ໃນກອງປະຊຸມການຜະລິດ semiconductor, ຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຜະລິດຊິບສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນແມ່ນຮ້າຍແຮງ, ແລະການ deviation ເລັກນ້ອຍອາດຈະເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂອງ chip ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ເວທີການເຄື່ອນໄຫວ gantry ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ XYZT ອີງໃສ່ອົງປະກອບຂອງ granite ເພື່ອຮ່ວມມືກັບພາກສ່ວນອື່ນໆຂອງເວທີເພື່ອສ້າງພື້ນຖານທີ່ເຂັ້ມແຂງສໍາລັບການບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງ nanoscale.
ຄຸນສົມບັດສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ດີເລີດ
ໃນກອງປະຊຸມການຜະລິດ semiconductor, ການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນຕໍ່ເນື່ອງແລະບຸກຄະລາກອນທີ່ຍ່າງໄປມາອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການສັ່ນສະເທືອນ. ໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ແມ່ນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບ, ມີລັກສະນະທໍາມະຊາດທີ່ຊຸ່ມຊື່ນສູງ, ຄ້າຍຄືກັບການສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ "ອຸປະສັກ". ເມື່ອການສັ່ນສະເທືອນພາຍນອກຖືກສົ່ງກັບເວທີ XYZT, ອົງປະກອບຂອງ granite ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນປະສິດທິພາບການສັ່ນສະເທືອນຫຼາຍກ່ວາ 80% ແລະຫຼຸດຜ່ອນການແຊກແຊງຂອງການສັ່ນສະເທືອນໃນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງເວທີ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ເວທີໄດ້ຖືກຕິດຕັ້ງດ້ວຍລະບົບຄູ່ມືການລອຍລົມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ເຊິ່ງເຮັດວຽກຮ່ວມກັນກັບອົງປະກອບຂອງ granite. ຄູ່ມືການລອຍນ້ໍາທາງອາກາດນໍາໃຊ້ຮູບເງົາອາຍແກັສທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍອາຍແກັສຄວາມກົດດັນສູງເພື່ອຮັບຮູ້ການເຄື່ອນໄຫວ suspension contactless ຂອງພາກສ່ວນການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງເວທີແລະຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ເກີດຈາກ friction ກົນຈັກ. ຮ່ວມກັນ, ທັງສອງໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງເວທີແມ່ນສະເຫມີຮັກສາຢູ່ໃນລະດັບ nanometer ໃນຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: lithography chip ແລະ etching, ແລະຫຼີກເວັ້ນການ deviation ຂອງຮູບແບບວົງຈອນ chip ທີ່ເກີດຈາກການສັ່ນສະເທືອນ.
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ
ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃນກອງປະຊຸມມີອິດທິພົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນການຜະລິດຊິບ. ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນຕໍ່າຫຼາຍ, ໂດຍທົ່ວໄປໃນ 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ຂະຫນາດແມ່ນເກືອບບໍ່ປ່ຽນແປງເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງກາງເວັນແລະກາງຄືນໃນກອງປະຊຸມຫຼືການຜະລິດຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມມີການປ່ຽນແປງ, ອົງປະກອບຂອງ granite ສາມາດຄົງທີ່ເພື່ອປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິຂອງເວທີເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະການຫົດຕົວ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມອັດສະລິຍະທີ່ຕິດຕັ້ງດ້ວຍເວທີຈະກວດສອບອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມໃນເວລາຈິງ, ປັບເຄື່ອງປັບອາກາດແລະອຸປະກອນລະບາຍຄວາມຮ້ອນໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ແລະຮັກສາອຸນຫະພູມໃນກອງປະຊຸມຢູ່ທີ່ 20 ° C ± 1 ° C. ສົມທົບກັບຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງ granite, ຮັບປະກັນວ່າເວທີໃນການດໍາເນີນງານໄລຍະຍາວ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງແຕ່ລະ chip nanometer ມາດຕະຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ chip nanometer, ມາດຕະຖານຂະຫນາດຂອງ chip nanometer ສະເຫມີ. ຖືກຕ້ອງ, ຄວາມເລິກ etching ແມ່ນເປັນເອກະພາບ.
ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດ
ຮ້ານຜະລິດ semiconductor ຕ້ອງຮັກສາຄວາມສະອາດລະດັບສູງເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຝຸ່ນຂີ້ຝຸ່ນປົນເປື້ອນ chip. ວັດສະດຸ Granite ຕົວຂອງມັນເອງບໍ່ຜະລິດຂີ້ຝຸ່ນ, ແລະພື້ນຜິວແມ່ນລຽບ, ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະດູດຝຸ່ນ. ເວທີທັງຫມົດຮັບຮອງເອົາການອອກແບບໂຄງສ້າງປິດຫຼືເຄິ່ງປິດຢ່າງເຕັມທີ່ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການເຂົ້າມາຂອງຂີ້ຝຸ່ນພາຍນອກ. ລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດພາຍໃນແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ກັບລະບົບເຄື່ອງປັບອາກາດທີ່ສະອາດຂອງກອງປະຊຸມເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຄວາມສະອາດຂອງອາກາດພາຍໃນບັນລຸເຖິງລະດັບທີ່ຕ້ອງການໂດຍການຜະລິດຊິບ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດນີ້, ອົງປະກອບຂອງ granite ຈະບໍ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດເນື່ອງຈາກການເຊາະເຈື່ອນຂອງຂີ້ຝຸ່ນ, ແລະອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະມໍເຕີຂອງເວທີຍັງສາມາດເຮັດວຽກຢ່າງຫມັ້ນຄົງ, ສະຫນອງການຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ nanoscale ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດຊິບ, ແລະຊ່ວຍໃຫ້ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ກ້າວໄປສູ່ລະດັບຂະບວນການທີ່ສູງຂຶ້ນ.
ເວລາປະກາດ: ເມສາ-14-2025