ໃນໂລກຂອງການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ—ບ່ອນທີ່ຄວາມທົນທານຫົດຕົວຕໍ່າກວ່າ 5 ໄມຄຣອນ ແລະ ການເຄືອບຜິວໜ້າເຂົ້າໃກ້ຄຸນນະພາບທາງສາຍຕາ—ເຄື່ອງມືທີ່ພວກເຮົາເພິ່ງພາອາໄສຕ້ອງພັດທະນາເກີນປະເພນີ. ເປັນເວລາຫຼາຍທົດສະວັດ, ເຫຼັກກ້າ ແລະ ຫີນແກຣນິດໄດ້ປົກຄອງຕຳແໜ່ງວັດແທກ. ແຕ່ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ທັດສະນະທາງການບິນ ແລະ ອຸປະກອນຈຸລະພາກທາງການແພດໄດ້ກ້າວເຂົ້າສູ່ໂລກທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າການລອຍຕົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ການສວມໃສ່ດ້ວຍກ້ອງຈຸລະທັດກໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດທີ່ບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້, ເຄື່ອງມືອ້າງອີງປະເພດໃໝ່ກຳລັງເກີດຂຶ້ນ: ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານັ້ນບໍ່ໄດ້ຜະລິດຈາກໂລຫະ ຫຼື ຫີນ, ແຕ່ມາຈາກເຊລາມິກດ້ານວິຊາການທີ່ກ້າວໜ້າ.
ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາໄດ້ກ້າວໄປໄກກວ່າການສະເໜີໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຫຼື ຜະລິດຕະພັນໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກສີ່ຫລ່ຽມ. ພວກເຮົາກຳລັງກຳນົດນິຍາມໃໝ່ວ່າຂອບຊື່ສາມາດເປັນໄດ້ແນວໃດ — ໂດຍການລວມເອົາວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງສຸດເຂົ້າກັບການອອກແບບທີ່ທັນສະໄໝ, ລວມທັງໄມ້ບັນທັດລອຍອາກາດເຊລາມິກແບບກຳນົດເອງທີ່ທັນສະໄໝຂອງພວກເຮົາ, ເຊິ່ງເປັນວິທີແກ້ໄຂທີ່ກຳຈັດການຕິດຕໍ່ທາງກົນຈັກທັງໝົດ ໃນຂະນະທີ່ໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນລະດັບນາໂນແມັດ.
ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ເຊລາມິກ? ຄຳຕອບເລີ່ມຕົ້ນທີ່ລະດັບໂມເລກຸນ. ບໍ່ເຫມືອນກັບເຫຼັກກ້າ—ເຊິ່ງຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕາມອຸນຫະພູມ—ຫຼື ຫີນແກຣນິດ—ເຊິ່ງເຖິງວ່າຈະມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ແຕ່ຍັງມີຮູພຸນ ແລະ ມີຄວາມແຕກຕ່າງກັນ—ເຊລາມິກທີ່ວິສະວະກຳເຊັ່ນ: ອາລູມິນາທີ່ທົນທານດ້ວຍເຊີໂຄເນຍ (ZTA) ແລະ ຊິລິກອນໄນໄຕຣດ ມີຄວາມพรຸນເກືອບສູນ, ຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນ (1400–1800 HV), ແລະ ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າເຖິງ 3–4 µm/m·°C. ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າ Ceramic Straight Edge ຈາກ ZHHIMG ຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນໄວ້ໄດ້ຕະຫຼອດການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ ເຊິ່ງຈະເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງມືທຳມະດາບິດເບືອນໄປຫຼາຍໄມຄຣອນ.
