ບົດບາດສຳຄັນຂອງຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນການຜະລິດແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການຜະລິດແບບພິເສດ

ໃນໂລກທີ່ມີຄວາມສ່ຽງສູງຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ບ່ອນທີ່ອົງປະກອບຕ່າງໆຖືກວັດແທກເປັນນາໂນແມັດ ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງການຜະລິດຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ພື້ນຖານທີ່ເຕັກໂນໂລຢີເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂຶ້ນມາຈະກາຍເປັນສິ່ງທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນແຕ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາໄດ້ໃຊ້ເວລາຫຼາຍທົດສະວັດເພື່ອປັບປຸງສິລະປະ ແລະ ວິທະຍາສາດຂອງອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ - ວິລະບຸລຸດທີ່ບໍ່ໄດ້ຮັບການຍ້ອງຍໍເພື່ອເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ສຸດໃນປະຈຸບັນ. ໃນຖານະຜູ້ນຳລະດັບໂລກໃນການແກ້ໄຂບັນຫາຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ, ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈທີ່ຈະແບ່ງປັນວິທີທີ່ຫີນແກຣນິດສີດຳທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນ 3100kg/m³ ຂອງພວກເຮົາກຳລັງກຳນົດໃໝ່ສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ໃນການພິມດ້ວຍເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ, ລະບົບການວັດແທກ, ແລະ ແພລດຟອມການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າທົ່ວໂລກ.

ພື້ນຖານຂອງຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ທັນສະໄໝ: ເປັນຫຍັງຕ້ອງເປັນຫີນແກຣນິດ?

ເມື່ອຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຜະລິດຊິບທີ່ມີເທັກໂນໂລຢີໂຫນດ 3nm—ບ່ອນທີ່ຄວາມກວ້າງຂອງທຣານຊິດເຕີເຂົ້າໃກ້ຂະໜາດຂອງອະຕອມແຕ່ລະອັນ—ເຂົາເຈົ້າອາໄສອຸປະກອນທີ່ຕ້ອງຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງໃນລະດັບອະຕອມ. ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຫີນແກຣນິດກາຍເປັນສິ່ງທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້. ບໍ່ເໝືອນກັບໂລຫະປະສົມທີ່ຂະຫຍາຍອອກຕາມການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ ຫຼື ວັດສະດຸປະສົມສັງເຄາະທີ່ຂາດຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນໄລຍະຍາວ, ຫີນແກຣນິດສີດຳ ZHHIMG® ທີ່ເປັນກຳມະສິດຂອງພວກເຮົາມີຄວາມສາມາດໃນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມเฉื่อยທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໂດດເດັ່ນ. ດ້ວຍຄວາມໜາແໜ້ນ 3100kg/m³—ສູງກວ່າຫີນແກຣນິດມາດຕະຖານຂອງເອີຣົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ (ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນ 2600-2800kg/m³)—ວັດສະດຸຂອງພວກເຮົາໃຫ້ແພລດຟອມທີ່ໝັ້ນຄົງສູງສຸດສຳລັບລະບົບຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ພິຈາລະນາສິ່ງທ້າທາຍຂອງການພິມດ້ວຍແສງ ultraviolet ຮຸນແຮງ (EUV), ບ່ອນທີ່ລະບົບ optical ຕ້ອງຮັກສາການຈັດລຽງຂອງ subnanometer ຕະຫຼອດຊົ່ວໂມງຂອງການປະຕິບັດງານ. ພື້ນຖານ granite ທີ່ຮອງຮັບລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງຕ້ານທານກັບການສັ່ນສະເທືອນທີ່ຈຸລະທັດແມ່ນແຕ່ຈາກອຸປະກອນໂຮງງານ ຫຼື ການປ່ຽນແປງຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ. ຄ່າສຳປະສິດການດູດຊຶມພາຍໃນຂອງວັດສະດຸຂອງພວກເຮົາດູດຊຶມພະລັງງານການສັ່ນສະເທືອນໄດ້ຫຼາຍກວ່າເຫຼັກກ້າ 10-15 ເທົ່າ, ອີງຕາມການທົດສອບປຽບທຽບທີ່ດຳເນີນກັບຫ້ອງທົດລອງຟີຊິກແຫ່ງຊາດ (ອັງກິດ). ຄວາມແຕກຕ່າງດ້ານປະສິດທິພາບນີ້ແປໂດຍກົງວ່າຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ອັດຕາການຜິດປົກກະຕິທີ່ຕ່ຳກວ່າໃນການຜະລິດ semiconductor - ເປັນປະໂຫຍດທີ່ສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳທີ່ການຢຸດເຮັດວຽກພຽງວິນາທີດຽວສາມາດມີລາຄາຫຼາຍພັນໂດລາ.

