວາມໝັ້ນຄົງ, ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້, ແລະຄວາມເປັນກາງທາງຄວາມຮ້ອນແມ່ນບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້.

ເປັນເວລາຫຼາຍກວ່າເຄິ່ງສະຕະວັດແລ້ວ, ຫີນແກຣນິດສີດຳໄດ້ຄອບງຳການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳ. ການດູດຊຶມຕາມທຳມະຊາດ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ຄວາມຮາບພຽງທີ່ດີເລີດເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ນິຍົມໃຊ້ສຳລັບແຜ່ນພື້ນຜິວ, ຮູບສີ່ຫຼ່ຽມມົນ, ແລະ ຂອບຊື່. ແຕ່ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆກ້າວໄປສູ່ຄວາມທົນທານຂອງຂະໜາດຍ່ອຍໄມຄຣອນ ແລະ ແມ່ນແຕ່ນາໂນແມັດ - ໂດຍສະເພາະໃນການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າເຄິ່ງຕົວນຳ, ທັດສະນະອະວະກາດ, ແລະ ການປະມວນຜົນແບບຄວອນຕຳ - ຂໍ້ຈຳກັດຂອງຫີນແກຣນິດໄດ້ກາຍເປັນທີ່ເຫັນໄດ້ຊັດເຈນຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ມັນມີນ້ຳໜັກຫຼາຍ, ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການເກີດຊິບຂະໜາດນ້ອຍພາຍໃຕ້ການຕິດຕໍ່ຊ້ຳໆ, ແລະ ເຖິງວ່າຈະມີຊື່ສຽງ, ແຕ່ມັນຍັງສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງໃນໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ ຫຼື ຄວາມຜັນຜວນຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ.

ເຂົ້າສູ່ໂລກເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາວິສະວະກຳ: ບໍ່ແມ່ນເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາທີ່ແຕກຫັກງ່າຍໃນຈິນຕະນາການປະຈຳວັນ, ແຕ່ເປັນວັດສະດຸທີ່ໜາແໜ້ນ, ເປັນເອກະພາບ, ແລະມີປະສິດທິພາບສູງ ເຊິ່ງຖືກປັ້ນພາຍໃຕ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມກົດດັນທີ່ຮຸນແຮງ. ໃນບັນດາສິ່ງເຫຼົ່ານີ້, ມີສອງຊັ້ນຮຽນທີ່ໂດດເດັ່ນສຳລັບການນຳໃຊ້ດ້ານການວັດແທກ: ອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (Al₂O₃) ແລະ ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຜູກມັດດ້ວຍປະຕິກິລິຍາ (Si-SiC). ໃນຂະນະທີ່ທັງສອງສະເໜີການປັບປຸງທີ່ໜ້າປະທັບໃຈຫຼາຍກວ່າວັດສະດຸແບບດັ້ງເດີມ, ພວກມັນມີບົດບາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ - ແລະຮ່ວມກັນ, ພວກມັນເປັນຕົວແທນຂອງສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ໃນການວັດແທກມິຕິ.

ຍົກຕົວຢ່າງເຊັ່ນ: ໄມ້ບັນທັດອາກາດເຊລາມິກ. ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ກັບຂັ້ນຕອນທີ່ມີອາກາດ ຫຼື ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່ແສງ, ເຄື່ອງມືນີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຊື່ທີ່ເກືອບສົມບູນແບບ, ມວນສານໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ແລະ ບໍ່ມີການລອຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ.ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກ—ຖືກເຄື່ອງຈັກໃຫ້ມີຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຊື່ພາຍໃນ ±0.5 µm ໃນໄລຍະ 500 ມມ ແລະ ຂັດໃຫ້ມີຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວຕໍ່າກວ່າ Ra 0.02 µm—ໃຫ້ຜົນແບບນັ້ນແນ່ນອນ. ຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳຂອງມັນ (~3.6 g/cm³) ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມเฉื่อยໃນລະບົບການວັດແທກແບບໄດນາມິກ, ໃນຂະນະທີ່ລັກສະນະທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ, ບໍ່ນຳໄຟຟ້າຂອງມັນຊ່ວຍກຳຈັດຄວາມລົບກວນໃນສະພາບແວດລ້ອມເອເລັກໂຕຣນິກ ຫຼື ແມ່ເຫຼັກທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ໃນເຄື່ອງມືກວດກາແຜ່ນເວເຟີ ຫຼື ການຕັ້ງຄ່າການປັບທຽບເຄື່ອງຕິດຕາມເລເຊີ, ບ່ອນທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າພຽງແຕ່ໄມຄຣອນຂອງຫົວໂຄ້ງກໍ່ສາມາດບິດເບືອນຜົນໄດ້ຮັບໄດ້, ໄມ້ບັນທັດອາກາດເຊລາມິກໃຫ້ຂໍ້ມູນອ້າງອີງທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາທີ່ຍັງຄົງເປັນຄວາມຈິງຕະຫຼອດການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ວົງຈອນການດຳເນີນງານ.

