ພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ Granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນການກວດສອບ Wafer.

In ອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນການກວດກາ wafer ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ. ພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຄືກັບທີ່ສະຫນອງໂດຍZHHIMG®, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນດັ່ງກ່າວ. ນີ້ແມ່ນວິທີທີ່ພວກເຂົາສ້າງຄວາມແຕກຕ່າງ.
ຄວາມໝັ້ນຄົງມິຕິມິຕິທີ່ໂດດເດັ່ນມີຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ, ປະມານ (4–8)×10⁻⁶/℃, ຕໍ່າກວ່າໂລຫະຫຼາຍຊະນິດ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການຄວບຄຸມຢ່າງແຫນ້ນຫນາຂອງໂຮງງານຜະລິດ semiconductor, ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກ, ພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ຍັງຄົງຄົງທີ່. ຄວາມຫມັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນວ່າການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງອົງປະກອບໃນອຸປະກອນການກວດກາ wafer ຍັງຄົງຖືກຕ້ອງ, ປ້ອງກັນການບ່ຽງເບນທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຮ້ອນທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຜົນການກວດສອບ.

Superior Vibration DampingProduction ພື້ນເຮືອນມັກຈະເຕັມໄປດ້ວຍການສັ່ນສະເທືອນຈາກແຫຼ່ງຕ່າງໆ. ຄຸນສົມບັດການປຽກນໍ້າຂອງຫີນການິດ, ດ້ວຍອັດຕາສ່ວນການປຽກຂອງ 0.05–0.1, ດູດຊຶມ ແລະ ກະຈາຍແຮງສັ່ນສະເທືອນເຫຼົ່ານີ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ສໍາລັບ wafer insp
ection, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຮູບພາບທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງແລະການອ່ານເຊັນເຊີທີ່ຊັດເຈນ, ການຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ສະຫນອງໂດຍພື້ນຖານ granite ແມ່ນມີມູນຄ່າຫລາຍ. ມັນຫຼຸດຜ່ອນການລົບກວນທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ຮູບພາບມົວຫຼືບິດເບືອນຂໍ້ມູນເຊັນເຊີ, ເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນສາມາດເກັບກໍາຂໍ້ມູນທີ່ຊັດເຈນແລະຖືກຕ້ອງກ່ຽວກັບຫນ້າດິນແລະໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງ wafer.
ຄວາມແຂງຕົວສູງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະມານ 3100 kg / m³, ຖານເຄື່ອງຈັກ granite ຂອງ ZHHIMG® ສະຫນອງຄວາມແຂງທີ່ໂດດເດັ່ນ. ພວກເຂົາສາມາດສະຫນັບສະຫນູນອົງປະກອບທີ່ຫນັກແຫນ້ນຂອງອຸປະກອນການກວດກາ wafer ໂດຍບໍ່ມີການ deforming, ຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງລະບົບ optical ແລະກົນຈັກ. ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມແຂງສູງຂອງ granite (Mohs scale 6–7) ແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດຮັບປະກັນວ່າພື້ນຜິວຂອງຖານເຄື່ອງຈັກຍັງຄົງແປແລະລຽບຕາມເວລາ. ຄວາມສອດຄ່ອງນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຄວາມຖືກຕ້ອງໃນໄລຍະຍາວ, ຍ້ອນວ່າການສວມໃສ່ຫຼືການຜິດປົກກະຕິກ່ຽວກັບພື້ນຖານສາມາດຄ່ອຍໆທໍາລາຍຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງອຸປະກອນ.
Chemical Inertness ການຜະລິດ Semiconductor ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສໍາຜັດກັບສານເຄມີຕ່າງໆ. inertness ເຄມີຂອງ Granite ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຈາກສານເຫຼົ່ານີ້. ຊັບສິນນີ້ປົກປ້ອງຄວາມສົມບູນຂອງຖານເຄື່ອງຈັກ, ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກສານເຄມີທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນການກວດກາ.
ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນສ່ວນປະກອບເທົ່ານັ້ນແຕ່ເປັນຕົວຊ່ວຍສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຄວາມຕ້ອງການທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນການກວດສອບ wafer. ເມື່ອເລືອກພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite, ເລືອກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເຊັ່ນ ZHHIMG®. ດ້ວຍການຢັ້ງຢືນຫຼາຍອັນ ແລະມີຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຕໍ່ຄຸນນະພາບ, ZHHIMG® ຮັບປະກັນວ່າທຸກໆພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite ສະໜອງຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີທີ່ກ້າວໜ້າ.