ໃນພາກສ່ວນໃດຂອງລະບົບການໂອນ wafer ແມ່ນໃຊ້ວັດສະດຸ granite?

ວັດສະດຸ Granite ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການກັດກ່ອນ.ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ granite ເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະບົບການໂອນ wafer.

ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ລະບົບການໂອນ wafer ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຂົນສົ່ງ wafers ຂ້າມຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ.ຄວາມຊັດເຈນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບລະບົບເຫຼົ່ານີ້, ເຖິງແມ່ນວ່າການ deviations ເລັກນ້ອຍອາດຈະເປັນອັນຕະລາຍຂະບວນການທັງຫມົດ.ດັ່ງນັ້ນ, ອົງປະກອບໃນລະບົບການໂອນ wafer ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ແລະ granite ຕອບສະຫນອງເງື່ອນໄຂເຫຼົ່ານັ້ນ.

ບາງສ່ວນຂອງລະບົບການໂອນ wafer ທີ່ຜະລິດຈາກວັດສະດຸ granite ປະກອບມີ:

1. ຕາຕະລາງ Chuck ສູນຍາກາດ

ຕາຕະລາງ chuck ສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຖື wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ, ແລະມັນຕ້ອງມີຫນ້າດິນທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນ wafer ບໍ່ໄດ້ເສຍຫາຍ.Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການເຮັດຕາຕະລາງນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີພື້ນຜິວແປ, ບໍ່ມີ porous ທີ່ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ.ນອກຈາກນັ້ນ, granite ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງຂະຫນາດໃນ wafer ໄດ້.

2. ຂັ້ນ​ຕອນ​ຂອງ Air-Bearing

ຂັ້ນຕອນການແບກຫາບທາງອາກາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງ wafer ຜ່ານຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ.ເວທີໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອສະຫນອງການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ມີ frictionless, ເຊິ່ງຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ.Granite ຖືກ ນຳ ໃຊ້ໃນໃບສະ ໝັກ ນີ້ເພາະວ່າມັນເປັນຫີນທີ່ແຂງແລະແຂງ, ແລະຕ້ານການຜິດປົກກະຕິແລະການສວມໃສ່ໃນໄລຍະເວລາ.

3. Linear Motion Guides

ຄູ່ມືການເຄື່ອນໄຫວແບບເສັ້ນຖືກໃຊ້ເພື່ອນໍາພາຂັ້ນຕອນການແບກຫາບທາງອາກາດ, ແລະພວກເຂົາຕ້ອງຖືກຈັດຕໍາແຫນ່ງຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດ.Granite ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຄູ່ມືນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ.ວັດສະດຸຍັງທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມທົນທານຂອງລະບົບຄູ່ມື.

4. ອຸປະກອນ Metrology

ອຸປະກອນ Metrology ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຂະຫນາດແລະຄຸນສົມບັດຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ.Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງອຸປະກອນນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມແຂງສູງ, ການຂະຫຍາຍຕ່ໍາ, ແລະການຜິດປົກກະຕິຫນ້ອຍພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ.ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນວັດແທກຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຖືກຕ້ອງໃນໄລຍະເວລາ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ອີງໃສ່ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງ, ແລະວັດສະດຸ granite ໄດ້ພິສູດວ່າມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນຂະບວນການຜະລິດ.ດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍໃນລະບົບການໂອນ wafer ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ວິສະວະກອນໄດ້ຫັນໄປສູ່ວັດສະດຸ granite ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ສໍາຄັນເຫຼົ່ານີ້.