ການປະຕິວັດຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດ semiconductor: ເມື່ອ granite ພົບກັບເຕັກໂນໂລຢີ micron
1.1 ການຄົ້ນພົບທີ່ບໍ່ຄາດຄິດໃນວິທະຍາສາດວັດສະດຸ
ອີງຕາມບົດລາຍງານຂອງ 2023 SEMI International Semiconductor Association, 63% ຂອງ fabs ກ້າວຫນ້າຂອງໂລກໄດ້ເລີ່ມນໍາໃຊ້ພື້ນຖານ granite ແທນທີ່ຈະເປັນເວທີໂລຫະແບບດັ້ງເດີມ. ກ້ອນຫີນທໍາມະຊາດນີ້, ເຊິ່ງມີຕົ້ນກໍາເນີດມາຈາກ magma condensation ເລິກຢູ່ໃນໂລກ, ກໍາລັງຂຽນຄືນປະຫວັດສາດຂອງການຜະລິດ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ:
ຄວາມໄດ້ປຽບຂອງ inertia ຄວາມຮ້ອນ: ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງ granite 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ແມ່ນພຽງແຕ່ 1/5 ຂອງສະແຕນເລດ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບຂອງ ±0.001mm ແມ່ນຮັກສາຢູ່ໃນການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຄື່ອງ lithography ໄດ້.
ລັກສະນະການສັ່ນສະເທືອນ damping: ຄ່າສໍາປະສິດ friction ພາຍໃນແມ່ນ 15 ເທົ່າຂອງທາດເຫຼັກສຽງໂຫວດທັງຫມົດ, ປະສິດທິພາບການດູດຊຶມອຸປະກອນ micro- vibration.
ລັກສະນະການສະກົດຈິດສູນ: ການລົບລ້າງຄວາມຜິດພາດສະນະແມ່ເຫຼັກໃນການວັດແທກ laser ໄດ້
1.2 ການເດີນທາງ metamorphosis ຈາກຂອງຂ້ອຍໄປຫາ fab
ເອົາພື້ນຖານການຜະລິດອັດສະລິຍະຂອງ ZHHIMG ໃນ Shandong ເປັນຕົວຢ່າງ, ຊິ້ນສ່ວນຂອງ granite ດິບຕ້ອງໄດ້ຮັບການປະຕິບັດ:
Ultra-precision machining: ສູນເຄື່ອງຈັກເຊື່ອມຕໍ່ຫ້າແກນສໍາລັບການ 200 ຊົ່ວໂມງຂອງ milling ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, roughness ດ້ານເຖິງRa0.008μm
ການປິ່ນປົວຜູ້ສູງອາຍຸທຽມ: 48 ຊົ່ວໂມງຂອງການປ່ອຍຄວາມກົດດັນທໍາມະຊາດໃນກອງປະຊຸມອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຄົງທີ່, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຜະລິດຕະພັນໂດຍ 40%
ອັນທີສອງ, ທໍາລາຍຫົກບັນຫາຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງການຜະລິດ semiconductor "ການແກ້ໄຂຫີນ"
2.1 ໂຄງການຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການ fragmentation Wafer
ການສາທິດກໍລະນີ: ຫຼັງຈາກໂຮງງານຜະລິດຊິບໃນເຢຍລະມັນຮັບຮອງເອົາເວທີ granite ລອຍອາຍແກັສຂອງພວກເຮົາ:
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ Wafer | ການຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການ chip | ການປັບປຸງຄວາມແປ |
| 12 ນິ້ວ | 67% | ≤0.001ມມ |
| 18 ນິ້ວ | 82% | ≤0.0005ມມ |
2.2 ໂຄງການແກ້ໄຂຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດວາງ Lithographic
ລະບົບການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມ: ເຊັນເຊີເຊລາມິກຝັງຕິດຕິດຕາມກວດກາຮູບຮ່າງຂອງຕົວແປໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງແລະປັບອັດຕະໂນມັດ inclination ເວທີ.
ຂໍ້ມູນການວັດແທກ: ພາຍໃຕ້ການເຫນັງຕີງຂອງ 28 ℃± 5 ℃, ຄວາມຖືກຕ້ອງການຝັງມີການຜັນແປຫນ້ອຍກ່ວາ 0.12μm.
ເວລາປະກາດ: 24-03-2025