ຄວາມເປັນເລີດດ້ານວິສະວະກຳ: ຈາກບໍ່ຫີນຈົນເຖິງ Quantum Leap

ຄຳໝັ້ນສັນຍາຂອງພວກເຮົາຕໍ່ຄວາມແມ່ນຍຳເລີ່ມຕົ້ນທີ່ແຫຼ່ງກຳເນີດ. ພວກເຮົາຮັກສາການເຂົ້າເຖິງສະເພາະຂອງແຮ່ແກຣນິດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ຄັດເລືອກມາເພື່ອໂຄງສ້າງຜລຶກທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງແຮ່ທາດໜ້ອຍທີ່ສຸດ. ແຕ່ລະທ່ອນໄດ້ຜ່ານການປຸງລົດຊາດຕາມທຳມະຊາດເປັນເວລາຫົກເດືອນກ່ອນທີ່ຈະເຂົ້າສູ່ໂຮງງານຜະລິດຂະໜາດ 200,000 ຕາແມັດຂອງພວກເຮົາໃກ້ກັບເມືອງຈີ່ໜານ, ເຊິ່ງຕັ້ງຢູ່ຢ່າງມີຍຸດທະສາດ ແລະ ສາມາດເຂົ້າເຖິງທ່າເຮືອຊິງເຕົ່າໂດຍກົງເພື່ອການຈຳໜ່າຍທົ່ວໂລກ. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາແມ່ນບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າ: ດ້ວຍເຄື່ອງບົດ Nan Teh ຂອງໄຕ້ຫວັນສີ່ເຄື່ອງ (ແຕ່ລະເຄື່ອງລົງທຶນເກີນ 500,000 ໂດລາ), ພວກເຮົາສາມາດປະມວນຜົນສ່ວນປະກອບດ່ຽວທີ່ມີນ້ຳໜັກເຖິງ 100 ໂຕນທີ່ມີຂະໜາດຍາວເຖິງ 20 ແມັດ - ຄວາມສາມາດທີ່ບໍ່ດົນມານີ້ຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດສົ່ງມອບຂັ້ນຕອນທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບລະບົບລຸ້ນຕໍ່ໄປຂອງຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ EUV ຊັ້ນນຳ.

ຫົວໃຈຂອງການດຳເນີນງານຂອງພວກເຮົາແມ່ນຢູ່ໃນສະຖານທີ່ທີ່ມີອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຄົງທີ່ຂະໜາດ 10,000 ຕາແມັດ, ບ່ອນທີ່ຕົວແປດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມທຸກຢ່າງຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະອຽດ. ພື້ນຊີມັງແຂງພິເສດໜາ 1000 ມມ, ປະສົມປະສານກັບຮ່ອງແຍກການສັ່ນສະເທືອນກວ້າງ 500 ມມ ອ້ອມຮອບພື້ນທີ່ຜະລິດ, ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໝັ້ນຄົງບ່ອນທີ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ ±0.5°C. ລະດັບການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມນີ້ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເມື່ອຜະລິດແຜ່ນພື້ນຜິວຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮາບພຽງຕ່ຳກວ່າ 0.5μm ໃນຄວາມຍາວ 6000 ມມ—ລາຍລະອຽດສະເພາະໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກເລເຊີ Renishaw ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳຂອງ Mahr ຂອງພວກເຮົາ, ທັງໝົດໄດ້ຮັບການປັບທຽບຕາມມາດຕະຖານຂອງສະຖາບັນວັດແທກແຫ່ງຊາດ.

ການກຳນົດມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ: ການຮັບຮອງ ແລະ ຄຳໝັ້ນສັນຍາດ້ານຄຸນນະພາບ

ໃນຖານະຜູ້ຜະລິດຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາພຽງຜູ້ດຽວທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງ ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001, ແລະ CE ພ້ອມໆກັນ, ພວກເຮົາໄດ້ສ້າງມາດຕະຖານຄຸນນະພາບທີ່ກໍານົດອຸດສາຫະກໍາ. ນະໂຍບາຍຄຸນນະພາບຂອງພວກເຮົາ - "ທຸລະກິດຄວາມແມ່ນຍໍາບໍ່ສາມາດຮຽກຮ້ອງຫຼາຍເກີນໄປ" - ນໍາພາທຸກດ້ານຂອງການດໍາເນີນງານຂອງພວກເຮົາ, ຕັ້ງແຕ່ການກວດກາວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຮັບຮອງສຸດທ້າຍ. ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈເປັນພິເສດຕໍ່ລະບົບການທົດສອບດ້ານວັດແທກຂອງພວກເຮົາ, ເຊິ່ງປະກອບມີໄມໂຄຣມິເຕີ Mahr ຂອງເຢຍລະມັນ (ຄວາມລະອຽດ 0.5μm), ເຄື່ອງວັດແທກໂປຣໄຟລ໌ Mitutoyo, ແລະເຄື່ອງວັດແທກເອເລັກໂຕຣນິກ WYLER ຂອງສະວິດເຊີແລນ, ທັງໝົດສາມາດຕິດຕາມໄດ້ທີ່ສະຖາບັນວັດແທກແຫ່ງຊາດຂອງຈີນ ແລະ ໄດ້ຮັບການກວດສອບເປັນປະຈໍາຜ່ານໂຄງການປຽບທຽບສາກົນກັບ Physikalisch-Technische Bundesanstalt (ເຢຍລະມັນ) ແລະສະຖາບັນມາດຕະຖານ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີແຫ່ງຊາດ (ອາເມລິກາ).

