ບົດບາດສຳຄັນຂອງຫີນແກຣນິດໃນຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍຳຂອງເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການວັດແທກຂັ້ນສູງ

ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທົ່ວໂລກໃນປະຈຸບັນກຳລັງດຳເນີນກິດຈະກຳຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງ “ຍຸກອັງສະຕຣອມ”, ບ່ອນທີ່ຂະໜາດຂອງທຣານຊິດເຕີຖືກວັດແທກໃນຄວາມກວ້າງຂອງອະຕອມພຽງແຕ່ສອງສາມອະຕອມ. ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອງມືການພິມດ້ວຍຫີນ ແລະ ການກວດກາຫັນປ່ຽນໄປສູ່ຂະໜາດຈຸລະທັດເຫຼົ່ານີ້, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງໄດ້ປ່ຽນຈາກ “ມະຫາພາກ” ໄປສູ່ “ນາໂນ”. ຫົວໃຈຂອງການປະຕິວັດນີ້ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ເກົ່າແກ່ເທົ່າກັບໂລກເອງ: ຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ໃນຂະນະທີ່ຫຼາຍຄົນເບິ່ງຫີນແກຣນິດວ່າເປັນຫີນທຳມະດາ, ໃນສະພາບການຂອງຂັ້ນຕອນການວາງຕຳແໜ່ງນາໂນຫຼື ລະບົບກວດກາເວເຟີຄວາມໄວສູງ, ມັນເປັນເຊລາມິກວິສະວະກຳທີ່ຊັບຊ້ອນ. ການເຂົ້າໃຈຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງເຄື່ອງມືວັດແທກພື້ນຖານ ແລະ ແພລດຟອມການເຄື່ອນໄຫວຂັ້ນສູງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບ OEM ທີ່ຕ້ອງການຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ໃນການຜະລິດຊິລິໂຄນ.

CMM ແກຣນິດ ທຽບກັບ ແຜ່ນພື້ນຜິວແກຣນິດ: ເຂົ້າໃຈການປ່ຽນແປງດ້ານວິສະວະກຳ

ໃນຫ້ອງທົດລອງຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຫຼາຍແຫ່ງ,ແຜ່ນພື້ນຜິວຫີນແກຣນິດເປັນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໄດ້ທົ່ວໄປ - ເປັນເອກະສານອ້າງອີງທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຮາບພຽງສຳລັບການວັດແທກດ້ວຍມື. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມີຄວາມເຂົ້າໃຈຜິດທົ່ວໄປວ່າແຜ່ນພື້ນຜິວ ແລະ ພື້ນຖານ Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) ສາມາດແລກປ່ຽນກັນໄດ້. ຈາກທັດສະນະທາງວິສະວະກຳ, ພວກມັນເປັນຕົວແທນຂອງສອງລະດັບຄວາມສັບສົນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ແຜ່ນໜ້າດິນຖືກອອກແບບມາເພື່ອຄວາມໝັ້ນຄົງແບບຄົງທີ່. ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອຮັກສາຄວາມຮາບພຽງພາຍໃຕ້ການໂຫຼດທີ່ຢູ່ກັບທີ່. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ພື້ນຖານແກຣນິດສຳລັບ CMM ຫຼື ຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍຳຕ້ອງຮັບມືກັບການໂຫຼດແບບໄດນາມິກ. ໃນຂະນະທີ່ຂົວຂອງ CMM ເຄື່ອນທີ່ ຫຼື ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ເລັ່ງຂັ້ນຕອນເວເຟີໃນຫຼາຍ Gs, ແກຣນິດຕ້ອງຕ້ານທານບໍ່ພຽງແຕ່ການງໍເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຕ້ານທານການບິດງໍ ແລະ ການສະທ້ອນສຽງແບບຮາໂມນິກ.

ວິສະວະກອນ ZHHIMG ເລືອກ "ຫີນແກຣນິດສີດຳ" ໂດຍສະເພາະສຳລັບການນຳໃຊ້ແບບໄດນາມິກ ເນື່ອງຈາກມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ໂຄງສ້າງເມັດທີ່ລະອຽດກວ່າ. ໃນຂະນະທີ່ແຜ່ນພື້ນຜິວມາດຕະຖານອາດຈະໃຊ້ແນວພັນທີ່ມີຮູພຸນຫຼາຍກວ່າ, ພື້ນຖານ CMM ຕ້ອງການໂມດູນຂອງ Young ສູງສຸດທີ່ເປັນໄປໄດ້ ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າ "ການສັ່ນສະເທືອນ" ຂອງການເຄື່ອນໄຫວດ້ວຍຄວາມໄວສູງບໍ່ໄດ້ແປເປັນສຽງດັງຂອງໂຄງສ້າງທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ຂໍ້ມູນການວັດແທກເສຍຫາຍ.

ຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນໍາ: ພື້ນຖານຂອງຜົນຜະລິດ

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ປະລິມານການຜະລິດ ແລະ ຜົນຜະລິດແມ່ນສອງຕົວຊີ້ວັດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດ. ທັງສອງແມ່ນຂຶ້ນກັບປະສິດທິພາບຂອງຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍໍາບໍ່ວ່າຈະເປັນຂັ້ນຕອນຂອງແຜ່ນເວເຟີໃນເຄື່ອງພິມ DUV/EUV ຫຼື ລະບົບກຳນົດຕຳແໜ່ງໃນເຄື່ອງມືກວດສອບດ້ວຍແສງອັດຕະໂນມັດ (AOI), ວັດສະດຸພື້ນຖານຕ້ອງອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການເຮັດຊ້ຳຂໍ້ມູນໃນລະດັບຕ່ຳກວ່ານາໂນແມັດ.

ສິ່ງທ້າທາຍຫຼັກໃນໂຮງງານແມ່ນຄວາມຮ້ອນ. ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ ແລະ ຕົວກະຕຸ້ນຜະລິດພະລັງງານຄວາມຮ້ອນທີ່ສຳຄັນ. ຖ້າພື້ນຖານເວທີເຮັດດ້ວຍອາລູມີນຽມ ຫຼື ເຫຼັກກ້າ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຂຶ້ນຈະເຮັດໃຫ້ແຜ່ນເວເຟີປ່ຽນອອກຈາກການຈັດລຽນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ "ຄວາມຜິດພາດຂອງການວາງຊ້ອນກັນ" ທີ່ທຳລາຍຊິບທັງໝົດ.

ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ທີ່ຕໍ່າຫຼາຍຂອງຫີນແກຣນິດຮັບປະກັນວ່າເຖິງແມ່ນວ່າມໍເຕີຈະຮ້ອນຂຶ້ນ, "ແຜນທີ່" ທາງກາຍະພາບຂອງເວທີຍັງຄົງທີ່. ນອກຈາກນັ້ນ, ZHHIMG ຍັງສະໜອງອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ກຳນົດເອງດ້ວຍວິທີການຮັບນ້ຳໜັກທາງອາກາດທີ່ປະສົມປະສານ. ເນື່ອງຈາກວ່າຫີນແກຣນິດສາມາດຖືກຕົບແຕ່ງໃຫ້ຮາບພຽງຄືກັບກະຈົກ, ມັນຈຶ່ງເປັນໜ້າຕ້ານທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບຮັບນ້ຳໜັກທາງອາກາດ, ຊ່ວຍໃຫ້ເວທີສາມາດ "ລອຍ" ຢູ່ເທິງຟິມບາງໆຂອງອາກາດໂດຍບໍ່ມີການສຽດທານ ແລະ ບໍ່ມີການຕິດຂັດ.

ຟີຊິກຂອງພື້ນຖານຂັ້ນຕອນການວາງຕຳແໜ່ງນາໂນ

ເມື່ອເຮົາເຂົ້າສູ່ໂລກແຫ່ງຄວາມຂັ້ນຕອນການວາງຕຳແໜ່ງນາໂນ, ພວກເຮົາກຳລັງຈັດການກັບການເຄື່ອນໄຫວທີ່ນ້ອຍກວ່າເສັ້ນຜົມຂອງມະນຸດເຖິງ 10,000 ເທົ່າ. ໃນລະດັບນີ້, ການສັ່ນສະເທືອນແມ່ນສັດຕູ. ພື້ນອຸດສາຫະກໍາມາດຕະຖານສັ່ນສະເທືອນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເນື່ອງຈາກລະບົບ HVAC, ການສັນຈອນຂອງຄົນຍ່າງ, ແລະເຄື່ອງຈັກທີ່ຢູ່ໃກ້ຄຽງ.

ຫີນແກຣນິດເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວກອງຄວາມຖີ່ຕ່ຳຂະໜາດໃຫຍ່. ເນື່ອງຈາກມີມວນສານສູງ ແລະ ການດູດຊຶມພາຍໃນສູງ, ມັນຈະດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນຄວາມຖີ່ສູງຕາມທຳມະຊາດກ່ອນທີ່ພວກມັນຈະສາມາດບັນລຸເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ ຫຼື ແຜ່ນເວເຟີເອງ. “ການແຍກຕົວແບບ passive” ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ຜູ້ສະໜອງການພິມດ້ວຍຫີນຊັ້ນນຳຂອງໂລກອີງໃສ່ ZHHIMG ເພື່ອສະໜອງພື້ນຖານທີ່ໜັກ ແລະ ໝັ້ນຄົງສຳລັບຂັ້ນຕອນທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສູນຍາກາດ. ຫີນແກຣນິດຂອງພວກເຮົາໄດ້ຮັບການປະຕິບັດເປັນພິເສດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີການລະບາຍອາຍພິດອອກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຂະບວນການລຳແສງເອເລັກຕຣອນ ແລະ EUV.

ການແລ່ນໄປຮອດຂີດຈຳກັດ: ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ ZHHIMG

ການຫັນປ່ຽນຈາກກ້ອນຫີນດິບໄປສູ່ອົງປະກອບຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນການເດີນທາງຂອງຄວາມອົດທົນຢ່າງສຸດຂີດ. ໃນຂະນະທີ່ການຂັດດ້ວຍ CNC ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາໃກ້ຊິດກັບລະດັບຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ລະດັບສຸດທ້າຍ "ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ" ແມ່ນບັນລຸໄດ້ຜ່ານການຂັດດ້ວຍມື. ນີ້ແມ່ນຂະບວນການທີ່ຊ່າງເຕັກນິກ ZHHIMG ໃຊ້ນ້ຳຢາຂັດ ແລະ ການເຄື່ອນໄຫວດ້ວຍມືເພື່ອກຳຈັດເສດສ່ວນຂອງໄມຄຣອນໃນແຕ່ລະຄັ້ງ.

ສຳລັບຂັ້ນຕອນການວາງຕຳແໜ່ງນາໂນ, ຄວາມຮາບພຽງບໍ່ແມ່ນຂໍ້ກຳນົດພຽງຢ່າງດຽວ; ຄວາມຂະໜານ ແລະ ຄວາມຕັ້ງສາກຂອງໜ້າຜິວນຳທາງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ສະຖານທີ່ຂອງພວກເຮົາໃຊ້ເຄື່ອງຕິດຕາມເລເຊີ ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີຄວາມລະອຽດ 0.1 arc-seconds ເພື່ອກວດສອບວ່າທຸກໆແກນຖືກຕັ້ງລຽນຢ່າງສົມບູນ. ລະດັບຄວາມຊຳນານງານນີ້ຮັບປະກັນວ່າເມື່ອລູກຄ້າຕິດຕັ້ງມໍເຕີເສັ້ນຊື່ ແລະ ເຄື່ອງເຂົ້າລະຫັດຂອງເຂົາເຈົ້າ, ພື້ນຖານກົນຈັກຈະໃກ້ຄຽງກັບ "ສົມບູນແບບ" ຕາມທີ່ຟີຊິກອະນຸຍາດ.

ການສ້າງອະນາຄົດທີ່ດີ

ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາກ້າວໄປສູ່ໂຫນດ 2nm ແລະສູງກວ່ານັ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິຈະເພີ່ມຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ. ການເຊື່ອມໂຍງຂອງຫີນແກຣນິດກັບວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າອື່ນໆ - ເຊັ່ນ: ຂົວເສັ້ນໄຍຄາບອນ ຫຼື ຫົວດູດຝຸ່ນເຊລາມິກ - ແມ່ນຂອບເຂດຕໍ່ໄປໃນການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວ.

ZHHIMG ຍັງຄົງມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະເປັນຫຼາຍກວ່າຜູ້ສະໜອງ; ພວກເຮົາເປັນຄູ່ຮ່ວມງານຮ່ວມມືໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງເຄິ່ງຕົວນຳທົ່ວໂລກ. ໂດຍການສະໜອງພື້ນຖານທີ່ໝັ້ນຄົງທີ່ສຸດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍຳລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ພວກເຮົາກຳລັງຊ່ວຍສ້າງເຄື່ອງຈັກທີ່ສ້າງອະນາຄົດ.