ການວິເຄາະເຊີງປະສົບການກ່ຽວກັບການປັບປຸງສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິຂອງຫີນແກຣນິດເໜືອເຫຼັກຫລໍ່ໃນເວທີຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງເຄືອບແບັດເຕີຣີລິທຽມ.

​
ໃນຂະບວນການຜະລິດແບັດເຕີຣີລີທຽມໄອອອນ, ຂະບວນການເຄືອບ, ເປັນຕົວເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສຳຄັນ, ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມປອດໄພຂອງແບັດເຕີຣີ. ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງເຄືອບແບັດເຕີຣີລີທຽມມີບົດບາດຕັດສິນໃນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄືອບ. ຫີນແກຣນິດ ແລະ ເຫຼັກຫລໍ່, ໃນຖານະເປັນວັດສະດຸແພລດຟອມທີ່ນິຍົມໃຊ້, ຄວາມແຕກຕ່າງໃນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຂອງພວກມັນໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຫຼາຍ. ບົດຄວາມນີ້ຈະວິເຄາະຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບການປັບປຸງທີ່ສຳຄັນໃນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຂອງຫີນແກຣນິດເມື່ອທຽບກັບເຫຼັກຫລໍ່ໃນແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງເຄືອບແບັດເຕີຣີລີທຽມໂດຍຜ່ານຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸ, ຂໍ້ມູນການທົດລອງ ແລະ ກໍລະນີການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ.
ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸກຳນົດພື້ນຖານຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງ
ເຫຼັກຫລໍ່, ໃນຖານະເປັນວັດສະດຸອຸດສາຫະກໍາແບບດັ້ງເດີມ, ເຄີຍຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດເວທີຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວເນື່ອງຈາກປະສິດທິພາບການຫລໍ່ທີ່ດີເລີດແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ວັດສະດຸເຫຼັກຫລໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໂດຍທໍາມະຊາດ. ໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງມັນປະກອບດ້ວຍ graphite ເກັດຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍ, ເຊິ່ງເທົ່າກັບຮອຍແຕກພາຍໃນ ແລະ ຈະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຂງກະດ້າງໂດຍລວມຂອງວັດສະດຸ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງເຫຼັກຫລໍ່ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ, ປະມານ 10-12 ×10⁻⁶/℃. ພາຍໃຕ້ການສະສົມຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກການດໍາເນີນງານໄລຍະຍາວຂອງການເຄືອບແບັດເຕີຣີລິທຽມ, ມັນມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຍັງມີຄວາມກົດດັນໃນການຫລໍ່ພາຍໃນເຫຼັກຫລໍ່. ເມື່ອເວລາຜ່ານໄປ, ການປ່ອຍຄວາມກົດດັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງທີ່ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແປງໄດ້ໃນຂະໜາດຂອງເວທີ, ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄືອບ.

ຫີນແກຣນິດເປັນວັດສະດຸທຳມະຊາດທີ່ຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍຜ່ານຂະບວນການທາງທໍລະນີວິທະຍາເປັນເວລາຫຼາຍຮ້ອຍລ້ານປີ. ໂຄງສ້າງຜລຶກພາຍໃນຂອງມັນມີຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ແລະ ມັນມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງໂດຍທຳມະຊາດ. ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວເສັ້ນຊື່ຂອງຫີນແກຣນິດແມ່ນພຽງແຕ່ 0.5-8 × 10⁻⁶/℃, ເຊິ່ງເທົ່າກັບ 1/2-1/3 ຂອງເຫຼັກຫລໍ່, ແລະ ມັນບໍ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຫຼາຍ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຫີນແກຣນິດມີໂຄງສ້າງແຂງ, ມີຄວາມແຂງແຮງຂອງການບີບອັດສູງເຖິງ 1,050-14,000 ກິໂລກຣາມຕໍ່ຕາລາງຊັງຕີແມັດ. ມັນສາມາດຕ້ານທານກັບແຮງກະທົບ ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນຈາກແຮງພາຍນອກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ສະໜອງພື້ນຖານທີ່ແຂງແກ່ນ ແລະ ໝັ້ນຄົງສຳລັບແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວ. ເກືອບບໍ່ມີຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ພາຍໃນມັນ, ແລະ ມັນຈະບໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງຂອງມິຕິເນື່ອງຈາກການປ່ອຍຄວາມກົດດັນ, ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຂອງແພລດຟອມຈາກແກ່ນແທ້ຂອງວັດສະດຸ.
