ໃນຂົງເຂດການຜະລິດຄວາມແມ່ນຍໍາແລະການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາ granite ເປັນຕົວຊີ້ວັດທີ່ສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການນໍາສະເຫນີລະອຽດກ່ຽວກັບວິທີການກວດສອບການນໍາໃຊ້ຈໍານວນຫນຶ່ງແລະຂັ້ນຕອນການດໍາເນີນງານຂອງເຂົາເຈົ້າສໍາລັບທ່ານ.
I. ວິທີການກວດຫາເລເຊີ interferometer
ເລເຊີ interferometer ແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການຊອກຄົ້ນຫາຄວາມຮາບພຽງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ເອົາຕົວວັດແທກເລເຊີ ZYGO GPI XP ເປັນຕົວຢ່າງ, ຄວາມລະອຽດຂອງມັນສາມາດບັນລຸ 0.1nm. ເມື່ອດໍາເນີນການກວດຫາ, ທໍາອິດຈັດວາງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງຂອງ interferometer ກັບເວທີແລະແບ່ງພື້ນຜິວຂອງເວທີອອກເປັນພື້ນທີ່ຕາຂ່າຍໄຟຟ້າ 50mm × 50mm. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ຂໍ້ມູນຂອບການແຊກແຊງໄດ້ຖືກເກັບກໍາໂດຍຈຸດ, ແລະຂໍ້ມູນໄດ້ຖືກປັບແລະວິເຄາະໂດຍໃຊ້ Zernike polynomial ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບຄວາມຜິດພາດ flatness. ວິທີການນີ້ແມ່ນໃຊ້ໄດ້ກັບເວທີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະສາມາດກວດພົບຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງຢູ່ ≤0.5μm/m². ມັນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຊອກຄົ້ນຫາເຄື່ອງ photolithography ແລະເວທີເຄື່ອງວັດແທກສາມປະສານງານລະດັບສູງ.
Ii. Electronic Level Array Method
ການກວດຫາອາເຣລະດັບອີເລັກໂທຣນິກແມ່ນງ່າຍດາຍທີ່ຈະດໍາເນີນການແລະມີປະສິດທິພາບສູງ. ລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ TESA A2 (ມີຄວາມລະອຽດ 0.01μm/m) ຖືກເລືອກແລະຈັດລຽງຢູ່ໃນອາເຣ 9×9 ຕາມທິດທາງແກນ X/Y ຂອງເວທີ. ໂດຍການລວບລວມຂໍ້ມູນ inclination ຂອງແຕ່ລະຂັ້ນໂດຍ synchronously ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນນໍາໃຊ້ວິທີການສີ່ຫລ່ຽມຫນ້ອຍທີ່ສຸດສໍາລັບການຄິດໄລ່, ມູນຄ່າ flatness ສາມາດໄດ້ຮັບຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ວິທີການນີ້ສາມາດລະບຸເງື່ອນໄຂ concavity ທ້ອງຖິ່ນແລະ convexity ຂອງເວທີ. ຕົວຢ່າງ, ການເຫນັງຕີງຂອງ 0.2μm ພາຍໃນຂອບເຂດ 50mm ຍັງສາມາດກວດພົບໄດ້, ເຊິ່ງເຫມາະສົມສໍາລັບການກວດພົບຢ່າງໄວວາໃນການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍ.
iii. Optical Flat Crystal Method
ວິທີການໄປເຊຍກັນແປ optical ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການກວດສອບຂອງພື້ນທີ່ເວທີຂະຫນາດນ້ອຍ. ຄັດຕິດໄປເຊຍກັນແບບ optical ຮາບພຽງຢ່າງແຫນ້ນຫນາກັບຫນ້າດິນທີ່ຈະທົດສອບໃນເວທີແລະສັງເກດເຫັນຂອບການແຊກແຊງທີ່ສ້າງຂຶ້ນລະຫວ່າງພວກມັນພາຍໃຕ້ການສະຫວ່າງຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ monochromatic (ເຊັ່ນ: ໂຄມໄຟໂຊດຽມ). ຖ້າເສັ້ນດ່າງແມ່ນເສັ້ນເສັ້ນກົງຂະຫນານ, ມັນຊີ້ໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຮາບພຽງດີ. ຖ້າເສັ້ນດ່າງໂຄ້ງປາກົດ, ຄິດໄລ່ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງໂດຍອີງໃສ່ລະດັບຂອງເສັ້ນດ່າງ curvature. ແຕ່ລະເສັ້ນເສັ້ນໂຄ້ງສະແດງເຖິງຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມສູງຂອງ 0.316μm, ແລະຂໍ້ມູນຄວາມຮາບພຽງສາມາດໄດ້ຮັບໂດຍຜ່ານການປ່ຽນໃຈເຫລື້ອມໃສງ່າຍດາຍ.
ສີ່. ວິທີການກວດກາເຄື່ອງວັດແທກສາມປະສານງານ
ເຄື່ອງວັດແທກສາມປະສານງານສາມາດບັນລຸການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນຊ່ອງສາມມິຕິ. ວາງແພລະຕະຟອມ granite ຢູ່ເທິງໂຕະເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງວັດແທກແລະໃຊ້ probe ເພື່ອເກັບກໍາຂໍ້ມູນເປັນເອກະພາບຈາກຈຸດວັດແທກຫຼາຍໆຈຸດຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງເວທີ. ລະບົບເຄື່ອງວັດແທກປະມວນຜົນແລະວິເຄາະຂໍ້ມູນເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອສ້າງລາຍງານຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີ. ວິທີການນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດກວດພົບຄວາມຮາບພຽງ, ແຕ່ຍັງໄດ້ຮັບຕົວກໍານົດການ geometric ອື່ນໆຂອງເວທີພ້ອມໆກັນ, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບການຊອກຄົ້ນຫາທີ່ສົມບູນແບບຂອງເວທີ granite ຂະຫນາດໃຫຍ່.
Mastering ວິທີການກວດຫາເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະເມີນຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ແລະສະຫນອງການຮັບປະກັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບການດໍາເນີນງານທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນຄວາມແມ່ນຍໍາ.
ເວລາປະກາດ: 29-05-2025