ໃນຂົງເຂດເຊັ່ນ: ການຜະລິດ semiconductor ແລະເຄື່ອງມືວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາ granite ກໍານົດໂດຍກົງກ່ຽວກັບຄຸນນະພາບການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນ. ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງແພລະຕະຟອມສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານ, ຄວາມພະຍາຍາມຄວນຈະເຮັດຈາກສອງດ້ານ: ການກວດສອບຕົວຊີ້ວັດທີ່ສໍາຄັນແລະການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານມາດຕະຖານ.
ການກວດສອບຕົວຊີ້ວັດຫຼັກ: ການຄວບຄຸມຄວາມຖືກຕ້ອງຫຼາຍມິຕິລະດັບ
Flatness detection: ການກໍານົດ "ຄວາມແປ" ຂອງຍົນອ້າງອີງ
Flatness ແມ່ນຕົວຊີ້ວັດຫຼັກຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite, ແລະປົກກະຕິແລ້ວມັນຖືກວັດແທກໂດຍ laser interferometers ຫຼືລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ. laser interferometer ສາມາດວັດແທກຄວາມຊັດເຈນນາທີ undulations ໃນພື້ນຜິວເວທີໂດຍການ emitting beam laser ແລະນໍາໃຊ້ຫຼັກການຂອງການແຊກແຊງແສງສະຫວ່າງ, ມີຄວາມຖືກຕ້ອງເຖິງລະດັບ micron ຍ່ອຍໄດ້. ລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກວັດແທກໂດຍການເຄື່ອນຍ້າຍຫຼາຍຄັ້ງແລະແຕ້ມແຜນທີ່ contour ສາມມິຕິລະດັບຂອງພື້ນຜິວເວທີເພື່ອກວດພົບວ່າມີ protrusions ທ້ອງຖິ່ນຫຼືການຊຶມເສົ້າ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ເວທີ granite ທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງ photolithography semiconductor ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ ± 0.5μm / m, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມສູງພາຍໃນຄວາມຍາວ 1 ແມັດບໍ່ຄວນເກີນເຄິ່ງຫນຶ່ງໄມໂຄແມັດ. ພຽງແຕ່ຜ່ານອຸປະກອນກວດຫາຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສາມາດຮັບປະກັນມາດຕະຖານທີ່ເຄັ່ງຄັດນີ້.
2. ການກວດສອບຄວາມກົງ: ຮັບປະກັນ "ຄວາມກົງ" ຂອງການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນຊື່
ສໍາລັບເວທີທີ່ມີສ່ວນເຄື່ອນທີ່ທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນ, ຄວາມຊື່ສັດແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນອັນສໍາຄັນ. ວິທີການທົ່ວໄປສໍາລັບການກວດພົບແມ່ນວິທີການສາຍຫຼື laser collimator. ວິທີການສາຍແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບການລະງັບສາຍເຫຼັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການປຽບທຽບຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງພື້ນຜິວຂອງເວທີແລະສາຍເຫຼັກເພື່ອກໍານົດຄວາມຊື່. ເລເຊີ collimator ໃຊ້ຄຸນລັກສະນະການຂະຫຍາຍພັນຂອງເສັ້ນຊື່ຂອງເລເຊີເພື່ອກວດພົບຄວາມຜິດພາດຂອງເສັ້ນຊື່ຂອງຫນ້າດິນການຕິດຕັ້ງຂອງທາງລົດໄຟຄູ່ມື. ຖ້າຄວາມຊື່ສັດບໍ່ກົງກັບມາດຕະຖານ, ມັນຈະເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນປ່ຽນແປງໃນລະຫວ່າງການເຄື່ອນທີ່, ຜົນກະທົບຕໍ່ການປຸງແຕ່ງຫຼືຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກ.
3. ການກວດສອບຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ: ຮັບປະກັນ "ຄວາມລະອຽດ" ຂອງການຕິດຕໍ່
ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວຂອງແພລະຕະຟອມມີຜົນກະທົບທີ່ເຫມາະສົມຂອງການຕິດຕັ້ງອົງປະກອບ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຫຍາບຂອງສະໄຕລັດ ຫຼືກ້ອງຈຸລະທັດແມ່ນໃຊ້ເພື່ອກວດຫາ. ເຄື່ອງມືປະເພດ stylus ບັນທຶກການປ່ຽນແປງລະດັບຄວາມສູງຂອງ profile microscopic ໂດຍການຕິດຕໍ່ກັບຫນ້າດິນຂອງເວທີທີ່ມີ probe ປັບ. ກ້ອງຈຸລະທັດທາງແສງສາມາດສັງເກດໄດ້ໂດຍກົງກັບໂຄງສ້າງພື້ນຜິວ. ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວຂອງເວທີ granite ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢູ່ທີ່Ra≤0.05μm, ເຊິ່ງເທົ່າກັບຜົນກະທົບທີ່ຄ້າຍຄືກະຈົກ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແຫນ້ນແຫນ້ນໃນລະຫວ່າງການຕິດຕັ້ງແລະຫຼີກເວັ້ນການສັ່ນສະເທືອນຫຼືການເຄື່ອນຍ້າຍທີ່ເກີດຈາກຊ່ອງຫວ່າງ.
ມາດຕະຖານຄວາມຊັດເຈນປະຕິບັດຕາມ: ມາດຕະຖານສາກົນແລະການຄວບຄຸມພາຍໃນຂອງວິສາຫະກິດ
ໃນປັດຈຸບັນ, ໃນລະດັບສາກົນ, ມາດຕະຖານ ISO 25178 ແລະ GB / T 24632 ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປເປັນພື້ນຖານສໍາລັບການກໍານົດຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເວທີ granite, ແລະມີການຈັດປະເພດທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບຕົວຊີ້ວັດເຊັ່ນ: ຄວາມແປແລະຄວາມຊື່. ນອກນີ້, ບັນດາວິສາຫະກິດຜະລິດລະດັບສູງມັກກຳນົດມາດຖານຄວບຄຸມພາຍໃນທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງສໍາລັບເວທີ granite ຂອງເຄື່ອງ photolithography ແມ່ນສູງກວ່າມາດຕະຖານສາກົນ 30%. ເມື່ອດໍາເນີນການທົດສອບ, ຂໍ້ມູນການວັດແທກຄວນຈະຖືກປຽບທຽບກັບມາດຕະຖານທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ພຽງແຕ່ເວທີທີ່ປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານຢ່າງເຕັມສ່ວນສາມາດຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ.
ການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ແມ່ນໂຄງການທີ່ມີລະບົບ. ພຽງແຕ່ໂດຍການທົດສອບຕົວຊີ້ວັດຫຼັກຢ່າງເຂັ້ມງວດເຊັ່ນ: ຄວາມຮາບພຽງ, ຊື່, ແລະຄວາມຫນາຂອງພື້ນຜິວ, ແລະປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານສາກົນແລະວິສາຫະກິດ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງຂອງເວທີ, ວາງພື້ນຖານອັນຫນັກແຫນ້ນສໍາລັບຂົງເຂດການຜະລິດລະດັບສູງເຊັ່ນ: semiconductors ແລະເຄື່ອງມືຄວາມແມ່ນຍໍາ.
ເວລາປະກາດ: 21-05-2025