ວິທີການທີ່ບໍ່ປະນີປະນອມນີ້ໄດ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາໄດ້ຮັບການຮ່ວມມືກັບຜູ້ນໍາອຸດສາຫະກໍາລວມທັງ GE, Samsung, ແລະ ASML. ເມື່ອຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນໍາລາຍໃຫຍ່ຕ້ອງການຂັ້ນຕອນການຮັບນໍ້າໜັກທາງອາກາດຂອງຫີນແກຣນິດສໍາລັບລະບົບກວດກາເວເຟີ 300 ມມ ຂອງເຂົາເຈົ້າ, ຄວາມສາມາດຂອງພວກເຮົາໃນການຜະລິດຊຸດຕຽງຄວາມແມ່ນຍໍາ 20,000 ຊຸດຕໍ່ເດືອນຮັບປະກັນວ່າພວກມັນຈະບັນລຸເສັ້ນເວລາການຜະລິດຂອງພວກເຂົາ. ເຊັ່ນດຽວກັນ, ການຮ່ວມມືຂອງພວກເຮົາກັບມະຫາວິທະຍາໄລເຕັກໂນໂລຢີ Nanyang ຂອງສິງກະໂປກ່ຽວກັບວັດສະດຸປະສົມຫີນແກຣນິດທີ່ເສີມດ້ວຍເສັ້ນໄຍຄາບອນກໍາລັງຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງໂຄງສ້າງຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ມີນໍ້າໜັກເບົາສໍາລັບລະບົບການວັດແທກລຸ້ນຕໍ່ໄປ.

ນອກເໜືອຈາກການຜະລິດ: ການພັດທະນາວິທະຍາສາດການວັດແທກ

ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາຮັບເອົາປັດຊະຍາທີ່ວ່າ "ຖ້າທ່ານບໍ່ສາມາດວັດແທກມັນໄດ້, ທ່ານກໍ່ບໍ່ສາມາດເຮັດມັນໄດ້." ຄວາມເຊື່ອນີ້ຊຸກຍູ້ການຮ່ວມມືດ້ານການຄົ້ນຄວ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງພວກເຮົາກັບສະຖາບັນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຫ້ອງທົດລອງວິສະວະກຳຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງມະຫາວິທະຍາໄລ Stockholm ແລະສະຖາບັນທັດສະນະສາດ Changchun ຂອງຈີນ. ພວກເຮົາຮ່ວມກັນພັດທະນາວິທີການວັດແທກໃໝ່ທີ່ຂະຫຍາຍໄປໄກກວ່າການກວດສອບແບບສຳຜັດແບບດັ້ງເດີມເພື່ອລວມເອົາການແຊກແຊງທາງແສງ ແລະ ການຖ່າຍພາບດ້ວຍຄອມພິວເຕີສຳລັບການວິເຄາະຄວາມຄຽດພາຍໃນຂອງອົງປະກອບຫີນແກຣນິດຂະໜາດໃຫຍ່. ຄວາມກ້າວໜ້າຫຼ້າສຸດຂອງພວກເຮົາໃນການນຳໃຊ້ການທົດສອບດ້ວຍ ultrasonic ເພື່ອສ້າງແຜນທີ່ໂຄງສ້າງຜລຶກພາຍໃນໄດ້ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການປະຕິເສດວັດສະດຸລົງ 37% ໃນຂະນະທີ່ປັບປຸງການຄາດຄະເນຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

