ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ການກວດສອບ wafer ແມ່ນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດຂອງຊິບ, ແລະຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຕາຕະລາງການກວດກາມີບົດບາດຕັດສິນໃນຜົນໄດ້ຮັບການຊອກຄົ້ນຫາ. ພື້ນຖານຫີນການິດທີ່ມີລັກສະນະເປັນເອກະລັກ, ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຕາຕະລາງການກວດກາ semiconductor wafer, ຕໍ່ໄປນີ້ຈາກການວິເຄາະຫຼາຍມິຕິລະດັບສໍາລັບທ່ານ.
ຫນ້າທໍາອິດ, ຂະຫນາດຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍໍາ
1. Ultra-high flatness ແລະ straightness: ພື້ນຖານ granite ໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງໂດຍເຕັກໂນໂລຊີການປຸງແຕ່ງກ້າວຫນ້າ, ແລະຄວາມແປໄດ້ສາມາດບັນລຸ ± 0.001mm / m ຫຼືແມ້ກະທັ້ງຄວາມຖືກຕ້ອງສູງກວ່າ, ແລະຄວາມຊື່ສັດຍັງດີເລີດ. ໃນຂະບວນການກວດກາ wafer, ຍົນຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ wafer ແລະຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ທີ່ຖືກຕ້ອງລະຫວ່າງ probe ຂອງອຸປະກອນກວດກາແລະຂໍ້ຕໍ່ solder ເທິງຫນ້າດິນ wafer.
2. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຫຼາຍ: ການຜະລິດ semiconductor ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ, ແລະສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ປົກກະຕິແລ້ວປະມານ 5 × 10⁻⁶ / ℃. ໃນເວລາທີ່ເວທີການຊອກຄົ້ນຫາກໍາລັງເຮັດວຽກ, ເຖິງແມ່ນວ່າອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມຈະເຫນັງຕີງ, ຂະຫນາດຂອງຖານ granite ມີການປ່ຽນແປງຫນ້ອຍຫຼາຍ. ຕົວຢ່າງ, ໃນກອງປະຊຸມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນຊ່ວງລຶະເບິ່ງຮ້ອນ, ອຸນຫະພູມຂອງແພລະຕະຟອມກວດຫາພື້ນຖານໂລຫະທົ່ວໄປອາດຈະເຮັດໃຫ້ຕໍາແຫນ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຂອງ wafer ແລະອຸປະກອນການຊອກຄົ້ນຫາມີການປ່ຽນແປງ, ຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການກວດສອບ; ເວທີການຊອກຄົ້ນຫາຖານ granite ສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຂອງ wafer ແລະອຸປະກອນການຊອກຄົ້ນຫາໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກວດຫາ, ແລະສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການຊອກຄົ້ນຫາທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ.
ອັນທີສອງ, ຂະຫນາດຄວາມຫມັ້ນຄົງ
1. ໂຄງສ້າງທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະການຕໍ່ຕ້ານການສັ່ນສະເທືອນ: Granite ຫຼັງຈາກຂະບວນການທໍລະນີສາດຫຼາຍລ້ານປີ, ໂຄງສ້າງພາຍໃນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຊັບຊ້ອນຂອງໂຮງງານຜະລິດ semiconductor, ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ຜະລິດໂດຍການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນຕໍ່ຂ້າງແລະບຸກຄະລາກອນທີ່ຍ່າງໄປມາແມ່ນຫຼຸດລົງຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍພື້ນຖານ granite.
2. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວ: ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, granite ມີຄວາມແຂງສູງ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ພັຍທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ແລະຄວາມແຂງຂອງ Mohs ສາມາດບັນລຸ 6-7. ພື້ນຜິວຂອງແກນ granite ແມ່ນບໍ່ຖືກໃສ່ໄດ້ງ່າຍໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດການໂຫຼດ, ການໂຫຼດແລະການກວດກາເລື້ອຍໆ. ອີງຕາມສະຖິຕິຂໍ້ມູນຕົວຈິງ, ການນໍາໃຊ້ຕາຕະລາງການທົດສອບພື້ນຖານ granite, ການດໍາເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຫຼັງຈາກ 5000 ຊົ່ວໂມງ, ຄວາມຮາບພຽງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເສັ້ນກົງຍັງສາມາດຮັກສາໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 98% ຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງເບື້ອງຕົ້ນ, ຫຼຸດຜ່ອນອຸປະກອນເນື່ອງຈາກການສວມໃສ່ຂອງຖານທີ່ເກີດຈາກການປັບແລະບໍາລຸງຮັກສາເປັນປົກກະຕິ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານຂອງທຸລະກິດ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວຂອງການເຮັດວຽກຂອງການທົດສອບ.
ອັນທີສາມ, ຄວາມສະອາດແລະການຕ້ານການແຊກແຊງ
1. ການຜະລິດຂີ້ຝຸ່ນຕ່ໍາ: ສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມສະອາດສູງ, ແລະວັດສະດຸ granite ຕົວຂອງມັນເອງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະຜະລິດຝຸ່ນຂີ້ຝຸ່ນ. ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງເວທີການທົດສອບ, ຂີ້ຝຸ່ນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍພື້ນຖານແມ່ນຫຼີກເວັ້ນການມົນລະພິດຂອງ wafer, ແລະຄວາມສ່ຽງຂອງວົງຈອນສັ້ນແລະວົງຈອນເປີດທີ່ເກີດຈາກຝຸ່ນຂີ້ຝຸ່ນແມ່ນຫຼຸດລົງ. ໃນເຂດກວດກາ wafer ຂອງກອງປະຊຸມທີ່ບໍ່ມີຂີ້ຝຸ່ນ, ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຝຸ່ນປະມານຕາຕະລາງການກວດກາພື້ນຖານ granite ສະເຫມີຖືກຄວບຄຸມໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບຕໍ່າທີ່ສຸດ, ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
2. ບໍ່ມີການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກ: ອຸປະກອນການຊອກຄົ້ນຫາແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບສະພາບແວດລ້ອມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ແລະ granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ, ເຊິ່ງຈະບໍ່ແຊກແຊງກັບສັນຍານເອເລັກໂຕຣນິກຂອງອຸປະກອນການກວດພົບ. ໃນການນໍາໃຊ້ການຊອກຄົ້ນຫາ beam ເອເລັກໂຕຣນິກແລະເຕັກໂນໂລຊີການທົດສອບອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການສະພາບແວດລ້ອມໄຟຟ້າສູງທີ່ສຸດ, ຖານ granite ຮັບປະກັນການສົ່ງສັນຍານເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນການຊອກຄົ້ນຫາແລະຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຜົນການທົດສອບ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນເວລາທີ່ wafer ໄດ້ຖືກທົດສອບສໍາລັບປະສິດທິພາບໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຖານ granite ທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກຫຼີກເວັ້ນການແຊກແຊງກັບສັນຍານການຊອກຄົ້ນຫາໃນປະຈຸບັນແລະແຮງດັນ, ດັ່ງນັ້ນຂໍ້ມູນການຊອກຄົ້ນຫາສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນຢ່າງແທ້ຈິງລັກສະນະຂອງໄຟຟ້າ wafer.
ເວລາປະກາດ: 31-03-2025