ຈາກການປ້ອງກັນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າໄປຫາທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ: ພື້ນຖານ granite ປົກປ້ອງສະພາບແວດລ້ອມການວັດແທກຂອງເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແນວໃດ?

ໃນຂົງເຂດທີ່ທັນສະ ໄໝ ເຊັ່ນການຜະລິດຊິບ semiconductor ແລະການກວດກາ optical ທີ່ຊັດເຈນ, ເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແມ່ນອຸປະກອນຫຼັກສໍາລັບການໄດ້ຮັບຂໍ້ມູນທີ່ສໍາຄັນ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ສະພາບແວດລ້ອມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າທີ່ສັບສົນແລະສະພາບທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ບໍ່ຫມັ້ນຄົງມັກຈະນໍາໄປສູ່ຂໍ້ມູນການວັດແທກທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ພື້ນຖານ granite, ທີ່ມີຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ, ປ້ອງກັນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ດີເລີດ, ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການວັດແທກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບເຊັນເຊີ.

ລັກສະນະທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກຕັດແຫຼ່ງຂອງການແຊກແຊງ
ເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຊັ່ນເຊັນເຊີ inductive displacement ແລະເຄື່ອງວັດແທກລະດັບແມ່ເຫຼັກແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວທີ່ສຸດຕໍ່ການປ່ຽນແປງໃນພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ. ການສະກົດຈິດປະກົດຂຶ້ນຂອງຖານໂລຫະແບບດັ້ງເດີມ (ເຊັ່ນ: ເຫຼັກກ້າ ແລະໂລຫະປະສົມອາລູມີນຽມ) ສາມາດສ້າງສະຫນາມແມ່ເຫຼັກແຊກແຊງຮອບເຊັນເຊີ. ໃນເວລາທີ່ເຊັນເຊີກໍາລັງເຮັດວຽກ, ພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກແຊກແຊງພາຍນອກພົວພັນກັບພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກພາຍໃນ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ການວັດແທກ deviations ຂໍ້ມູນໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ.

ຫີນການິດ, ເປັນຫີນທີ່ເກີດຈາກທໍາມະຊາດ, ປະກອບດ້ວຍແຮ່ທາດເຊັ່ນ: quartz, feldspar ແລະ mica. ໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງມັນກໍານົດວ່າມັນບໍ່ມີແມ່ເຫຼັກໃດໆ. ຕິດຕັ້ງເຊັນເຊີໃສ່ຖານ granite ເພື່ອກໍາຈັດການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກຂອງຖານຈາກຮາກ. ໃນເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາເຊັ່ນ: ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກໂຕຣນິກແລະ resonance ແມ່ເຫຼັກນິວເຄລຍ, ພື້ນຖານ granite ຮັບປະກັນວ່າເຊັນເຊີສາມາດຈັບພາບການປ່ຽນແປງທີ່ລະອຽດອ່ອນຂອງວັດຖຸເປົ້າຫມາຍໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ຫຼີກເວັ້ນຄວາມຜິດພາດການວັດແທກທີ່ເກີດຈາກການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກ.
ຄຸນລັກສະນະຂອງໂຄງສ້າງແມ່ນປະສານງານກັບການປ້ອງກັນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ
ເຖິງແມ່ນວ່າ granite ບໍ່ມີຄວາມສາມາດໃນການປ້ອງກັນການປະພຶດເຊັ່ນໂລຫະ, ໂຄງສ້າງທາງດ້ານຮ່າງກາຍທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນຍັງສາມາດທໍາລາຍການແຊກແຊງທາງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ. Granite ແມ່ນແຂງໃນໂຄງສ້າງແລະຫນາແຫນ້ນໃນໂຄງສ້າງ. ການຈັດລຽງ interlaced ຂອງໄປເຊຍກັນແຮ່ທາດປະກອບເປັນອຸປະສັກທາງດ້ານຮ່າງກາຍ. ເມື່ອຄື້ນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າພາຍນອກຂະຫຍາຍໄປສູ່ຖານ, ບາງສ່ວນຂອງພະລັງງານຖືກດູດຊຶມໂດຍໄປເຊຍກັນແລະປ່ຽນເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ແລະສ່ວນຫນຶ່ງແມ່ນສະທ້ອນແລະກະແຈກກະຈາຍຢູ່ເທິງຫນ້າຜລຶກ, ດັ່ງນັ້ນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄື້ນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າເຖິງເຊັນເຊີ.

ໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ, ພື້ນຖານ granite ມັກຈະຖືກລວມເຂົ້າກັນກັບຕາຫນ່າງປ້ອງກັນໂລຫະເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງປະສົມ. ຕາຫນ່າງໂລຫະຕັນຄື້ນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຄວາມຖີ່ສູງ, ແລະ granite ຍັງອ່ອນລົງການແຊກແຊງທີ່ເຫຼືອໃນຂະນະທີ່ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງ. ໃນກອງປະຊຸມອຸດສາຫະກໍາທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍເຄື່ອງແປງຄວາມຖີ່ແລະມໍເຕີ, ການປະສົມປະສານນີ້ເຮັດໃຫ້ເຊັນເຊີເຮັດວຽກຢ່າງຫມັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າທີ່ເຂັ້ມແຂງ.
ສະຖຽນລະພາບຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເພີ່ມຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການວັດແທກ
ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນຕ່ໍາທີ່ສຸດ (ພຽງແຕ່ (4-8) ×10⁻⁶ / ℃), ແລະຂະຫນາດຂອງມັນມີການປ່ຽນແປງຫນ້ອຍຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມມີການປ່ຽນແປງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຕໍາແຫນ່ງການຕິດຕັ້ງເຊັນເຊີ. ການປະຕິບັດການປຽກນ້ໍາທີ່ດີເລີດຂອງມັນສາມາດດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນຂອງສະພາບແວດລ້ອມໄດ້ໄວແລະຫຼຸດຜ່ອນອິດທິພົນຂອງສິ່ງລົບກວນກົນຈັກໃນການວັດແທກ. ໃນການວັດແທກ optical ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ພື້ນຖານ granite ສາມາດປ້ອງກັນການຊົດເຊີຍເສັ້ນທາງ optical ທີ່ເກີດຈາກການຜິດປົກກະຕິຄວາມຮ້ອນແລະການສັ່ນສະເທືອນ, ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຊ້ໍາກັນຂອງຂໍ້ມູນການວັດແທກ.

ໃນສະຖານະການກວດພົບຄວາມຫນາຂອງ semiconductor wafer, ຫຼັງຈາກວິສາຫະກິດສະເພາະໃດຫນຶ່ງໄດ້ຮັບຮອງເອົາຖານ granite, ຄວາມຜິດພາດການວັດແທກໄດ້ຫຼຸດລົງຈາກ± 5μmໄປພາຍໃນ± 1μm. ໃນຮູບແບບແລະການກວດກາຄວາມທົນທານຕໍ່ຕໍາແຫນ່ງຂອງອົງປະກອບຂອງຍານອະວະກາດ, ລະບົບການວັດແທກການນໍາໃຊ້ຖານ granite ໄດ້ປັບປຸງການຊ້ໍາຂໍ້ມູນໂດຍຫຼາຍກ່ວາ 30%. ກໍລະນີເຫຼົ່ານີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນຢ່າງເຕັມສ່ວນວ່າພື້ນຖານ granite ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງການວັດແທກຂອງເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໂດຍການກໍາຈັດການລົບກວນແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າແລະສະຖຽນລະພາບທາງກາຍະພາບ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນພາກສະຫນາມການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ທັນສະໄຫມ.