ແຕ່ເມື່ອຕ້ອງການຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ - ເຊັ່ນ: ໃນການຈັດລຽນກະຈົກກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດ ຫຼື ການວັດແທກຊ່ອງແສງເລເຊີພະລັງງານສູງ - ວິສະວະກອນຫັນໄປຫາສ່ວນປະກອບຮູບສີ່ຫຼ່ຽມມົນຊິລິກອນ-ຄາໄບດ໌ (Si-SiC) ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ. Si-SiC ແມ່ນໜຶ່ງໃນບັນດາວັດສະດຸທີ່ແຂງທີ່ສຸດທີ່ຮູ້ຈັກ, ດ້ວຍໂມດູນຂອງ Young ເກີນ 400 GPa - ຫຼາຍກວ່າສາມເທົ່າຂອງເຫຼັກ - ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທຽບເທົ່າກັບອາລູມິນຽມ. ສິ່ງສຳຄັນ, ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ຂອງມັນສາມາດຖືກອອກແບບໃຫ້ກົງກັບແວ່ນຕາ optical ຫຼື ແຜ່ນຊິລິກອນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ແຕກຕ່າງກັນເກືອບສູນໃນການປະກອບແບບປະສົມ. ຮູບສີ່ຫຼ່ຽມມົນ Si-SiC ທີ່ໃຊ້ເປັນເອກະສານອ້າງອີງຫຼັກໃນເຄື່ອງມືການພິມ EUV ຈະບໍ່ພຽງແຕ່ຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນ - ມັນຈະຕ້ານທານການບິດເບືອນຈາກຄວາມຮ້ອນຫຼືການສັ່ນສະເທືອນໃນທ້ອງຖິ່ນ.

ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ຜົນສຳເລັດເຫຼົ່ານີ້ເປັນໄປໄດ້ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນວັດສະດຸເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນຄວາມຊຳນານໃນການຜະລິດເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກອີກດ້ວຍ. ຕົວຢ່າງ, ການເຄື່ອງຈັກ Si-SiC ແບບແມ່ນຍຳສູງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີລໍ້ບົດເພັດ, ແພລດຟອມ CNC ຂະໜາດ submicron, ແລະຂະບວນການຂັດຫຼາຍຂັ້ນຕອນທີ່ດຳເນີນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອເລັກນ້ອຍຈາກການເຜົາທີ່ບໍ່ເໝາະສົມກໍ່ສາມາດນຳໄປສູ່ການບິດເບືອນຫຼັງການເຄື່ອງຈັກ. ນັ້ນແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າມີພຽງແຕ່ຜູ້ຜະລິດທົ່ວໂລກຈຳນວນໜ້ອຍເທົ່ານັ້ນທີ່ລວມເອົາການສັງເຄາະວັດສະດຸ, ການຂຶ້ນຮູບແບບແມ່ນຍຳສູງ, ແລະການວັດແທກສຸດທ້າຍພາຍໃຕ້ຫຼັງຄາດຽວ - ຄວາມສາມາດທີ່ແຍກຜູ້ຜະລິດລະດັບການວັດແທກທີ່ແທ້ຈິງອອກຈາກຜູ້ສະໜອງເຊລາມິກທົ່ວໄປ.

