ເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ Granite, ມີຄວາມເຂັ້ມງວດສູງ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຕ່ໍາ, ປະສິດທິພາບການທໍາລາຍທີ່ດີເລີດແລະຄຸນສົມບັດຕ້ານແມ່ເຫຼັກທໍາມະຊາດ, ມີມູນຄ່າຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ irreplaceable ໃນການຜະລິດລະດັບສູງແລະຂົງເຂດການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດທີ່ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງແມ່ນຕ້ອງການສູງ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກຂອງມັນແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວິຊາການ:
I. ພາກສະຫນາມຂອງອຸປະກອນການປະມວນຜົນ Ultra-precision
ອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor
ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ຕາຕະລາງ workpiece ເຄື່ອງ lithography, ພື້ນຖານເຄື່ອງ dicing wafer, ເວທີການຈັດຕໍາແຫນ່ງອຸປະກອນການຫຸ້ມຫໍ່.
ມູນຄ່າດ້ານວິຊາການ:
ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນພຽງແຕ່ (0.5-1.0) ×10⁻⁶ / ℃, ເຊິ່ງສາມາດຕ້ານການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການສໍາຜັດ nanoscale ຂອງເຄື່ອງ lithography (ຄວາມຜິດພາດການຍ້າຍ <0.1nm ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ ±0.1℃).
ໂຄງປະກອບການ micro-pore ພາຍໃນປະກອບເປັນ damping ທໍາມະຊາດ (ອັດຕາສ່ວນ damping 0.05 ຫາ 0.1), ສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນ (ຄວາມກວ້າງໄກ <2μm) ໃນລະຫວ່າງການຕັດຄວາມໄວສູງໂດຍເຄື່ອງ dicing ແລະຮັບປະກັນວ່າຂອບ roughness Ra ຂອງການຕັດ wafer ແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາ 1μm.
2. ເຄື່ອງຂັດຄວາມຊັດເຈນ ແລະເຄື່ອງວັດແທກປະສານງານ (CMM)
ກໍລະນີຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:
ພື້ນຖານຂອງເຄື່ອງວັດແທກສາມປະສານງານຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງ granite ປະສົມປະສານ, ມີຄວາມຮາບພຽງຢູ່ ± 0.5μm / m. ສົມທົບກັບທາງລົດໄຟຄູ່ມືທາງອາກາດທີ່ເລື່ອນໄດ້, ມັນບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວໃນລະດັບ nano (ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງຊ້ໍາ ±0.1μm).
ໂຕະເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງຂັດ optical ຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງປະສົມຂອງ granite ແລະເຫຼັກກ້າເງິນ. ເມື່ອການຂັດແກ້ວ K9, ຄວາມວຸ້ນຂອງພື້ນຜິວແມ່ນໜ້ອຍກວ່າ λ/20 (λ=632.8nm), ຕອບສະໜອງໄດ້ຄວາມຕ້ອງການການປະມວນຜົນທີ່ລຽບງ່າຍຂອງເລເຊີເລນ.
Ii. ສາຂາວິຊາ Optics ແລະ Photonics
ກ້ອງສ່ອງທາງດາລາສາດ ແລະລະບົບເລເຊີ
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ:
ເວທີສະຫນັບສະຫນູນຂອງພື້ນຜິວສະທ້ອນຂອງ telescope ວິທະຍຸຂະຫນາດໃຫຍ່ຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງ Honeycomb granite, ທີ່ມີນ້ໍາຫນັກເບົາໃນຕົວຂອງມັນເອງ (ຄວາມຫນາແຫນ້ນ 2.7g / cm³) ແລະມີຄວາມຕ້ານທານລົມແຮງສັ່ນສະເທືອນ (ການຜິດປົກກະຕິ <50μmພາຍໃຕ້ລົມ 10 ລະດັບ).
ເວທີ optical ຂອງ interferometer laser ໃຊ້ granite ຈຸນລະພາກ porous. ເຄື່ອງສະທ້ອນແສງຖືກແກ້ໄຂໂດຍການດູດຊືມສູນຍາກາດ, ມີຄວາມຜິດພາດຄວາມຮາບພຽງຫນ້ອຍກວ່າ 5nm, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການທົດລອງ optical ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສຸດເຊັ່ນ: ການກວດສອບຄື້ນຄວາມໂນ້ມຖ່ວງ.
