ການວັດແທກສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງເວທີ granite ໃນອຸປະກອນວັດແທກ semiconductor.

​
ໃນຂົງເຂດການຜະລິດ semiconductor, ຄວາມແມ່ນຍໍາແມ່ນເສັ້ນຊີວິດຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນແລະການປະຕິບັດ. ອຸປະກອນວັດແທກ semiconductor, ເປັນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຜະລິດ, imposes ເກືອບຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດກ່ຽວກັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອົງປະກອບຫຼັກຂອງມັນ. ໃນບັນດາພວກເຂົາ, ເວທີ granite, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸປະກອນວັດແທກ semiconductor. ບົດຄວາມນີ້ຈະດໍາເນີນການວິເຄາະໃນຄວາມເລິກຂອງການປະຕິບັດຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນຂອງເວທີ granite ໃນອຸປະກອນການວັດແທກ semiconductor ຜ່ານຂໍ້ມູນການທົດສອບຕົວຈິງ. ​
ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນການວັດແທກໃນການຜະລິດ semiconductor
ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນສະລັບສັບຊ້ອນທີ່ສຸດແລະຊັດເຈນ, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງສາຍວົງຈອນໃນ chip ໄດ້ເຂົ້າໄປໃນລະດັບ nanometer. ໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງດັ່ງກ່າວ, ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແລະການຫົດຕົວຂອງອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການ photolithography, ຖ້າຫາກວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນວັດແທກ deviates ໂດຍ 1 nanometer, ມັນອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາຮ້າຍແຮງເຊັ່ນ: ວົງຈອນສັ້ນຫຼືວົງຈອນເປີດຢູ່ໃນວົງຈອນໃນ chip ໄດ້, ນໍາໄປສູ່ການຂູດຂອງ chip ໄດ້. ອີງຕາມສະຖິຕິຂໍ້ມູນອຸດສາຫະກໍາ, ສໍາລັບທຸກໆການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ 1 ℃, ເວທີອຸປະກອນການວັດແທກວັດສະດຸໂລຫະແບບດັ້ງເດີມອາດຈະມີການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ nanometers ຫຼາຍ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ການຜະລິດ semiconductor ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກທີ່ຈະຄວບຄຸມພາຍໃນ ± 0.1 nanometers, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນເປັນປັດໃຈສໍາຄັນໃນການກໍານົດວ່າອຸປະກອນວັດແທກສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດ semiconductor ໄດ້. ​

ຂໍ້ໄດ້ປຽບທາງທິດສະດີຂອງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງເວທີ granite
Granite, ເປັນປະເພດຂອງຫີນທໍາມະຊາດ, ມີໄປເຊຍກັນແຮ່ທາດພາຍໃນທີ່ຫນາແຫນ້ນ, ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບ, ແລະມີປະໂຫຍດທໍາມະຊາດຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ. ໃນແງ່ຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ໂດຍທົ່ວໄປຕັ້ງແຕ່ 4.5 ຫາ 6.5 × 10⁻⁶ / K. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸໂລຫະທົ່ວໄປເຊັ່ນ: ໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມແມ່ນສູງເຖິງ 23.8 × 10⁻⁶ / K, ເຊິ່ງຫຼາຍເທົ່າຂອງ granite. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມດຽວກັນ, ການປ່ຽນແປງທາງມິຕິຂອງເວທີ granite ມີຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າຂອງເວທີໂລຫະ, ເຊິ່ງສາມາດສະຫນອງການອ້າງອີງການວັດແທກທີ່ຫມັ້ນຄົງຫຼາຍສໍາລັບອຸປະກອນການວັດແທກ semiconductor. ​
ນອກຈາກນັ້ນ, ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນຂອງ granite ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີເລີດຂອງການນໍາຄວາມຮ້ອນ. ໃນເວລາທີ່ການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນສ້າງຄວາມຮ້ອນຫຼືການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມ, ເວທີ granite ສາມາດດໍາເນີນການອອກຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວແລະເທົ່າທຽມກັນ, ຫຼີກເວັ້ນການ overheating ທ້ອງຖິ່ນຫຼື overcooling ປະກົດການ, ດັ່ງນັ້ນປະສິດທິພາບຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມໂດຍລວມຂອງເວທີແລະເພີ່ມເຕີມຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກ. ​
ຂະບວນການແລະວິທີການວັດແທກສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ
ເພື່ອປະເມີນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງເວທີ granite ໃນອຸປະກອນວັດແທກ semiconductor ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ພວກເຮົາໄດ້ອອກແບບໂຄງການວັດແທກຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ເລືອກເຄື່ອງມືວັດແທກ wafer semiconductor ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ເຊິ່ງຕິດຕັ້ງດ້ວຍແພລະຕະຟອມ granite ທີ່ປຸງແຕ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມການທົດລອງ, ລະດັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທົ່ວໄປໃນກອງປະຊຸມການຜະລິດ semiconductor ໄດ້ຖືກຈໍາລອງ, ນັ້ນແມ່ນ, ຄ່ອຍໆໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຈາກ 20 ℃ເຖິງ 35 ℃ ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເຢັນກັບຄືນໄປບ່ອນ 20 ℃. ຂະບວນການທັງຫມົດໃຊ້ເວລາ 8 ຊົ່ວໂມງ. ​
