ວັດສະດຸ granite ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະທີ່ດີເລີດຂອງພວກມັນ, ເຊັ່ນວ່າການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການກັດກ່ອນ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການສ້າງສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມຈອງຫອງໃນລະບົບການໂອນຍ້າຍ Wafer.
ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ລະບົບການໂອນຍ້າຍ Wafer ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຂົນສົ່ງ wafers ໃນໄລຍະທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຂະບວນການຜະລິດ. ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບລະບົບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນແຕ່ຄວາມບ່ຽງເບນເລັກນ້ອຍອາດຈະເປັນການທໍາລາຍຂະບວນການທັງຫມົດ. ເພາະສະນັ້ນ, ສ່ວນປະກອບໃນລະບົບການໂອນຍ້າຍ Wafer ຕ້ອງໄດ້ຜະລິດຈາກວັດຖຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ແລະ granite ພົບກັບມາດຖານເຫລົ່ານັ້ນ.
ບາງສ່ວນຂອງລະບົບການໂອນຍ້າຍ Wafer ທີ່ເຮັດມາຈາກອຸປະກອນການປະກອບມີ:
1. ໂຕະດູດຊືມ
ຕາຕະລາງ Chuck ສູນຍາກາດແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຖື wafer ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນ, ແລະມັນຕ້ອງມີພື້ນທີ່ທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າ wafer ບໍ່ໄດ້ຮັບຄວາມເສຍຫາຍ. Granite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບເຮັດໂຕະນີ້ເພາະວ່າມັນມີພື້ນທີ່ຮາບພຽງ, ບໍ່ແມ່ນ porous ທີ່ໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, gennite ມີຕົວຄູນຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ມີການປ່ຽນແປງມິຕິໃນການເຮັດວຽກໃນຂະຫນາດ
2. ຂັ້ນຕອນທາງອາກາດ
ຂັ້ນຕອນຂອງການຂົນສົ່ງທາງອາກາດແມ່ນໃຊ້ໃນການຂົນສົ່ງ wafer ໂດຍຜ່ານໄລຍະທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຂະບວນການຜະລິດ. ຂັ້ນຕອນຂອງການແມ່ນໄດ້ຮັບການອອກແບບເພື່ອໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ສະຫຼາດ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະສະຖຽນລະພາບ. Granite ຖືກນໍາໃຊ້ໃນໃບສະຫມັກນີ້ເພາະວ່າມັນເປັນກ້ອນຫີນທີ່ເຂັ້ມງວດແລະແຂງ, ແລະມັນກໍ່ຕ້ານກັບການຜິດປົກກະຕິແລະໃສ່ໃນໄລຍະເວລາ.
3. ຄູ່ມືແນະນໍາ Line Motion
ຄູ່ມືແນະນໍາກ່ຽວກັບເສັ້ນທາງເສັ້ນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອນໍາພາຂັ້ນຕອນທາງອາກາດ, ແລະພວກມັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການຕໍາແຫນ່ງຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດຫນ້ອຍຫນຶ່ງ. Granite ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອສ້າງຄູ່ມືນີ້ເພາະວ່າມັນມີສະຖຽນລະພາບກົນຈັກແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ດີເລີດ. ອຸປະກອນການຍັງທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນອາຍຸຍືນຂອງລະບົບຄູ່ມື.
4. ອຸປະກອນ Metroology
ອຸປະກອນເຄື່ອງຫັດຖະກໍາຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຂະຫນາດແລະຄຸນສົມບັດຂອງ Wafer ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດ. Granite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງອຸປະກອນນີ້ເພາະວ່າມັນແຂງ, ການຂະຫຍາຍຕົວຕໍ່າ, ແລະການຜິດປົກກະຕິຂອງການໂຫຼດຫນ້ອຍ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນ metrooly ຍັງຄົງຫມັ້ນຄົງແລະຖືກຕ້ອງຕາມການເວລາ.
ໃນການສະຫລຸບ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແມ່ນຂື້ນກັບຄວາມຊັດເຈນແລະວັດສະດຸທີ່ຖືກຕ້ອງ, ແລະວັດສະດຸ Granite ໄດ້ພິສູດໃຫ້ມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນຂະບວນການຜະລິດ. ມີສ່ວນປະກອບສໍາຄັນຫຼາຍໃນລະບົບການໂອນຍ້າຍ Wafer ທີ່ຕ້ອງການສະຖຽນລະພາບສູງ, ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ, ວິສະວະກອນໄດ້ຫັນໄປຫາເອກະສານທີ່ສໍາຄັນເຫຼົ່ານີ້.
ເວລາໄປສະນີ: Mar-19-2024