ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຖານຫີນແກຣນິດໃນແງ່ຂອງຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນໃນອຸປະກອນຕັດແຜ່ນເວເຟີ.

ໃນຂະບວນການຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາທີ່ກ້າວໄປສູ່ຂະບວນການຜະລິດຂະໜາດນາໂນ, ການຕັດແຜ່ນເວເຟີ, ໃນຖານະເປັນຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດຊິບ, ມີຂໍ້ກໍານົດທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດສໍາລັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ. ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ, ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ໄດ້ກາຍເປັນອົງປະກອບຫຼັກຂອງອຸປະກອນຕັດແຜ່ນເວເຟີ, ໃຫ້ການຮັບປະກັນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບການບັນລຸການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງ.

ຄຸນລັກສະນະການດູດຊຶມ ແລະ ຕ້ານການສັ່ນສະເທືອນສູງ: ຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຕັດໃນລະດັບນາໂນ
ເມື່ອອຸປະກອນຕັດແຜ່ນເວເຟີເຮັດວຽກ, ການໝຸນຄວາມໄວສູງຂອງແກນໝູນ, ການສັ່ນສະເທືອນຄວາມຖີ່ສູງຂອງເຄື່ອງມືຕັດ, ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ເກີດຈາກອຸປະກອນອ້ອມຂ້າງຈະມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດ. ປະສິດທິພາບການຫຼຸດຄວາມສັ່ນສະເທືອນຂອງພື້ນຖານໂລຫະແບບດັ້ງເດີມແມ່ນມີຈຳກັດ, ເຮັດໃຫ້ມັນຍາກທີ່ຈະຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຢ່າງໄວວາ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການສັ່ນສະເທືອນໃນລະດັບໄມຄຣອນຂອງເຄື່ອງມືຕັດ ແລະ ເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງໂດຍກົງເຊັ່ນ: ຂອບບิ่น ແລະ ຮອຍແຕກເທິງແຜ່ນເວເຟີ. ລັກສະນະການຫຼຸດຄວາມສັ່ນສະເທືອນສູງຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ໄດ້ຢ່າງພື້ນຖານ.
ຜລຶກແຮ່ທາດພາຍໃນຂອງຫີນແກຣນິດຖືກຖັກທໍເຂົ້າກັນຢ່າງໃກ້ຊິດ, ປະກອບເປັນໂຄງສ້າງການກະຈາຍພະລັງງານທຳມະຊາດ. ເມື່ອການສັ່ນສະເທືອນຖືກສົ່ງໄປຫາພື້ນຖານ, ໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກພາຍໃນຂອງມັນສາມາດປ່ຽນພະລັງງານສັ່ນສະເທືອນເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ, ເຊິ່ງບັນລຸການຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ. ຂໍ້ມູນການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມການສັ່ນສະເທືອນດຽວກັນ, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກວ້າງຂອງການສັ່ນສະເທືອນໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 90% ພາຍໃນ 0.5 ວິນາທີ, ໃນຂະນະທີ່ພື້ນຖານໂລຫະຕ້ອງໃຊ້ເວລາ 3 ຫາ 5 ວິນາທີ. ປະສິດທິພາບການດູດຊຶມທີ່ໂດດເດັ່ນນີ້ຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງມືຕັດຍັງຄົງໝັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດຂະໜາດນາໂນ, ຮັບປະກັນຂອບລຽບຂອງການຕັດແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຫຼຸດອັດຕາການແຕກຫັກຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການຕັດແຜ່ນເວເຟີ 5nm, ອຸປະກອນທີ່ມີພື້ນຖານຫີນແກຣນິດສາມາດຄວບຄຸມຂະໜາດການແຕກຫັກພາຍໃນ 10μm, ເຊິ່ງສູງກວ່າອຸປະກອນທີ່ມີພື້ນຖານໂລຫະຫຼາຍກວ່າ 40%.
ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າຫຼາຍ: ທົນທານຕໍ່ອິດທິພົນຂອງການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ
ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດແຜ່ນເວເຟີ, ຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກການສຽດສີຂອງເຄື່ອງມືຕັດ, ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນຈາກການດຳເນີນງານໄລຍະຍາວຂອງອຸປະກອນ, ແລະການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມສະພາບແວດລ້ອມຂອງໂຮງງານສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນຂອງອົງປະກອບອຸປະກອນ. ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸໂລຫະແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ (ປະມານ 12 × 10⁻⁶/℃). ເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ 5℃, ຖານໂລຫະຍາວ 1 ແມັດອາດຈະຜິດຮູບ 60μm, ເຮັດໃຫ້ຕຳແໜ່ງການຕັດປ່ຽນໄປ ແລະ ສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຮ້າຍແຮງຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດ.
ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດແມ່ນພຽງແຕ່ (4-8) ×10⁻⁶/℃, ເຊິ່ງໜ້ອຍກວ່າໜຶ່ງສ່ວນສາມຂອງວັດສະດຸໂລຫະ. ພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມດຽວກັນ, ການປ່ຽນແປງມິຕິຂອງມັນເກືອບຈະຖືກລະເລີຍ. ຂໍ້ມູນທີ່ວັດແທກໄດ້ຂອງວິສາຫະກິດຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳບາງແຫ່ງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນລະຫວ່າງການຕັດແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເວລາ 8 ຊົ່ວໂມງ, ເມື່ອອຸນຫະພູມອາກາດອ້ອມຂ້າງປ່ຽນແປງ 10℃, ຕຳແໜ່ງການຊົດເຊີຍຂອງອຸປະກອນທີ່ມີພື້ນຖານຫີນແກຣນິດແມ່ນໜ້ອຍກວ່າ 20μm, ໃນຂະນະທີ່ຂອງອຸປະກອນທີ່ມີພື້ນຖານໂລຫະເກີນ 60μm. ປະສິດທິພາບທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ໝັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນວ່າຕຳແໜ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງລະຫວ່າງເຄື່ອງມືຕັດແລະແຜ່ນເວເຟີຍັງຄົງແມ່ນຍຳຕະຫຼອດເວລາ. ເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນໄລຍະຍາວ ຫຼື ການປ່ຽນແປງຢ່າງຮຸນແຮງຂອງອຸນຫະພູມສິ່ງແວດລ້ອມ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດສາມາດຮັກສາໄວ້ໄດ້.
ຄວາມແຂງກະດ້າງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່: ຮັບປະກັນການເຮັດວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວຂອງອຸປະກອນ
ນອກເໜືອໄປຈາກຂໍ້ດີຂອງຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນແລ້ວ, ຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ສູງຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດຍັງຊ່ວຍເສີມສ້າງຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນຕັດແຜ່ນເວເຟີ. ຫີນແກຣນິດມີຄວາມແຂງ 6 ຫາ 7 ໃນລະດັບ Mohs ແລະ ມີຄວາມແຮງບີບອັດເກີນ 120MPa. ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນ ແລະ ແຮງກະທົບທີ່ມະຫາສານໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດ ແລະ ບໍ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະຜິດຮູບ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ໂຄງສ້າງທີ່ໜາແໜ້ນຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ. ເຖິງແມ່ນວ່າໃນລະຫວ່າງການຕັດເລື້ອຍໆ, ພື້ນຜິວຂອງພື້ນຖານຈະບໍ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະສວມໃສ່, ຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນຮັກສາການເຮັດວຽກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເປັນເວລາດົນນານ.
ໃນການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ວິສາຫະກິດຜະລິດແຜ່ນເວເຟີຫຼາຍແຫ່ງໄດ້ປັບປຸງຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນ ແລະ ປະສິດທິພາບການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍການຮັບຮອງເອົາອຸປະກອນຕັດທີ່ມີພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ. ຂໍ້ມູນຈາກໂຮງຫລໍ່ຊັ້ນນຳຂອງໂລກສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າຫຼັງຈາກການນຳສະເໜີອຸປະກອນພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ, ຜົນຜະລິດການຕັດແຜ່ນເວເຟີໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນຈາກ 88% ເປັນຫຼາຍກວ່າ 95%, ວົງຈອນການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນໄດ້ຂະຫຍາຍອອກໄປສາມເທົ່າ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ ແລະ ເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນໃນຕະຫຼາດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ຖານຫີນແກຣນິດ, ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມແຂງແກ່ນສູງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ໃຫ້ການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບອຸປະກອນຕັດແຜ່ນເວເຟີ. ໃນຂະນະທີ່ເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳກ້າວໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ຖານຫີນແກຣນິດຈະມີບົດບາດສຳຄັນຫຼາຍຂຶ້ນໃນຂົງເຂດການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ, ສົ່ງເສີມການພັດທະນານະວັດຕະກຳຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.