ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ + ຖານຫີນແກຣນິດ: ຄວາມລັບຫຼັກຂອງລະບົບການໂອນຍ້າຍເວເຟີລຸ້ນໃໝ່.

ໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ແນ່ນອນ, ລະບົບການໂອນເວເຟີແມ່ນຄືກັບ "ສາຍຊີວິດຂອງສາຍການຜະລິດຊິບ", ແລະຄວາມໝັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມັນເປັນຕົວກຳນົດອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງຊິບໂດຍກົງ. ລະບົບການໂອນເວເຟີລຸ້ນໃໝ່ໄດ້ປະສົມປະສານມໍເຕີເສັ້ນຊື່ກັບຖານຫີນແກຣນິດຢ່າງປະຕິວັດ, ແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງວັດສະດຸຫີນແກຣນິດແມ່ນລະຫັດຫຼັກເພື່ອປົດລັອກການສົ່ງສັນຍານປະສິດທິພາບສູງ.

​
ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ: ການສ້າງ "ພື້ນຖານທີ່ແຂງແກ່ນຄືຫີນ" ສຳລັບການສົ່ງສັນຍານທີ່ໝັ້ນຄົງ
ຫີນແກຣນິດ, ເຊິ່ງໄດ້ຜ່ານການປັບປຸງທາງທໍລະນີວິທະຍາຫຼາຍຮ້ອຍລ້ານປີ, ມີລັກສະນະການເກີດຜລຶກແຮ່ທາດພາຍໃນທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ. ລັກສະນະທຳມະຊາດນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ເໝາະສົມສຳລັບລະບົບການໂອນເວເຟີ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສັບສົນຂອງຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດເຄິ່ງຕົວນຳ, ຫີນແກຣນິດ, ດ້ວຍສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ່ຳຫຼາຍ (ພຽງແຕ່ 5-7 ×10⁻⁶/℃), ສາມາດຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນ ແລະ ອິດທິພົນຂອງການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມສິ່ງແວດລ້ອມ, ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະໜາດພື້ນຖານ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງການບ່ຽງເບນຂອງເສັ້ນທາງສົ່ງຜ່ານທີ່ເກີດຈາກການຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນ. ປະສິດທິພາບການຫຼຸດການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນສາມາດດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນທາງກົນຈັກທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການເລີ່ມຕົ້ນ, ການປິດ ແລະ ການເລັ່ງຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການແຊກແຊງພາຍນອກທີ່ເກີດຈາກການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນອື່ນໆໃນໂຮງງານ, ສະໜອງແພລດຟອມທີ່ໝັ້ນຄົງດ້ວຍ "ການສັ່ນສູນ" ສຳລັບການສົ່ງເວເຟີ.
ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງຫີນແກຣນິດຮັບປະກັນວ່າມັນບໍ່ເປັນສະໜິມ ຫຼື ສະໜິມໃນໂຮງງານເຄິ່ງຕົວນຳບ່ອນທີ່ສານປະຕິກິລິຍາກົດ ແລະ ດ່າງມີຄວາມລະເຫີຍງ່າຍ ແລະ ຕ້ອງການຄວາມສະອາດສູງ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼີກລ່ຽງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການສົ່ງຜ່ານເນື່ອງຈາກການເກົ່າຂອງວັດສະດຸ ຫຼື ການດູດຊຶມມົນລະພິດ. ລັກສະນະພື້ນຜິວທີ່ລຽບ ແລະ ໜາແໜ້ນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງຝຸ່ນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານການບໍ່ມີຝຸ່ນທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ ແລະ ກຳຈັດຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນຂອງແຜ່ນເວເຟີຈາກຮາກ.
ຜົນກະທົບຂອງ "ການຮ່ວມມືທອງຄຳ" ຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່ ແລະ ຫີນແກຣນິດ
ມໍເຕີເສັ້ນຊື່, ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີຊ່ອງຫວ່າງລະບົບສົ່ງກຳລັງແບບກົນຈັກ, ຄວາມເລັ່ງສູງ ແລະ ຄວາມໄວໃນການຕອບສະໜອງສູງ, ເຮັດໃຫ້ລະບົບສົ່ງກຳລັງແຜ່ນເວເຟີມີຂໍ້ໄດ້ປຽບຄື "ໄວ, ຖືກຕ້ອງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ". ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດໃຫ້ແພລດຟອມຮອງຮັບທີ່ແຂງແກ່ນ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖື. ທັງສອງເຮັດວຽກຮ່ວມກັນເພື່ອບັນລຸຜົນການກ້າວກະໂດດໃນການປະຕິບັດ. ເມື່ອມໍເຕີເສັ້ນຊື່ຂັບເຄື່ອນຕົວຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີໃຫ້ແລ່ນຢູ່ເທິງເສັ້ນທາງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ, ຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງພື້ນຖານຮັບປະກັນການສົ່ງກຳລັງຂັບເຄື່ອນຂອງມໍເຕີທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ຫຼີກລ່ຽງການສູນເສຍແຮງ ຫຼື ຄວາມຊັກຊ້າຂອງລະບົບສົ່ງກຳລັງທີ່ເກີດຈາກການຜິດຮູບຂອງພື້ນຖານ.
ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາໃນລະດັບນາໂນ, ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ສາມາດບັນລຸການຄວບຄຸມການຍົກຍ້າຍລະດັບຍ່ອຍໄມຄຣອນ. ລັກສະນະການປະມວນຜົນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງຖານແກຣນິດ (ທີ່ມີຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງທີ່ຄວບຄຸມພາຍໃນ ±1μm) ກົງກັບການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່ຢ່າງສົມບູນ, ຮ່ວມກັນຮັບປະກັນວ່າຄວາມຜິດພາດຂອງການວາງຕໍາແໜ່ງໃນລະຫວ່າງການສົ່ງເວເຟີແມ່ນໜ້ອຍກວ່າ ±5μm. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການໂອນຄວາມໄວສູງລະຫວ່າງອຸປະກອນຂະບວນການຕ່າງໆ ຫຼື ການຈອດລົດທີ່ແນ່ນອນສໍາລັບການສົ່ງເວເຟີ, ການລວມກັນຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່ ແລະ ຖານແກຣນິດສາມາດຮັບປະກັນ "ສູນຄວາມຜິດປົກກະຕິ ແລະ ສູນການສັ່ນສະເທືອນ" ໃນການສົ່ງເວເຟີ.
ການຢັ້ງຢືນການປະຕິບັດຂອງອຸດສາຫະກໍາ: ການປັບປຸງສອງເທົ່າໃນດ້ານປະສິດທິພາບ ແລະ ອັດຕາຜົນຜະລິດ
ຫຼັງຈາກການຍົກລະດັບລະບົບການໂອນເວເຟີຂອງຕົນ, ວິສາຫະກິດເຄິ່ງຕົວນຳລະດັບໂລກໄດ້ຮັບຮອງເອົາວິທີແກ້ໄຂມໍເຕີເສັ້ນຊື່ + ຖານແກຣນິດ, ເຊິ່ງເພີ່ມປະສິດທິພາບການໂອນເວເຟີຂຶ້ນ 40%, ຫຼຸດອັດຕາການເກີດຂຶ້ນຂອງຄວາມຜິດພາດເຊັ່ນ: ການຊົນກັນ ແລະ ການຊົດເຊີຍໃນລະຫວ່າງຂະບວນການໂອນລົງ 85%, ແລະ ປັບປຸງອັດຕາຜົນຜະລິດໂດຍລວມຂອງຊິບລົງ 6%. ເບື້ອງຫຼັງຂໍ້ມູນແມ່ນການຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການສົ່ງຜ່ານທີ່ສະໜອງໃຫ້ໂດຍຖານແກຣນິດ ແລະ ຜົນກະທົບການຮ່ວມມືທີ່ມີຄວາມໄວສູງ ແລະ ຊັດເຈນຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍ ແລະ ຄວາມຜິດພາດໃນຂະບວນການສົ່ງຜ່ານເວເຟີໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ຈາກຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸຈົນເຖິງການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານປະສິດທິພາບຈົນເຖິງການກວດສອບຕົວຈິງ, ການລວມກັນຂອງມໍເຕີເສັ້ນຊື່ ແລະ ພື້ນຖານແກຣນິດໄດ້ກຳນົດມາດຕະຖານຂອງລະບົບການໂອນເວເຟີຄືນໃໝ່. ໃນອະນາຄົດເມື່ອເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳກ້າວໄປສູ່ຂະບວນການ 3nm ແລະ 2nm, ວັດສະດຸແກຣນິດແນ່ນອນວ່າຈະສືບຕໍ່ເພີ່ມແຮງກະຕຸ້ນທີ່ເຂັ້ມແຂງເຂົ້າໃນການພັດທະນາຂອງອຸດສາຫະກໍາດ້ວຍຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້.