ຄູ່ມືການປັບຕົວດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມສໍາລັບພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ຂອງໂມດູນກິລາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສຸດ.

ໃນຂົງເຂດການຜະລິດລະດັບສູງແລະການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດທີ່ທັນສະ ໄໝ, ໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງຂອງລອຍອາກາດໄດ້ກາຍເປັນອຸປະກອນຫຼັກ ສຳ ລັບການປະຕິບັດງານແລະການວັດແທກທີ່ລະອຽດດ້ວຍການປະຕິບັດຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ດີເລີດ. ພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite, ເປັນແກນສະຫນັບສະຫນູນ, ມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເຫມາະສົມແມ່ນພື້ນຖານເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຜົນກະທົບທີ່ດີທີ່ສຸດ.

ທໍາອິດ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ຄວາມແມ່ນຍໍາ "stabilizer"
ເຖິງແມ່ນວ່າ granite ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມັນ, ມັນບໍ່ມີພູມຕ້ານທານຢ່າງສົມບູນຕໍ່ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຕ່ໍາ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ 5-7 ×10⁻⁶ / ℃, ໃນສະຖານະການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສຸດ, ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ອ່ອນໂຍນອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງທາງມິຕິແລະຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໂມດູນ. ໃນກອງປະຊຸມການຜະລິດຊິບ semiconductor, ຂະບວນການ lithography ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງໃນລະດັບ danami, ແລະອຸນຫະພູມອາກາດລ້ອມຮອບຈະເຫນັງຕີງໂດຍ 1 ° C, ແລະພື້ນຖານ granite ທີ່ມີຄວາມຍາວຂ້າງຄຽງຂອງ 1 ແມັດອາດຈະຜະລິດເສັ້ນຂະຫຍາຍຫຼືການຫົດຕົວຂອງ 5-7 microns. ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດນ້ອຍນີ້ຖືກຖ່າຍທອດໂດຍໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວແບບພິເສດຂອງຕົວເລື່ອນທາງອາກາດ, ເຊິ່ງພຽງພໍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ຮູບແບບ chip lithography deviation ແລະຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, ອຸປະກອນທີ່ມີພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ອາກາດທີ່ເລື່ອນໄດ້, ອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ເຫມາະສົມຄວນຈະຖືກຄວບຄຸມຢູ່ທີ່ 20 ° C ± 1 ° C, ດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງອຸປະກອນອຸນຫະພູມຄົງທີ່ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງລະບົບປັບອາກາດ, ການຕິດຕາມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະການປັບອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມ, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມໃນຂອບເຂດການດໍາເນີນງານທີ່ມີຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍ, ສະຖຽນລະພາບ.
ອັນທີສອງ, ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ: ກຸນແຈສໍາລັບການປົກປ້ອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ "ຫີນ"
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນປັດໃຈສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງພື້ນຖານ granite ຄວາມແມ່ນຍໍາ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, granite ງ່າຍຕໍ່ການດູດຊຶມໄອນ້ໍາ, ເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພື້ນຜິວ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງ granite ແລະໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ຂອງ float ທາງອາກາດ, ແຕ່ຍັງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການເຊາະເຈື່ອນຂອງຫນ້າດິນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເງົາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງໃນໄລຍະຍາວ. ໃນກອງປະຊຸມການຂັດເລນ optical, ຖ້າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງກວ່າ 60% RH ເປັນເວລາດົນ, ອາຍນ້ໍາ adsorbed ຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງ granite ຈະແຊກແຊງການເຄື່ອນໄຫວຂອງ slider float ອາຍແກັສ, ດັ່ງນັ້ນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດເລນແມ່ນຫຼຸດລົງ, ແລະຫນ້າດິນມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດລະຫວ່າງ 40%-60% RH, ເຊິ່ງສາມາດຕິດຕາມແລະປັບຕົວໃນເວລາຈິງໄດ້ໂດຍການຕິດຕັ້ງ dehumidifiers, ເຊັນເຊີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແລະອຸປະກອນອື່ນໆເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເສຍຫາຍຂອງຖານ granite ເນື່ອງຈາກຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ແລະຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ລຽບງ່າຍຂອງໂມດູນ motion ultra-precision ຂອງ float ອາກາດ.
ອັນທີສາມ, ຮັບປະກັນຄວາມສະອາດ: "ຜູ້ປົກຄອງ" ຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາ
ອັນຕະລາຍຂອງອະນຸພາກຂີ້ຝຸ່ນຕໍ່ກັບພື້ນຖານ granite ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ຂອງ flotation ອາກາດບໍ່ສາມາດຄາດຄະເນໄດ້. ເມື່ອອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍເຂົ້າໄປໃນຊ່ອງຫວ່າງຂອງຮູບເງົາອາຍແກັສລະຫວ່າງ slider float ອາຍແກັສແລະຖານ granite, ພວກເຂົາເຈົ້າອາດຈະທໍາລາຍຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາອາຍແກັສ, ເພີ່ມ friction, ແລະແມ້ກະທັ້ງ scratch ພື້ນຜິວຂອງຖານໄດ້, ເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຫຼຸດລົງ. ໃນກອງປະຊຸມເຄື່ອງກົນຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສຸດຂອງພາກສ່ວນໃນອາວະກາດ, ຖ້າຝຸ່ນຂີ້ຝຸ່ນໃນອາກາດຕົກລົງໃສ່ຖານຫີນ granite, ເສັ້ນທາງການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງຈັກເຄື່ອງຈັກອາດຈະ deviated, ຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກຂອງພາກສ່ວນ. ດັ່ງນັ້ນ, ພື້ນທີ່ເຮັດວຽກຄວນຮັກສາຄວາມສະອາດສູງ, ຮອດ 10,000 ຫຼື ລະດັບມາດຕະຖານຄວາມສະອາດສູງກວ່າ, ໂດຍຜ່ານການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນຟອກອາກາດເຊັ່ນ: ເຄື່ອງກອງອາກາດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ (HEPA), ການກັ່ນຕອງຂີ້ຝຸ່ນໃນອາກາດ, ໃນຂະນະດຽວກັນ, ພະນັກງານຕ້ອງໃສ່ເຄື່ອງນຸ່ງທີ່ບໍ່ມີຂີ້ຝຸ່ນ, ຜ້າປົກເກີບ ແລະ ອື່ນໆ ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຂີ້ຝຸ່ນທີ່ມາຈາກມະນຸດ. ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງພື້ນຖານ granite ແລະໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວແບບ ultra-precision air float.