ທີ່ບໍລິສັດ ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), ການເຊື່ອມໂຍງແນວຕັ້ງນີ້ແມ່ນຈຸດໃຈກາງຂອງພາລະກິດຂອງພວກເຮົາ. ເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກຂອງພວກເຮົາ—ລວມທັງແບບເຄື່ອງໝາຍເສັ້ນຊື່ອາກາດເຊລາມິກທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງຕາມມາດຕະຖານ DIN 874 ຊັ້ນ AA ແລະສິ່ງປະດິດຮູບຊົງຂະໜານຊິລິກອນຄາໄບດ໌ (Si-Si-C) ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ຮູບຊົງສີ່ຫຼ່ຽມມົນທີ່ສາມາດຕິດຕາມໄດ້ຕາມມາດຕະຖານ PTB ແລະ NIST—ແມ່ນຜະລິດຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດ ISO ຊັ້ນ 7 ໂດຍໃຊ້ໂປໂຕຄອນການເຜົາ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ. ທຸກໆອົງປະກອບໄດ້ຜ່ານການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງແບບ interferometric ຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ການກວດສອບ CMM ຂອງຄວາມທົນທານທາງເລຂາຄະນິດ (ຄວາມຮາບພຽງ, ຄວາມຂະໜານ, ຄວາມຕັ້ງສາກ), ແລະ ການທົດສອບຄວາມສົມບູນຂອງພື້ນຜິວກ່ອນການຂົນສົ່ງ. ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນສິ່ງປະດິດຊັ້ນອ້າງອີງທີ່ບໍ່ພຽງແຕ່ຕອບສະໜອງສະເປັກເທົ່ານັ້ນ—ມັນຍັງເກີນຄວາມແນ່ນອນຂອງພວກມັນໃນທົ່ວກຸ່ມ.

ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບປະສິດທິພາບດັ່ງກ່າວກຳລັງເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາ. ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ລະບົບ EUV ແລະ ລະບົບການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າທີ່ມີ NA ສູງຕ້ອງການໂຄງສ້າງການຈັດລຽນທີ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃນຫຼາຍສິບນາໂນແມັດໃນໄລຍະທາງແມັດ - ເປັນໄປບໍ່ໄດ້ຖ້າບໍ່ມີການປະສານສົມທົບກັນທາງດ້ານຄວາມຮ້ອນ-ກົນຈັກຂອງ Si-SiC. ໃນການບິນອະວະກາດ, ໂຕະແສງດາວທຽມທີ່ເຮັດດ້ວຍການອ້າງອີງເຊລາມິກຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນວົງໂຄຈອນເຖິງວ່າຈະມີວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ. ເຖິງແມ່ນວ່າໃນຂົງເຂດທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາເຊັ່ນ: ການກວດຈັບຄື້ນແຮງໂນ້ມຖ່ວງ ຫຼື ການພັດທະນາໂມງປະລະມານູ, ບ່ອນທີ່ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນລະດັບ picometer ມີຄວາມສຳຄັນ, ສິ່ງປະດິດວັດແທກເຊລາມິກ ແລະ Si-SiC ກຳລັງກາຍເປັນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້.

ສິ່ງສຳຄັນທີ່ສຸດ, ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຍັງແກ້ໄຂບັນຫາຄວາມຍືນຍົງ ແລະ ຕົ້ນທຶນທັງໝົດໃນການເປັນເຈົ້າຂອງ. ໃນຂະນະທີ່ການລົງທຶນເບື້ອງຕົ້ນໃນທໍ່ຊິລິກອນ-ຄາໄບດ໌ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງອາດຈະເກີນກວ່າໂລຫະແກຣນິດທຽບເທົ່າ, ແຕ່ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງມັນສາມາດຍາວນານກວ່າ 5–10 ເທົ່າໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການນຳໃຊ້ສູງ. ມັນບໍ່ຕ້ອງການການໃສ່ນ້ຳມັນ, ຕ້ານທານກັບຕົວລະລາຍ ແລະ ພລາສມາທົ່ວໄປທັງໝົດ, ແລະ ບໍ່ຕ້ອງການການປັບທຽບໃໝ່ເນື່ອງຈາກການດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ - ບໍ່ຄືກັບເຫຼັກຫຼໍ່ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ຫີນແກຣນິດບາງຊະນິດ. ສຳລັບຜູ້ຈັດການຄຸນນະພາບທີ່ດຳເນີນງານພາຍໃຕ້ມາດຕະຖານ AS9100, ISO 13485, ຫຼື SEMI, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືນີ້ແປໂດຍກົງໄປສູ່ການຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ, ການຄົ້ນພົບການກວດສອບໜ້ອຍລົງ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນໃຈຂອງລູກຄ້າທີ່ຫຼາຍຂຶ້ນ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມງາມທາງດ້ານຄວາມງາມ ແລະ ໜ້າທີ່ການໃຊ້ງານຂອງເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ຄວນຖືກມອງຂ້າມ. ຮູບສີ່ຫຼ່ຽມ Si-SiC ທີ່ຂັດເງົາເຫຼື້ອມເປັນເງົາງາມດ້ວຍໂລຫະ ແຕ່ມີນ້ຳໜັກເບົາກວ່າເຫຼັກ. ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກທີ່ເຮັດດ້ວຍລົມໃຫ້ຄວາມຮູ້ສຶກແຂງແຮງ ແຕ່ຍົກຂຶ້ນໄດ້ງ່າຍ - ເໝາະສຳລັບການກວດສອບດ້ວຍຕົນເອງໃນພື້ນທີ່ແຄບ. ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ທີ່ເນັ້ນໃສ່ມະນຸດເປັນສູນກາງມີຄວາມສຳຄັນໃນຫ້ອງທົດລອງໃນໂລກຕົວຈິງ ບ່ອນທີ່ການອອກແບບທີ່ເໝາະສົມກັບສະລີລະວິທະຍາ ແລະ ຄວາມສະດວກໃນການໃຊ້ງານມີອິດທິພົນຕໍ່ການເຮັດວຽກປະຈຳວັນ.