2. ການປະມວນຜົນອົງປະກອບ optical ຄວາມແມ່ນຍໍາ
ຂໍ້ດີດ້ານວິຊາການ:
ການ permeability ສະນະແມ່ເຫຼັກແລະການນໍາໄຟຟ້າຂອງເວທີ granite ແມ່ນຢູ່ໃກ້ກັບສູນ, ຫຼີກເວັ້ນການອິດທິພົນຂອງການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າໃນຂະບວນການຄວາມແມ່ນຍໍາເຊັ່ນ: ion beam polishing (IBF) ແລະການຂັດ magnetorheological (MRF). ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຮູບຮ່າງໜ້າດິນ ມູນຄ່າ PV ຂອງເລນ asphical ທີ່ປຸງແຕ່ງແລ້ວສາມາດບັນລຸ λ/100.
iii. ຍານອາວະກາດ ແລະ ການກວດກາຄວາມຖືກຕ້ອງ
ເວທີກວດກາອົງປະກອບການບິນ
ສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ການກວດກາສາມມິຕິລະດັບຂອງແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືເຮືອບິນ, ການວັດແທກຂອງຮູບຮ່າງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ຕໍາແຫນ່ງຂອງອົງປະກອບໂຄງສ້າງໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມການບິນ.
ປະສິດທິພາບຫຼັກ:
ພື້ນຜິວຂອງເວທີ granite ໄດ້ຖືກປະຕິບັດໂດຍການກັດກ່ອນ electrolytic ເພື່ອສ້າງຮູບແບບທີ່ດີ (ມີຄວາມຫຍາບຄາຍຂອງ Ra 0.4-0.8μm), ເຫມາະສໍາລັບ probes trigger ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະຄວາມຜິດພາດຂອງການກວດສອບ profile ແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາ 5μm.
ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ການໂຫຼດຂອງອົງປະກອບການບິນຫຼາຍກວ່າ 200kg, ແລະການປ່ຽນແປງຄວາມຮາບພຽງຢູ່ພາຍຫຼັງການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 2μm / m, ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຊັ້ນຮຽນທີ 10 ໃນອຸດສາຫະກໍາການບິນ.
2. Calibration ຂອງອົງປະກອບນໍາທິດ inertial
ຄວາມຕ້ອງການດ້ານວິຊາການ: ການປັບທຽບຄົງທີ່ຂອງອຸປະກອນ inertial ເຊັ່ນ gyroscopes ແລະ accelerometers ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີເວທີການອ້າງອິງ ultra-stable.
ການແກ້ໄຂ: ແພລະຕະຟອມ granite ຖືກລວມເຂົ້າກັບລະບົບການແຍກ vibration ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ (ຄວາມຖີ່ທໍາມະຊາດ < 1Hz), ບັນລຸການປັບລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສູນຊົດເຊີຍຂອງອົງປະກອບ inertial < 0.01°/h ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການເລັ່ງການສັ່ນສະເທືອນ < 1×10⁻⁴g.
iv. ນາໂນເຕັກໂນໂລຍີ ແລະ ຊີວະຢາ
ເວທີການສະແກນກ້ອງຈຸລະທັດ (SPM).
ຟັງຊັນຫຼັກ: ເປັນພື້ນຖານສໍາລັບກ້ອງຈຸລະທັດຜົນບັງຄັບໃຊ້ປະລໍາມະນູ (AFM) ແລະກ້ອງຈຸລະທັດທາງອຸໂມງແບບສະແກນ (STM), ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ແຍກອອກຈາກການສັ່ນສະເທືອນຂອງສິ່ງແວດລ້ອມແລະການລອຍລົມຄວາມຮ້ອນ.