ໃນເວທີ granite ຂອງເຄື່ອງມືວັດແທກ, wafers ຊິລິໂຄນມາດຕະຖານຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ຖືກວາງໄວ້, ແລະເຊັນເຊີການໂຍກຍ້າຍທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ nanoscale ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຕິດຕາມການປ່ຽນແປງຕໍາແຫນ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງລະຫວ່າງ wafers ຊິລິໂຄນແລະເວທີໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຫຼາຍແມ່ນຈັດຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນເວທີເພື່ອຕິດຕາມກວດກາການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມໃນພື້ນຜິວເວທີ. ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ການ​ທົດ​ລອງ​, ຂໍ້​ມູນ​ການ​ຍ້າຍ​ແລະ​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ໄດ້​ຖືກ​ບັນ​ທຶກ​ທຸກໆ 15 ນາ​ທີ​ເພື່ອ​ຮັບ​ປະ​ກັນ​ຄວາມ​ສົມ​ບູນ​ແລະ​ຄວາມ​ຖືກ​ຕ້ອງ​ຂອງ​ຂໍ້​ມູນ​. ​
ຂໍ້ມູນການວັດແທກແລະການວິເຄາະຜົນໄດ້ຮັບ
ຄວາມສໍາພັນລະຫວ່າງການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມແລະການປ່ຽນແປງຂະຫນາດເວທີ
ຂໍ້​ມູນ​ການ​ທົດ​ລອງ​ສະ​ແດງ​ໃຫ້​ເຫັນ​ວ່າ​ໃນ​ເວ​ລາ​ທີ່​ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ເພີ່ມ​ຂຶ້ນ​ຈາກ 20 ℃​ເປັນ 35 ℃​, ການ​ປ່ຽນ​ແປງ​ຂະ​ຫນາດ​ເສັ້ນ​ຊື່​ຂອງ​ເວ​ທີ granite ແມ່ນ​ມີ​ຂະ​ຫນາດ​ນ້ອຍ​ທີ່​ສຸດ​. ຫຼັງຈາກການຄິດໄລ່, ຕະຫຼອດຂະບວນການເຮັດຄວາມຮ້ອນທັງຫມົດ, ການຂະຫຍາຍເສັ້ນສູງສຸດຂອງເວທີແມ່ນພຽງແຕ່ 0.3 nanometers, ເຊິ່ງຕ່ໍາກວ່າລະດັບຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຜິດພາດສໍາລັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນຂອງຄວາມເຢັນ, ຂະຫນາດຂອງເວທີສາມາດເກືອບຫມົດກັບຄືນສູ່ສະພາບເບື້ອງຕົ້ນ, ແລະປະກົດການ lag ຂອງການປ່ຽນແປງຂະຫນາດສາມາດຖືກລະເລີຍ. ຄຸນລັກສະນະຂອງການຮັກສາການປ່ຽນແປງທາງມິຕິທີ່ຕໍ່າທີ່ສຸດເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ສໍາຄັນເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເວທີ granite. ​
ການວິເຄາະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມໃນພື້ນຜິວຂອງເວທີ
ຂໍ້ມູນທີ່ເກັບກໍາໂດຍເຊັນເຊີອຸນຫະພູມສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນແລະຂະບວນການຂອງການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມໃນພື້ນຜິວຂອງເວທີ granite ແມ່ນເປັນເອກະພາບທີ່ສຸດ. ເຖິງແມ່ນວ່າໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນທີ່ອຸນຫະພູມມີການປ່ຽນແປງຫຼາຍທີ່ສຸດ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງແຕ່ລະຈຸດວັດແທກເທິງພື້ນຜິວຂອງເວທີແມ່ນສະເຫມີຄວບຄຸມພາຍໃນ± 0.1 ℃. ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຢ່າງມີປະສິດທິພາບຫຼີກເວັ້ນການຜິດປົກກະຕິຂອງເວທີທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະເຫມີພາບ, ຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຫນ້າດິນການວັດແທກການອ້າງອີງ, ແລະສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມການວັດແທກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບອຸປະກອນການວັດແທກ semiconductor. ​
ເມື່ອປຽບທຽບກັບເວທີວັດສະດຸພື້ນເມືອງ
ຂໍ້ມູນການວັດແທກຂອງເວທີ granite ໄດ້ຖືກປຽບທຽບກັບອຸປະກອນວັດແທກ semiconductor ຂອງປະເພດດຽວກັນໂດຍໃຊ້ເວທີໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມ, ແລະຄວາມແຕກຕ່າງແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນ. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມດຽວກັນ, ການຂະຫຍາຍເສັ້ນຊື່ຂອງແພລະຕະຟອມໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມແມ່ນສູງເຖິງ 2.5 nanometers, ເຊິ່ງຫຼາຍກ່ວາແປດເທົ່າຂອງເວທີ granite. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມຢູ່ໃນຫນ້າດິນຂອງເວທີໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມແມ່ນບໍ່ສະເຫມີພາບ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມສູງສຸດເຖິງ 0.8 ℃, ເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດປົກກະຕິຂອງເວທີທີ່ຈະແຈ້ງແລະມີຜົນກະທົບຢ່າງຫນັກແຫນ້ນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກ. ​
ໃນໂລກທີ່ຊັດເຈນຂອງອຸປະກອນການວັດແທກ semiconductor, ເວທີ granite, ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ໄດ້ກາຍເປັນຫຼັກໃນການຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກ. ຂໍ້ມູນການວັດແທກໄດ້ຊີ້ໃຫ້ເຫັນປະສິດທິພາບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງເວທີ granite ໃນການຕອບສະຫນອງຕໍ່ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ, ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor. ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສູງຂຶ້ນ, ປະໂຫຍດຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງເວທີ granite ຈະກາຍເປັນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ສືບຕໍ່ຊຸກຍູ້ການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຢີແລະການພັດທະນາໃນອຸດສາຫະກໍາ.