ດັ່ງນັ້ນ, ເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກກຳລັງກຳນົດຄວາມແມ່ນຍຳສູງພິເສດຄືນໃໝ່ບໍ? ຄຳຕອບແມ່ນຢູ່ໃນຂໍ້ມູນ - ແລະ ໃນບັນຊີລາຍຊື່ຜູ້ນຳທົ່ວໂລກທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ ເຊິ່ງປະຈຸບັນລະບຸພວກມັນເປັນມາດຕະຖານ. ຈາກສະຖາບັນວັດແທກແຫ່ງຊາດທີ່ກວດສອບມາດຕະຖານຄວາມຍາວລຸ້ນຕໍ່ໄປ ຈົນເຖິງຜູ້ສະໜອງຊັ້ນ 1 ທີ່ຮັບຮອງອົງປະກອບລະບົບຂັບເຄື່ອນ EV, ການປ່ຽນແປງແມ່ນຈະແຈ້ງ: ເມື່ອຄວາມບໍ່ແນ່ນອນຕ້ອງໄດ້ຮັບການຫຼຸດຜ່ອນໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ວິສະວະກອນໄວ້ວາງໃຈເຊລາມິກວິສະວະກຳ.

ແລະ ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳຍັງສືບຕໍ່ເດີນໜ້າຢ່າງບໍ່ຢຸດຢັ້ງໄປສູ່ການຄວບຄຸມຂະໜາດປະລະມານູ, ຄວາມຈິງຢ່າງໜຶ່ງກໍ່ກາຍເປັນສິ່ງທີ່ປະຕິເສດບໍ່ໄດ້: ອະນາຄົດຂອງການວັດແທກຈະບໍ່ຖືກແກະສະຫຼັກຈາກຫີນ ຫຼື ຫລໍ່ດ້ວຍໂລຫະ. ມັນຈະຖືກເຜົາ, ບົດ, ແລະ ຂັດເງົາໃນເຊລາມິກ ແລະ ຊິລິກອນຄາໄບ.

ບໍລິສັດ ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ເປັນຜູ້ປະດິດສ້າງທີ່ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບທົ່ວໂລກໃນວິທີແກ້ໄຂການວັດແທກເຊລາມິກ ແລະ ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ZHHIMG ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນເຄື່ອງມືວັດແທກເຊລາມິກ, ໄມ້ບັນທັດອາກາດເຊລາມິກ, ແລະ ສ່ວນປະກອບທໍ່ຂະໜານ ແລະ ສີ່ຫຼ່ຽມມົນຊິລິກອນຄາໄບດ໌ (Si-SiC) ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ສົ່ງມອບສິ່ງປະດິດທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງຢ່າງຄົບຖ້ວນໃນລະດັບຫ້ອງທົດລອງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ເຄິ່ງຕົວນໍາ, ການບິນອະວະກາດ, ການປ້ອງກັນປະເທດ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ. ໄດ້ຮັບການສະໜັບສະໜູນຈາກການຮັບຮອງ ISO 9001, ISO 14001, ແລະ CE, ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໄດ້ຮັບຄວາມໄວ້ວາງໃຈຈາກວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຢີຊັ້ນນໍາທົ່ວໂລກ. ສຳຫຼວດຜະລິດຕະພັນການວັດແທກຂັ້ນສູງຂອງພວກເຮົາໄດ້ທີ່www.zhhimg.com.