ຂໍ້ມູນການທົດລອງຢືນຢັນຄວາມແຕກຕ່າງດ້ານປະສິດທິພາບ
ເພື່ອປຽບທຽບຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິລະຫວ່າງຫີນແກຣນິດ ແລະ ເຫຼັກຫລໍ່, ທີມງານຄົ້ນຄວ້າໄດ້ດຳເນີນການທົດລອງພິເສດ. ແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວສອງອັນຂອງເຄື່ອງເຄືອບແບັດເຕີຣີລີທຽມທີ່ມີສະເປັກດຽວກັນໄດ້ຖືກເລືອກ, ເຮັດດ້ວຍຫີນແກຣນິດ ແລະ ເຫຼັກຫລໍ່ຕາມລຳດັບ, ແລະ ທົດສອບພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມດຽວກັນ. ການທົດລອງໄດ້ຈຳລອງສະຖານະການເຮັດວຽກຕົວຈິງຂອງເຄື່ອງເຄືອບແບັດເຕີຣີລີທຽມ. ໂດຍການເປີດໃຊ້ອຸປະກອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ການປ່ຽນແປງຂະໜາດຂອງແພລດຟອມໃນຈຸດເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນໄດ້ຖືກຕິດຕາມກວດກາ.
ຜົນການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ ຫຼັງຈາກການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເວລາ 24 ຊົ່ວໂມງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ, ອຸນຫະພູມພື້ນຜິວຂອງເວທີວັດສະດຸເຫຼັກຫລໍ່ໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນປະມານ 15°C, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມິຕິທິດທາງຄວາມຍາວຂອງເວທີເພີ່ມຂຶ້ນ 0.03 ມມ. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂດຽວກັນ, ການປ່ຽນແປງຂະໜາດຂອງເວທີແກຣນິດແມ່ນເກືອບບໍ່ມີເລີຍ, ແລະຂອບເຂດການປ່ຽນແປງຂອງຂະໜາດຂອງມັນໜ້ອຍກວ່າ 0.005 ມມ. ຫຼັງຈາກການທົດສອບການແກ່ຕົວໃນໄລຍະຍາວ 1000 ຊົ່ວໂມງ, ເນື່ອງຈາກການປ່ອຍຄວາມກົດດັນພາຍໃນ ແລະ ການສະສົມຂອງການຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີເຫຼັກຫລໍ່ໄດ້ຂະຫຍາຍຈາກ 0.01 ມມ ເບື້ອງຕົ້ນເປັນ 0.05 ມມ. ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີແກຣນິດແມ່ນຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 0.015 ມມ ສະເໝີ, ແລະ ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິແມ່ນເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ.
ຜົນສຳເລັດທີ່ໂດດເດັ່ນໃນການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ
ໃນການຜະລິດຕົວຈິງຂອງວິສາຫະກິດຜະລິດແບັດເຕີຣີລິທຽມຂະໜາດໃຫຍ່, ເຄີຍມີການນຳໃຊ້ແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວດ້ວຍເຫຼັກຫຼໍ່. ເມື່ອເວລາປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄືອບຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ຄວາມໜາຂອງການເຄືອບບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ບໍ່ດີຂອງແຜ່ນເອເລັກໂຕຣດແບັດເຕີຣີ, ແລະອັດຕາຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງສູງເຖິງ 8%. ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫານີ້, ວິສາຫະກິດໄດ້ປ່ຽນແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງອຸປະກອນບາງຢ່າງດ້ວຍວັດສະດຸແກຣນິດ.
ຫຼັງຈາກການທົດແທນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານມິຕິຂອງອຸປະກອນໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການຜະລິດຫົກເດືອນ, ເຄື່ອງເຄືອບທີ່ໃຊ້ແພລດຟອມແກຣນິດຮັກສາຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມໜາຂອງເຄືອບໃຫ້ຢູ່ພາຍໃນ ±2μm ສະເໝີ, ແລະອັດຕາຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງໄດ້ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເຫຼືອໜ້ອຍກວ່າ 3%. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຍ້ອນວ່າແພລດຟອມແກຣນິດບໍ່ຕ້ອງການການປັບທຽບ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາຄວາມແມ່ນຍຳເລື້ອຍໆຄືກັບແພລດຟອມເຫຼັກ, ພວກມັນຊ່ວຍປະຢັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນ ແລະ ເວລາຢຸດເຮັດວຽກຂອງວິສາຫະກິດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນແຕ່ລະປີ, ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດຫຼາຍກວ່າ 15%.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ໃນການນຳໃຊ້ແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງຈັກເຄືອບແບັດເຕີຣີລິທຽມ, ຫີນແກຣນິດ, ດ້ວຍຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ໂດດເດັ່ນ, ມີປະສິດທິພາບດີກ່ວາເຫຼັກຫລໍ່ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນດ້ານຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຈາກທັດສະນະຂອງລັກສະນະວັດສະດຸ, ຂໍ້ມູນການທົດລອງ, ຫຼືຜົນກະທົບຂອງການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ຫີນແກຣນິດໃຫ້ການຮັບປະກັນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບການຜະລິດຂະບວນການເຄືອບແບັດເຕີຣີລິທຽມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ. ດ້ວຍການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນໃນອຸດສາຫະກຳແບັດເຕີຣີລິທຽມ, ແພລດຟອມຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທີ່ເຮັດດ້ວຍຫີນແກຣນິດຈະກາຍເປັນທາງເລືອກຫຼັກໃນອຸດສາຫະກຳ.