ວັດສະດຸ Granite ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄຸນລັກສະນະທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະຄວາມຕ້ານທານສູງຕໍ່ການກັດກ່ອນ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ granite ເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະບົບການໂອນ wafer.
ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ລະບົບການໂອນ wafer ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຂົນສົ່ງ wafers ຂ້າມຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ. ຄວາມຊັດເຈນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບລະບົບເຫຼົ່ານີ້, ເຖິງແມ່ນວ່າການ deviations ເລັກນ້ອຍອາດຈະເປັນອັນຕະລາຍຂະບວນການທັງຫມົດ. ດັ່ງນັ້ນ, ອົງປະກອບໃນລະບົບການໂອນ wafer ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ແລະ granite ຕອບສະຫນອງເງື່ອນໄຂເຫຼົ່ານັ້ນ.
ບາງສ່ວນຂອງລະບົບການໂອນ wafer ທີ່ຜະລິດຈາກວັດສະດຸ granite ປະກອບມີ:
1. ຕາຕະລາງ Chuck ສູນຍາກາດ
ຕາຕະລາງ chuck ສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຖື wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ, ແລະມັນຕ້ອງມີຫນ້າດິນທີ່ຫມັ້ນຄົງເພື່ອຮັບປະກັນ wafer ບໍ່ໄດ້ເສຍຫາຍ. Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການເຮັດຕາຕະລາງນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີພື້ນຜິວແປ, ບໍ່ມີ porous ທີ່ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ. ນອກຈາກນັ້ນ, granite ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງຂະຫນາດໃນ wafer ໄດ້.
2. ຂັ້ນຕອນຂອງ Air-Bearing
ຂັ້ນຕອນການແບກຫາບທາງອາກາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງ wafer ຜ່ານຂັ້ນຕອນຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ. ເວທີໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອສະຫນອງການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ມີ frictionless, ເຊິ່ງຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ. Granite ຖືກ ນຳ ໃຊ້ໃນໃບສະ ໝັກ ນີ້ເພາະວ່າມັນເປັນຫີນແຂງແລະແຂງ, ແລະຕ້ານການຜິດປົກກະຕິແລະການສວມໃສ່ໃນໄລຍະເວລາ.
3. Linear Motion Guides
ຄູ່ມືການເຄື່ອນໄຫວແບບເສັ້ນຖືກໃຊ້ເພື່ອນໍາພາຂັ້ນຕອນການແບກຫາບທາງອາກາດ, ແລະພວກເຂົາຕ້ອງຖືກຈັດຕໍາແຫນ່ງຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດ. Granite ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຄູ່ມືນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດ. ວັດສະດຸຍັງທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມທົນທານຂອງລະບົບຄູ່ມື.
4. ອຸປະກອນ Metrology
ອຸປະກອນ Metrology ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຂະຫນາດແລະຄຸນສົມບັດຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການກໍ່ສ້າງອຸປະກອນນີ້ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມແຂງສູງ, ການຂະຫຍາຍຕ່ໍາ, ແລະການຜິດປົກກະຕິຫນ້ອຍພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນວັດແທກຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຖືກຕ້ອງໃນໄລຍະເວລາ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ອີງໃສ່ຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງ, ແລະວັດສະດຸ granite ໄດ້ພິສູດວ່າມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນຂະບວນການຜະລິດ. ດ້ວຍອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍໃນລະບົບການໂອນ wafer ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ວິສະວະກອນໄດ້ຫັນໄປຫາວັດສະດຸ granite ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ສໍາຄັນເຫຼົ່ານີ້.
ເວລາປະກາດ: 19-03-2024