ແຕ່ວັດສະດຸຢ່າງດຽວຍັງບໍ່ພຽງພໍ. ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຂອງພວກເຮົາແຕກຕ່າງຢ່າງແທ້ຈິງແມ່ນຄວາມແມ່ນຍຳຂອງການຜະລິດຂອງມັນ. ໂດຍການໃຊ້ການບົດເພັດ, ການຂັດເງົາພາຍໃຕ້ຮູຮັບແສງ, ແລະ ການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເລເຊີໃນຫ້ອງສະອາດ ISO Class 5, ພວກເຮົາບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຊື່ໄດ້ດີກ່ວາ 0.8 µm ໃນໄລຍະ 500 ມມ—ຢັ້ງຢືນບໍ່ພຽງແຕ່ໃນເວລາຈັດສົ່ງເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງບັນທຶກໄວ້ໃນບົດລາຍງານການປັບທຽບຢ່າງຄົບຖ້ວນທີ່ສາມາດຕິດຕາມໄດ້ຕາມມາດຕະຖານ NIST ແລະ PTB. ທຸກໆໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຜ່ານການທົດສອບຄວາມຕັ້ງສາກຜ່ານການປັບຕົວອັດຕະໂນມັດທາງອີເລັກໂທຣນິກ, ຮັບປະກັນວ່າມຸມຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 1 ອາກ-ວິນາທີ (ຄວາມຜັນຜວນ ≈0.5 µm ທີ່ 100 ມມ).
ສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ແມ່ນລາຍລະອຽດທາງທິດສະດີ. ພວກມັນແມ່ນຄວາມເປັນຈິງດ້ານການດຳເນີນງານສຳລັບລູກຄ້າທີ່ບໍ່ສາມາດປະນີປະນອມໄດ້ອີກຕໍ່ໄປ. ຜູ້ສະໜອງອົງປະກອບການພິມ EUV ຊັ້ນນຳໃນປັດຈຸບັນໃຊ້ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຂອງພວກເຮົາສະເພາະສຳລັບການຈັດວາງກອບຮອງຮັບກະຈົກ. “ໄມ້ບັນທັດເຫຼັກບິດເບືອນໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການເປີດຮັບແສງທີ່ຍາວນານ,” ນັກວັດແທກຊັ້ນນຳຂອງພວກເຂົາບອກພວກເຮົາ. “ຫີນແກຣນິດເກັບອະນຸພາກ. ລຸ້ນເຊລາມິກບໍ? ມັນມີຄວາມໝັ້ນຄົງເປັນເວລາ 18 ເດືອນ - ບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງມີການປັບທຽບໃໝ່.”
ແຕ່ເຖິງແມ່ນວ່າຮູບຮ່າງທີ່ສົມບູນແບບກໍສາມາດຖືກທຳລາຍໄດ້ໂດຍການສຳຜັດ. ລາກໄມ້ບັນທັດໄປທົ່ວພື້ນຜິວ, ແລະ ທ່ານມີຄວາມສ່ຽງທີ່ຈະມີຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ, ການແຊກແຊງຂອງຟິມນ້ຳມັນ, ຫຼື ການຜິດຮູບແບບທີ່ຍືດຫຍຸ່ນ - ໂດຍສະເພາະໃນໂລຫະອ່ອນ ຫຼື ແວ່ນຕາທີ່ຂັດເງົາ. ນັ້ນແມ່ນບ່ອນທີ່ນະວັດຕະກຳຂອງ ZHHIMG ກ້າວໄປຂ້າງໜ້າດ້ວຍໄມ້ບັນທັດລອຍອາກາດ Custom Ceramic.
ນີ້ບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ຂອບຊື່ເຊລາມິກທີ່ມີຮູເຈາະຢູ່ໃນນັ້ນ. ມັນເປັນລະບົບແອໂຣສະແຕຕິກທີ່ຖືກອອກແບບມາຢ່າງຄົບຖ້ວນ, ອອກແບບໂດຍໃຊ້ການເຄື່ອນໄຫວຂອງແຫຼວແບບຄິດໄລ່ເພື່ອສົ່ງກະແສລົມທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເປັນລະບຽບຮຽບຮ້ອຍຕະຫຼອດຄວາມຍາວຂອງໄມ້ບັນທັດ. ເມື່ອຖືກກົດດັນດ້ວຍອາກາດທີ່ສະອາດແລະແຫ້ງ (ຫຼືໄນໂຕຣເຈນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ລະອຽດອ່ອນ), ໄມ້ບັນທັດຈະລອຍຢູ່ເໜືອຊິ້ນວຽກ 5–10 ໄມຄຣອນ - ກຳຈັດການຕິດຕໍ່ທາງກາຍະພາບໃນຂະນະທີ່ຮັກສາການຈັດລຽນທີ່ສົມບູນແບບ. ຜົນໄດ້ຮັບ? ການວັດແທກແບບບໍ່ສຳຜັດທີ່ແທ້ຈິງສຳລັບຄວາມຮາບພຽງ, ຄວາມຊື່, ຫຼືການກວດສອບຄວາມສູງຂອງຂັ້ນໄດ, ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ເຖິງ ±0.2 µm.