ຕົວຊີ້ວັດການປະຕິບັດ:
ເວທີ granite, ປະສົມປະສານກັບຂາແຍກ vibration pneumatic, ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການສົ່ງຕໍ່ຂອງ vibrations ພາຍນອກ (1-100Hz) ຫນ້ອຍກວ່າ 5%, ບັນລຸການຖ່າຍຮູບລະດັບປະລໍາມະນູຂອງ AFM ໃນສະພາບແວດລ້ອມບັນຍາກາດ (ຄວາມລະອຽດ < 0.1nm).
ຄວາມອ່ອນໄຫວຂອງອຸນຫະພູມແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 0.05μm / ℃, ເຊິ່ງຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການສັງເກດການ nanoscale ຂອງຕົວຢ່າງຊີວະພາບໃນອຸນຫະພູມຄົງທີ່ (37 ℃± 0.1 ℃).
2. ອຸປະກອນບັນຈຸພັນ Biochip
ກໍລະນີຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ແພລະຕະຟອມການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບຊິບລໍາດັບ DNA ນໍາໃຊ້ແຖບຄູ່ມືທາງອາກາດທີ່ເລື່ອນໄດ້ດ້ວຍຫີນ granite, ດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ ±0.5μm, ຮັບປະກັນການຜູກມັດ sub-micron ລະຫວ່າງຊ່ອງ microfluidic ແລະ electrode ກວດພົບ.
V. ສະຖານະການແອັບພລິເຄຊັນທີ່ເກີດໃໝ່
ພື້ນຖານອຸປະກອນຄອມພິວເຕີ Quantum
ສິ່ງທ້າທາຍທາງດ້ານເຕັກນິກ: ການຫມູນໃຊ້ແບບ Qubit ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີອຸນຫະພູມຕໍ່າທີ່ສຸດ (ລະດັບ mK) ແລະສະພາບແວດລ້ອມກົນຈັກທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ.
ການແກ້ໄຂ: ຄຸນສົມບັດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາສຸດຂອງ granite (ອັດຕາການຂະຫຍາຍຕົວ < 1ppm ຈາກ -200 ℃ກັບອຸນຫະພູມຫ້ອງ) ສາມາດກົງກັບລັກສະນະຂອງການຫົດຕົວຂອງແມ່ເຫຼັກ superconducting ອຸນຫະພູມຕ່ໍາສຸດ, ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດວາງໃນລະຫວ່າງການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງຊິບ quantum.
2. ລະບົບ Electron Beam Lithography (EBL).
ການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນ: ຄຸນສົມບັດ insulation ຂອງເວທີ granite (ຄວາມຕ້ານທານ> 10¹³Ω·m) ປ້ອງກັນການກະແຈກກະຈາຍຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ. ສົມທົບກັບການຂັບ spindle electrostatic, ມັນບັນລຸການຂຽນຮູບແບບ lithography ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ມີຄວາມກວ້າງເສັ້ນ nanoscale (< 10nm).
ສະຫຼຸບ
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ໄດ້ຂະຫຍາຍຈາກເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາແບບດັ້ງເດີມໄປສູ່ຂົງເຂດທີ່ກ້າວຫນ້າເຊັ່ນ: nanotechnology, quantum physics, ແລະ biomedicine. ຄວາມສາມາດແຂ່ງຂັນຫຼັກຂອງມັນແມ່ນຢູ່ໃນການສົມທົບຢ່າງເລິກເຊິ່ງຂອງຄຸນສົມບັດວັດສະດຸແລະຄວາມຕ້ອງການດ້ານວິສະວະກໍາ. ໃນອະນາຄົດ, ດ້ວຍການລວມເອົາເທກໂນໂລຍີເສີມສ້າງອົງປະກອບ (ເຊັ່ນ: graphene-granite nanocomposites) ແລະເຕັກໂນໂລຊີການຮັບຮູ້ອັດສະລິຍະ, ເວທີ granite ຈະແຕກແຍກໃນທິດທາງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງໃນລະດັບປະລໍາມະນູ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງລະດັບອຸນຫະພູມເຕັມ, ແລະການລວມເຂົ້າກັນຫຼາຍຫນ້າທີ່, ສະຫນັບສະຫນູນການຜະລິດ ultra-pre ພື້ນຖານການຜະລິດຕໍ່ໄປ.
ເວລາປະກາດ: 28-05-2025