Granite ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ລວມທັງອຸປະກອນປຸງແຕ່ງ wafer. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງວັດສະດຸເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງແກ່ນສູງ, ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະຄວາມສັ່ນສະເທືອນສູງ. ມັນໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຮາບພຽງຢູ່, ເຊິ່ງສໍາຄັນໃນການຜະລິດວົງຈອນເອເລັກໂຕຣນິກນ້ອຍໆໃນການ wafers.
ໃນເວລາທີ່ໃຊ້ granite ໃນ Wafer Action ອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຕ້ອງລະມັດລະວັງທີ່ຈະຮັບປະກັນຄວາມປະສິດທິຍາດແລະອາຍຸຍືນ. ນີ້ແມ່ນຄໍາແນະນໍາບາງຢ່າງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ແລະຮັກສາ Granite ຢ່າງຖືກຕ້ອງ.
1. ການຈັດການທີ່ເຫມາະສົມແລະຕິດຕັ້ງ
Granite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ຫນັກແລະເປັນຫມັນທີ່ຕ້ອງການການຈັດການແລະຕິດຕັ້ງທີ່ເຫມາະສົມ. ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຮັບປະກັນວ່າພື້ນຜິວແມ່ນລະດັບກ່ອນການຕິດຕັ້ງ. ບໍ່ມີຄວາມບົກຜ່ອງໃດໆທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ອຸປະກອນ, ເຊິ່ງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງການ wafers ທີ່ຜະລິດໄດ້. Granite ຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດດ້ວຍຄວາມລະມັດລະວັງແລະຄວນໄດ້ຮັບການຂົນສົ່ງແລະຕິດຕັ້ງດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງອຸປະກອນພິເສດ.
2. ທໍາຄວາມສະອາດເປັນປະຈໍາ
ອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ Wafer ທີ່ໃຊ້ granite ຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມເປັນປະຈໍາເພື່ອປ້ອງກັນການສະສົມຂອງສິ່ງເສດເຫຼືອແລະຝຸ່ນໃນພື້ນຜິວ. ການສະສົມຂອງສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍຂີດຂ່ວນຫຼືນໍາໄປສູ່ການສ້າງຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຮອຍແຕກ, ເຊິ່ງສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງການ wafers ທີ່ຜະລິດໄດ້. ຜ້າອ່ອນໆແລະມີການແກ້ໄຂສະບູອ່ອນໆສາມາດພຽງພໍສໍາລັບການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ານ granite. ເຄື່ອງໃຊ້ທີ່ໂຫດຮ້າຍແລະສານເຄມີຄວນຫລີກລ້ຽງຍ້ອນວ່າມັນສາມາດທໍາລາຍພື້ນຜິວໄດ້.
3. ການບໍາລຸງຮັກສາການປ້ອງກັນ
ການບໍາລຸງຮັກສາການປ້ອງກັນແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງໃຊ້ການປຸງແຕ່ງອຸປະກອນທີ່ດີທີ່ສຸດ. ອຸປະກອນແລະພື້ນຜິວ granite ຄວນໄດ້ຮັບການກວດກາເປັນປະຈໍາ, ແລະອາການຂອງຄວາມເສຍຫາຍຄວນໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂໃນທັນທີ. ສິ່ງນີ້ສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ກວດພົບບັນຫາກ່ອນແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ພວກເຂົາພົ້ນຈາກບັນຫາທີ່ໃຫຍ່ກວ່າທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການສ້ອມແປງ.
4. ຫຼີກລ່ຽງການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນ
Granite ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນຄວນຫລີກລ້ຽງ. ອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາໃນອຸນຫະພູມສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດ granite ເພື່ອຂະຫຍາຍແລະສັນຍາ, ເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍແຕກຫຼື warping ຂອງພື້ນຜິວ. ການຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນຫ້ອງປຸງແຕ່ງສາມາດຊ່ວຍປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ສິ່ງນີ້ເກີດຂື້ນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຕ້ອງຫຼີກລ່ຽງການວາງວັດຖຸຮ້ອນໃສ່ພື້ນທີ່ granite ເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມຕື່ນເຕັ້ນ.
ໃນການສະຫລຸບ, granite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸປະກອນປຸງແຕ່ງທີ່ມີຄຸນຄ່າສູງຍ້ອນຄຸນສົມບັດທີ່ດີກວ່າຂອງມັນທີ່ປະກອບສ່ວນການຜະລິດເຄື່ອງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບສູງສຸດແລະມີອາຍຸຍືນ, ການຈັດການທີ່ເຫມາະສົມ, ການເຮັດຄວາມສະອາດເປັນປົກກະຕິ, ການຮັກສາການປ້ອງກັນ, ແລະຫລີກລ້ຽງການຂີ່ຈັກຍານຄວາມຮ້ອນແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. ການປະຕິບັດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຊ່ວຍຮັກສາອຸປະກອນໃນສະພາບທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຜົນໃນການຜະລິດຕະພັນທີ່ດີທີ່ສຸດ.
ເວລາໄປສະນີ: Dec-27-2023