ໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຊັດເຈນ, ລະບົບການໂອນ wafer ແມ່ນຄ້າຍຄື "ເສັ້ນຊີວິດຂອງສາຍການຜະລິດ chip", ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມັນກໍານົດອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງ chip ໂດຍກົງ. ການຜະລິດໃຫມ່ຂອງລະບົບການໂອນ wafer ປະຕິວັດປະສົມປະສານ motors linear ກັບຖານ granite, ແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງວັດສະດຸ granite ແມ່ນຊັດເຈນລະຫັດຫຼັກເພື່ອປົດລັອກປະສິດທິພາບສູງລະບົບສາຍສົ່ງ.
ພື້ນຖານຫີນການິດ: ການກໍ່ສ້າງ "ພື້ນຖານຫີນແຂງ" ສໍາລັບການສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງ
ຫີນການິດ, ໄດ້ຜ່ານການປັບປ່ຽນທາງທໍລະນີສາດຫຼາຍຮ້ອຍລ້ານປີ, ມີລັກສະນະການຫລໍ່ຫລອມແຮ່ທາດພາຍໃນຢ່າງໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ. ລັກສະນະທໍາມະຊາດນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸພື້ນຖານທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບລະບົບການໂອນ wafer. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຊັບຊ້ອນຂອງຫ້ອງສະອາດ semiconductor, granite, ທີ່ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາສຸດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນ (ພຽງແຕ່ 5-7 ×10⁻⁶ / ℃), ສາມາດຕ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານອຸປະກອນແລະອິດທິພົນຂອງການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະຫນາດພື້ນຖານແລະຫຼີກເວັ້ນການ deviation ເສັ້ນທາງສາຍສົ່ງທີ່ເກີດຈາກການຜິດປົກກະຕິຄວາມຮ້ອນ. ປະສິດທິພາບການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນສາມາດດູດຊຶມໄດ້ໄວການສັ່ນສະເທືອນກົນຈັກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການເລີ່ມຕົ້ນ, ປິດແລະການເລັ່ງຂອງມໍເຕີ linear, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການແຊກແຊງພາຍນອກທີ່ນໍາເອົາໂດຍການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນອື່ນໆໃນກອງປະຊຸມ, ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງກັບ "ສູນສັ່ນ" ສໍາລັບການສົ່ງ wafer.
ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີຂອງ granite ຮັບປະກັນວ່າມັນບໍ່ corrode ຫຼື rust ໃນກອງປະຊຸມ semiconductor ບ່ອນທີ່ອາຊິດແລະ alkali reagents ມີຄວາມລະເຫີຍແລະຄວາມສະອາດສູງແມ່ນຕ້ອງການ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼີກເວັ້ນຜົນກະທົບຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງສາຍສົ່ງເນື່ອງຈາກອາຍຸວັດສະດຸຫຼືການດູດຊຶມມົນລະພິດ. ຄຸນລັກສະນະຂອງພື້ນຜິວທີ່ລຽບແລະຫນາແຫນ້ນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການຍຶດຕິດຂອງຂີ້ຝຸ່ນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານທີ່ບໍ່ມີຝຸ່ນຂີ້ຝຸ່ນຢ່າງເຂັ້ມງວດຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດແລະກໍາຈັດຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂອງ wafer ຈາກຮາກ.
ຜົນກະທົບຂອງ "ການຮ່ວມມືສີທອງ" ຂອງມໍເຕີເສັ້ນແລະ granite
motors linear, ມີລັກສະນະຂອງເຂົາເຈົ້າບໍ່ມີການເກັບກູ້ລະບົບສາຍສົ່ງກົນຈັກ, ການເລັ່ງສູງແລະຄວາມໄວຕອບສະຫນອງສູງ, endow wafer ລະບົບສາຍສົ່ງທີ່ມີຂໍ້ດີຂອງ "ໄວ, ຖືກຕ້ອງແລະຫມັ້ນຄົງ". ພື້ນຖານ granite ສະຫນອງເວທີສະຫນັບສະຫນູນທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບມັນ. ສອງປະເທດເຮັດວຽກຮ່ວມກັນເພື່ອບັນລຸການກ້າວກະໂດດໃນການປະຕິບັດ. ໃນເວລາທີ່ມໍເຕີ linear ຂັບລົດບັນທຸກ wafer ແລ່ນໃນການຕິດຕາມພື້ນຖານ granite, ຄວາມເຂັ້ມງວດທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຖານຮັບປະກັນການສົ່ງໄຟຟ້າປະສິດທິພາບຂອງແຮງຂັບ motor, ຫຼີກເວັ້ນການສູນເສຍຜົນບັງຄັບໃຊ້ຫຼືການສົ່ງຕໍ່ lag ທີ່ເກີດຈາກການຜິດປົກກະຕິຂອງຖານ.