ຫ້ອງທົດລອງຄອມພິວເຕີ້ຄວອນຕຳແຫ່ງໜຶ່ງໃນປະເທດສະວິດເຊີແລນໃນປັດຈຸບັນໃຊ້ໄມ້ບັນທັດລອຍອາກາດ Custom Ceramic ຂະໜາດ 600 ມມ ເພື່ອກວດສອບຕົວນຳຊິບ superconducting. “ການສຳຜັດໃດໆ - ເຖິງແມ່ນວ່າຈະມີປາກກາ stylus ອ່ອນໆ - ກໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນທີ່ປ່ຽນແປງປະສິດທິພາບຂອງ qubit,” ວິສະວະກອນຂະບວນການຂອງເຂົາເຈົ້າໄດ້ອະທິບາຍ. “ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກລອຍອາກາດໃຫ້ເອກະສານອ້າງອີງທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການໂດຍບໍ່ຕ້ອງແຕະຕ້ອງສ່ວນນັ້ນ. ມັນໄດ້ກາຍເປັນພາລະກິດທີ່ສຳຄັນຫຼາຍ.”
ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ສິ່ງນີ້ເປັນໄປໄດ້ແມ່ນການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ ZHHIMG ຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະ ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານການວັດແທກ. ໃນຂະນະທີ່ຜູ້ສະໜອງຫຼາຍຄົນປະຕິບັດຕໍ່ເຊລາມິກເປັນອົງປະກອບໂຄງສ້າງ, ພວກເຮົາເພີ່ມປະສິດທິພາບໃຫ້ພວກມັນເປັນສິ່ງປະດິດການວັດແທກ. ການອອກແບບໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກສີ່ຫລ່ຽມຂອງພວກເຮົາປະກອບມີຂອບທີ່ມີມຸມເພື່ອປ້ອງກັນການບิ่น, ດ້ານຫຼັງທີ່ເຮັດດ້ວຍດ້ານເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນແສງຈ້າພາຍໃຕ້ແສງກວດສອບ, ແລະ ເຄື່ອງໝາຍ fiducial ທາງເລືອກສຳລັບລະບົບວິໄສທັດອັດຕະໂນມັດ. ສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນຫ້ອງສະອາດ, ພື້ນຜິວຈະຖືກຂັດໃຫ້ Ra < 0.02 µm ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງອະນຸພາກ.
ແລະ ເນື່ອງຈາກວ່າທຸກໆການນຳໃຊ້ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ພວກເຮົາຈຶ່ງບໍ່ເຊື່ອໃນຂະໜາດດຽວທີ່ເໝາະສົມກັບທຸກຄົນ. ຕ້ອງການແຜ່ນເຊລາມິກຊື່ຂອບທີ່ມີຊ່ອງສູນຍາກາດທີ່ຝັງຢູ່ເພື່ອຮັບແຜ່ນບາງໆໃນລະຫວ່າງການກວດກາບໍ? ພວກເຮົາໄດ້ສ້າງມັນຂຶ້ນມາ. ຕ້ອງການໄມ້ບັນທັດສີ່ຫລ່ຽມດ້ວຍຮູຜ່ານທີ່ສອດຄ່ອງກັບປາຍໂພຣບ CMM ຂອງທ່ານບໍ? ສຳເລັດແລ້ວ. ຕ້ອງການໄມ້ບັນທັດລອຍອາກາດເຊລາມິກແບບກຳນົດເອງທີ່ມີເຊັນເຊີຄວາມດັນໃນຕົວ ແລະ ການຕອບສະໜອງລະດັບດິຈິຕອນບໍ? ອັນນັ້ນຢູ່ໃນການທົດສອບເບຕ້າກັບລູກຄ້າການບິນອະວະກາດ Tier-1 ແລ້ວ.
