Granite ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນຄວາມແມ່ນຍໍາ, ລວມທັງອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer. ນີ້ແມ່ນເນື່ອງມາຈາກຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງວັດສະດຸເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງສູງ, ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະການສັ່ນສະເທືອນສູງ. ມັນສະຫນອງພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຮາບພຽງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນການຜະລິດວົງຈອນເອເລັກໂຕຣນິກຂະຫນາດນ້ອຍໃນ wafers.
ໃນເວລາທີ່ນໍາໃຊ້ granite ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະລະມັດລະວັງທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບສູງສຸດແລະອາຍຸຍືນ. ນີ້ແມ່ນຄໍາແນະນໍາບາງຢ່າງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ແລະການຮັກສາ granite ຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
1. ການຈັດການແລະການຕິດຕັ້ງທີ່ເຫມາະສົມ
Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ຫນັກແຫນ້ນແລະແຕກຫັກທີ່ຕ້ອງການການຈັດການແລະການຕິດຕັ້ງທີ່ເຫມາະສົມ. ມັນເປັນສິ່ງ ສຳ ຄັນທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າພື້ນຜິວຖືກລະດັບກ່ອນການຕິດຕັ້ງ. ຄວາມບໍ່ສະເຫມີພາບໃດໆສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍຂອງອຸປະກອນ, ເຊິ່ງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງ wafers ທີ່ຜະລິດ. Granite ຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດຢ່າງລະມັດລະວັງແລະຄວນຈະຖືກຂົນສົ່ງແລະຕິດຕັ້ງດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງອຸປະກອນພິເສດ.
2. ທໍາຄວາມສະອາດປົກກະຕິ
ອຸປະກອນປຸງແຕ່ງ wafer ທີ່ໃຊ້ granite ຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມເປັນປົກກະຕິເພື່ອປ້ອງກັນການສະສົມຂອງ debris ແລະຝຸ່ນໃນຫນ້າດິນ. ການສະສົມຂອງສິ່ງເສດເຫຼືອສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍຂີດຂ່ວນຫຼືນໍາໄປສູ່ການສ້າງຕັ້ງຂອງຮອຍແຕກ, ເຊິ່ງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງ wafers ທີ່ຜະລິດ. ຜ້າອ່ອນໆ ແລະສະບູ່ອ່ອນໆສາມາດພຽງພໍສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ granite. ຄວນຫຼີກເວັ້ນສານຊັກຟອກ ແລະສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ ຍ້ອນວ່າພວກມັນສາມາດທໍາລາຍພື້ນຜິວໄດ້.
3. ການບຳລຸງຮັກສາປ້ອງກັນ
ການບໍາລຸງຮັກສາການປ້ອງກັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer ເຮັດວຽກທີ່ດີທີ່ສຸດ. ອຸປະກອນແລະພື້ນຜິວ granite ຄວນໄດ້ຮັບການກວດກາເປັນປົກກະຕິ, ແລະອາການຂອງຄວາມເສຍຫາຍຄວນໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂທັນທີທັນໃດ. ອັນນີ້ສາມາດຊ່ວຍກວດຫາບັນຫາໄດ້ໄວຂຶ້ນ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ພວກມັນເກີດຂຶ້ນເປັນບັນຫາໃຫຍ່ທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍໃນການສ້ອມແປງ.
4. ຫຼີກເວັ້ນການຂີ່ລົດຖີບດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ
Granite ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຄວນໄດ້ຮັບການຫຼີກເວັ້ນ. ການປ່ຽນແປງຢ່າງໄວວາຂອງອຸນຫະພູມສາມາດເຮັດໃຫ້ granite ຂະຫຍາຍແລະເຮັດສັນຍາ, ນໍາໄປສູ່ການ cracking ຫຼື warping ຂອງຫນ້າດິນ. ການຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງຢູ່ໃນຫ້ອງປຸງແຕ່ງສາມາດຊ່ວຍປ້ອງກັນການເກີດນີ້. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຫຼີກເວັ້ນການວາງວັດຖຸຮ້ອນໃສ່ພື້ນຜິວ granite ເພື່ອປ້ອງກັນການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທີ່ເຫນືອກວ່າທີ່ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການຜະລິດ wafers ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບສູງສຸດແລະອາຍຸຍືນ, ການຈັດການທີ່ເຫມາະສົມ, ການທໍາຄວາມສະອາດເປັນປົກກະຕິ, ການບໍາລຸງຮັກສາປ້ອງກັນ, ແລະຫຼີກເວັ້ນການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນແມ່ນສໍາຄັນ. ການປະຕິບັດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນຢູ່ໃນສະພາບທີ່ດີເລີດ, ເຮັດໃຫ້ມີຜົນຜະລິດທີ່ດີທີ່ສຸດແລະ wafers ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ເວລາປະກາດ: 27-12-2023