ຂັບເຄື່ອນໂດຍຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາ nanoscale, motors ເສັ້ນສາມາດບັນລຸການຄວບຄຸມການຍົກຍ້າຍໃນລະດັບຍ່ອຍ micron. ຄຸນລັກສະນະການປຸງແຕ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງຖານ granite (ມີຄວາມຜິດພາດທີ່ຄວບຄຸມພາຍໃນ ± 1μm) ກົງກັບການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງມໍເຕີເສັ້ນ, ຮ່ວມກັນຮັບປະກັນວ່າຄວາມຜິດພາດການຈັດຕໍາແຫນ່ງໃນລະຫວ່າງການສົ່ງ wafer ແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ ± 5μm. ບໍ່ວ່າຈະເປັນ shuttling ຄວາມໄວສູງໃນບັນດາອຸປະກອນຂະບວນການຕ່າງໆຫຼືບ່ອນຈອດລົດທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບການສົ່ງ wafer, ການປະສົມປະສານຂອງມໍເຕີ linear ແລະຖານ granite ສາມາດຮັບປະກັນ "zero deviation and zero jitter" in wafer transmission.
ການກວດສອບການປະຕິບັດອຸດສາຫະກໍາ: ການປັບປຸງສອງດ້ານໃນປະສິດທິພາບແລະອັດຕາຜົນຜະລິດ
ຫຼັງຈາກການປັບປຸງລະບົບການໂອນ wafer ຂອງຕົນ, ວິສາຫະກິດ semiconductor ຊັ້ນນໍາຂອງໂລກໄດ້ຮັບຮອງເອົາການແກ້ໄຂຖານ motor linear + granite, ເຊິ່ງໄດ້ເພີ່ມປະສິດທິພາບການໂອນ wafer 40%, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການເກີດຄວາມຜິດເຊັ່ນການຂັດກັນແລະການຊົດເຊີຍລະຫວ່າງຂະບວນການໂອນ 85%, ແລະປັບປຸງອັດຕາຜົນຜະລິດລວມຂອງ chip 6%. ດ້ານຫລັງຂອງຂໍ້ມູນແມ່ນການຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງລະບົບສາຍສົ່ງທີ່ສະຫນອງໂດຍພື້ນຖານ granite ແລະຜົນກະທົບ synergy ຄວາມໄວສູງແລະຊັດເຈນຂອງມໍເຕີ linear, ເຊິ່ງຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນການສູນເສຍແລະຄວາມຜິດພາດໃນຂະບວນການສົ່ງ wafer.
ຈາກຄຸນສົມບັດວັດສະດຸໄປສູ່ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຈາກຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງການປະຕິບັດໄປສູ່ການຢັ້ງຢືນການປະຕິບັດ, ການປະສົມປະສານຂອງມໍເຕີ linear ແລະຖານ granite ໄດ້ກໍານົດມາດຕະຖານຂອງລະບົບການໂອນ wafer. ໃນອະນາຄົດເມື່ອເທກໂນໂລຍີ semiconductor ກ້າວໄປສູ່ຂະບວນການ 3nm ແລະ 2nm, ວັດສະດຸ granite ແນ່ນອນຈະສືບຕໍ່ໃສ່ແຮງດັນທີ່ເຂັ້ມແຂງເຂົ້າໃນການພັດທະນາຂອງອຸດສາຫະກໍາດ້ວຍຄວາມໄດ້ປຽບທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້.
ເວລາປະກາດ: 14-05-2025