ການຮັບຮູ້ຂອງອຸດສາຫະກໍາໄດ້ຕາມມາ. ໃນການທົບທວນການວັດແທກຂັ້ນສູງທົ່ວໂລກປີ 2025, ZHHIMG ໄດ້ຖືກກ່າວເຖິງວ່າເປັນບໍລິສັດດຽວທີ່ສະເໜີເຄື່ອງມືອ້າງອີງເຊລາມິກທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງທີ່ສົມບູນແບບ - ລວມທັງລຸ້ນທີ່ລອຍຢູ່ - ດ້ວຍການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດຢ່າງຄົບຖ້ວນ ແລະ ການຕິດຕາມດິຈິຕອນ. ແຕ່ສິ່ງທີ່ສຳຄັນກວ່ານັ້ນ, ການຮັບຮອງເອົາກຳລັງເລັ່ງຂຶ້ນ: ຫຼາຍກວ່າ 60% ຂອງຄຳສັ່ງຊື້ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຂອງພວກເຮົາໃນປັດຈຸບັນມາຈາກອຸດສາຫະກຳທີ່ເຄີຍຖືວ່າເຄື່ອງມືດັ່ງກ່າວ "ເກີນຄວາມຕ້ອງການ" - ຈົນກວ່າພວກເຂົາຈະວັດແທກຄວາມແຕກຕ່າງ.
ບໍລິສັດເລີ່ມຕົ້ນຜະລິດອຸປະກອນການແພດທີ່ຜະລິດການຝັງເສັ້ນປະສາດໄດ້ປ່ຽນຈາກເຫຼັກມາເປັນໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກຂອງພວກເຮົາ ແລະ ເຫັນວ່າຜົນຜະລິດໃນຄັ້ງທຳອິດຂອງພວກມັນເພີ່ມຂຶ້ນ 22%. “ຮູບສີ່ຫຼ່ຽມເກົ່າໄດ້ປະໄວ້ຮ່ອງນ້ອຍໆຢູ່ເທິງຕົວເຮືອນໄທທານຽມ,” ຜູ້ຈັດການ QA ຂອງພວກເຂົາກ່າວ. “ພວກເຮົາບໍ່ຮູ້ຕົວຈົນກວ່າພວກເຮົາຈະປ່ຽນ. ດຽວນີ້, ທຸກໆສ່ວນຜ່ານການກວດສອບທາງສາຍຕາ ແລະ ມິຕິໃນຄັ້ງທຳອິດ.”
ສະນັ້ນ, ໃນຂະນະທີ່ທ່ານປະເມີນການຍົກລະດັບການວັດແທກຄັ້ງຕໍ່ໄປຂອງທ່ານ, ໃຫ້ຖາມຕົວເອງວ່າ: ຂອບຊື່ໃນປະຈຸບັນຂອງຂ້ອຍກຳລັງເພີ່ມຄວາມບໍ່ແນ່ນອນ - ຫຼື ກຳຈັດມັນອອກບໍ?
ຖ້າຂະບວນການຂອງທ່ານດຳເນີນການຢູ່ໃນຂອບເຂດຂອງຄວາມສາມາດໃນການກວດພົບ, ຄຳຕອບອາດຈະຢູ່ໃນເຊລາມິກ - ບໍ່ແມ່ນເລື່ອງແປກ, ແຕ່ເປັນຄວາມຈຳເປັນ. ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາບໍ່ພຽງແຕ່ຜະລິດໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກ, ໄມ້ບັນທັດເຊລາມິກສີ່ຫລ່ຽມ, ຫຼືເຄື່ອງມືເຊລາມິກຂອບຊື່ເທົ່ານັ້ນ. ພວກເຮົາວິສະວະກຳຄວາມໝັ້ນໃຈໃນທຸກໆໄມຄຣອນ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 31 ທັນວາ 2025