ການຜະລິດ semiconductor: ໃນຂະບວນການຜະລິດ chip, ຂະບວນການ photolithography ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ໂອນຮູບແບບວົງຈອນທີ່ຊັດເຈນກັບ wafer ໄດ້. ພື້ນຖານ granite ຂອງໂມດູນ motion ultra-precision ທີ່ເລື່ອນໄດ້ດ້ວຍແກນດຽວທາງອາກາດສາມາດສະຫນອງຕໍາແຫນ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບຕາຕະລາງ wafer ໃນອຸປະກອນ lithography. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ASML ແລະຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງ lithography ທີ່ມີຊື່ສຽງລະດັບສາກົນອື່ນໆໃຊ້ໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວແບບລອຍນ້ໍາຫີນ granite ໃນອຸປະກອນຊັ້ນສູງຂອງພວກເຂົາ, ເຊິ່ງສາມາດຄວບຄຸມຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ wafer ໃນລະດັບ nanometer ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຮູບແບບ lithography, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງການເຊື່ອມໂຍງແລະການປະຕິບັດຂອງຊິບ.
ພາກສະຫນາມການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ: CMM ແມ່ນອຸປະກອນການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອວັດແທກຂະຫນາດ, ຮູບຮ່າງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງຂອງ workpiece. ໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງແກນດຽວທີ່ລອຍຢູ່ເທິງຖານຫີນ granite ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນເວທີການເຄື່ອນໄຫວຂອງ CMM, ເຊິ່ງສາມາດຮັບຮູ້ການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະສະຫນອງ trajectory ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບ probe ວັດແທກ. ຕົວຢ່າງ, CMM ຊັ້ນສູງຂອງ Hexagon ໃຊ້ການປະສົມປະສານນີ້ເພື່ອວັດແທກຊິ້ນສ່ວນຂະຫນາດໃຫຍ່ແລະສະລັບສັບຊ້ອນດ້ວຍການວັດແທກຄວາມຖືກຕ້ອງເຖິງລະດັບ micron, ສະຫນອງການຮັບປະກັນທີ່ເຂັ້ມແຂງສໍາລັບການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງຊິ້ນສ່ວນໃນຍານຍົນ, ຍານອາວະກາດແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ.
ພາກສະຫນາມບິນອະວະກາດ: ໃນການປຸງແຕ່ງແລະການທົດສອບຂອງພາກສ່ວນ aerospace, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແມ່ນຕ້ອງການ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ເຄື່ອງຈັກຂອງແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືເຄື່ອງຈັກໃນເຮືອບິນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງ trajectory ການເຄື່ອນໄຫວຂອງເຄື່ອງມືເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງແຜ່ນໃບຄ້າຍຄື. ພື້ນຖານ granite ຂອງໂມດູນ motion ultra-precision air float ແກນດຽວສາມາດນໍາໃຊ້ກັບສູນເຄື່ອງຈັກຫ້າແກນແລະອຸປະກອນອື່ນໆເພື່ອສະຫນອງການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບເຄື່ອງມືແລະຮັບປະກັນວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກຂອງແຜ່ນໃບຄ້າຍຄືສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການອອກແບບ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ໃນຂະບວນການປະກອບຂອງເຄື່ອງຈັກ aero, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ອຸປະກອນການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອກວດພົບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປະກອບຂອງຊິ້ນສ່ວນ. ໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວທາງອາກາດຂອງພື້ນຖານ granite ສາມາດສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະການເຄື່ອນໄຫວທີ່ຖືກຕ້ອງສໍາລັບອຸປະກອນການວັດແທກເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບການປະກອບ.
ພາກສະຫນາມການກວດກາ optical: ໃນຂະບວນການຜະລິດແລະການທົດສອບຂອງອົງປະກອບ optical, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອປະຕິບັດການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການວັດແທກອົງປະກອບ optical. ຕົວຢ່າງ, ເມື່ອຜະລິດອົງປະກອບ optical ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຊັ່ນກະຈົກແລະເລນ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ interferometers ແລະອຸປະກອນອື່ນໆເພື່ອກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຮູບຮ່າງຂອງຫນ້າດິນ. ພື້ນຖານ granite ຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ແກນດຽວທາງອາກາດທີ່ເລື່ອນໄດ້ສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນເວທີການເຄື່ອນໄຫວຂອງ interferometer, ເຊິ່ງສາມາດຮັບຮູ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງຍ່ອຍ micron ແລະສະຫນອງຂໍ້ມູນທີ່ຖືກຕ້ອງສໍາລັບການຊອກຄົ້ນຫາອົງປະກອບ optical. ນອກຈາກນັ້ນ, ໃນອຸປະກອນການປະມວນຜົນ laser, ມັນຍັງມີຄວາມຈໍາເປັນທີ່ຈະນໍາໃຊ້ເວທີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອຄວບຄຸມ trajectory scanning ຂອງ beam laser ໄດ້, ພື້ນຖານ granite ຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວລອຍອາກາດສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການນີ້, ເພື່ອບັນລຸການປະມວນຜົນ laser ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
ເວລາປະກາດ: 07-07-2025