ສີ່, ການໂດດດ່ຽວການສັ່ນສະເທືອນ: ການເຮັດວຽກທີ່ລຽບງ່າຍຂອງ "ແຜ່ນຊ໊ອກ"
ການສັ່ນສະເທືອນພາຍນອກແມ່ນສັດຕູຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ຂອງ float ອາກາດ. ເຖິງແມ່ນວ່າພື້ນຖານ granite ຄວາມແມ່ນຍໍາມີຄວາມສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ແນ່ນອນ, ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງອາດຈະຍັງທໍາລາຍຂໍ້ຈໍາກັດຂອງບັຟເຟີຂອງມັນ. ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເກີດຈາກການຈາລະຈອນຮອບໂຮງງານແລະການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນກົນຈັກຂະຫນາດໃຫຍ່ແມ່ນຖືກສົ່ງໄປຫາຖານຫີນ granite ຜ່ານຫນ້າດິນ, ເຊິ່ງຈະແຊກແຊງກັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງໂມດູນ motion ultra-precision ຂອງ float ທາງອາກາດ. ໃນ CMM ລະດັບສູງ, ການສັ່ນສະເທືອນອາດຈະເຮັດໃຫ້ການຕິດຕໍ່ລະຫວ່າງ probe ການວັດແທກແລະ workpiece ທີ່ຈະວັດແທກບໍ່ຫມັ້ນຄົງ, ເຮັດໃຫ້ມີການ deviation ຂອງຂໍ້ມູນການວັດແທກ. ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫານີ້, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບຮອງເອົາມາດຕະການການແຍກການສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຊັ່ນ: ການວາງແຜ່ນແຍກການສັ່ນສະເທືອນໃນພື້ນທີ່ຕິດຕັ້ງອຸປະກອນ, ການສ້າງພື້ນຖານການແຍກການສັ່ນສະເທືອນ, ຫຼືການນໍາໃຊ້ລະບົບການແຍກ vibration ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວເພື່ອຊົດເຊີຍການສັ່ນສະເທືອນພາຍນອກຢ່າງຫ້າວຫັນ, ແລະສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ງຽບສະຫງົບແລະສະຖຽນລະພາບສໍາລັບພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ແລະໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ທາງອາກາດ.
ພຽງແຕ່ໂດຍການປະຕິບັດຕາມຄວາມຕ້ອງການດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມຢ່າງເຕັມທີ່ຂອງອຸນຫະພູມ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ຄວາມສະອາດແລະການຄວບຄຸມການສັ່ນສະເທືອນ, ພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ຂອງ float ທາງອາກາດສາມາດສະຫນອງການຫຼິ້ນຢ່າງເຕັມທີ່ກັບຂໍ້ໄດ້ປຽບປະສິດທິພາບຂອງຕົນ, ສະຫນອງການຮັບປະກັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບການປະຕິບັດຄວາມແມ່ນຍໍາ ultra ໃນຂົງເຂດຕ່າງໆ, ແລະຊ່ວຍໃຫ້ອຸດສາຫະກໍາກ້າວໄປສູ່ລະດັບການຜະລິດແລະການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດທີ່ສູງຂຶ້ນ.