ຄວາມອຸທິດຕົນຂອງພວກເຮົາໃນການກ້າວໜ້າຂອງວິທະຍາສາດການວັດແທກສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນໃນຫ້ອງທົດລອງວັດແທກທີ່ທັນສະໄໝຂອງພວກເຮົາ, ເຊິ່ງມີສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງສະອາດຊັ້ນ 100 ທີ່ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການປະກອບສ່ວນປະກອບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ. ໃນທີ່ນີ້, ພວກເຮົາຈຳລອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຂອງລູກຄ້າເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພື້ນຖານຫີນແກຣນິດຂອງພວກເຮົາຮັກສາຄວາມແມ່ນຍຳລະດັບນາໂນແມັດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການປະຕິບັດງານຕົວຈິງ. ລະດັບຄວາມມຸ່ງໝັ້ນນີ້ໄດ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບອົງກອນຕ່າງໆຕັ້ງແຕ່ຫ້ອງທົດລອງ Jet Propulsion ຂອງ NASA ຈົນເຖິງບໍລິສັດເລີ່ມຕົ້ນການຄອມພິວເຕີ້ quantum ຊັ້ນນຳທີ່ພັດທະນາລະບົບ qubit ທີ່ມີຂໍ້ຜິດພາດ.

ການສ້າງອະນາຄົດ: ຄວາມຍືນຍົງ ແລະ ນະວັດຕະກໍາ

ໃນຂະນະທີ່ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງມີການພັດທະນາ, ວິທີການຂອງພວກເຮົາໃນການຜະລິດແບບຍືນຍົງກໍ່ເຊັ່ນກັນ. ການຮັບຮອງ ISO 14001 ຂອງພວກເຮົາສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງພວກເຮົາໃນການຄຸ້ມຄອງຊັບພະຍາກອນທີ່ມີຄວາມຮັບຜິດຊອບ, ລວມທັງລະບົບການຣີໄຊເຄີນນໍ້າທີ່ດັກຈັບ ແລະ ບໍາບັດນໍ້າເຢັນຈາກການບົດຂອງພວກເຮົາໄດ້ 95% ແລະ ການຕິດຕັ້ງພະລັງງານແສງຕາເວັນທີ່ຊົດເຊີຍຄວາມຕ້ອງການດ້ານໄຟຟ້າຂອງພວກເຮົາໄດ້ 28%. ພວກເຮົາຍັງໄດ້ພັດທະນາເຕັກນິກການເລື່ອຍລວດເພັດທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງວັດສະດຸລົງ 40% ເມື່ອທຽບກັບວິທີການປຸງແຕ່ງແບບດັ້ງເດີມ - ເຊິ່ງເປັນຄວາມກ້າວໜ້າທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕົ້ນທຶນວັດຖຸດິບສູງເຖິງ 35% ຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.

ເມື່ອເບິ່ງໄປຂ້າງໜ້າ, ທີມງານຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາຂອງພວກເຮົາສຸມໃສ່ສາມຂົງເຂດການຫັນປ່ຽນຄື: ການເຊື່ອມໂຍງເຄືອຂ່າຍເຊັນເຊີໂດຍກົງເຂົ້າໃນໂຄງສ້າງແກຣນິດສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາສຸຂະພາບແບບເວລາຈິງ, ການພັດທະນາວັດສະດຸປະສົມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງ gradient ທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງກະດ້າງຕໍ່ນ້ຳໜັກ, ແລະ ການບຸກເບີກລະບົບການບຳລຸງຮັກສາແບບຄາດຄະເນທີ່ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍ AI ສຳລັບອຸປະກອນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາ. ນະວັດຕະກຳເຫຼົ່ານີ້ສ້າງຂຶ້ນບົນມໍລະດົກຂອງພວກເຮົາຈາກສິດທິບັດສາກົນຫຼາຍກວ່າ 20 ສະບັບ ແລະ ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດສະໜັບສະໜູນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ລວມທັງເຕັກໂນໂລຊີຂະບວນການ 2nm ແລະ ເກີນກວ່ານັ້ນ.

ໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ຄວາມແມ່ນຍໍາກໍານົດຄວາມເປັນໄປໄດ້, ZHHIMG ສືບຕໍ່ກໍານົດມາດຕະຖານສໍາລັບອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ. ການປະສົມປະສານຂອງພວກເຮົາລະຫວ່າງຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ຂະໜາດການຜະລິດ (20,000 ໜ່ວຍຕໍ່ເດືອນ), ແລະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ປະນີປະນອມໄດ້ສ້າງພວກເຮົາໃຫ້ເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເລືອກສໍາລັບບໍລິສັດທີ່ກໍາລັງຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງການຜະລິດຂັ້ນສູງ. ໃນຂະນະທີ່ຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາປະເຊີນກັບສິ່ງທ້າທາຍຂອງໂຫນດຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ, ຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາ 3D ທີ່ສັບສົນຫຼາຍຂຶ້ນ, ພວກເຂົາສາມາດອີງໃສ່ວິທີແກ້ໄຂຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ ZHHIMG ເພື່ອໃຫ້ພື້ນຖານທີ່ໝັ້ນຄົງເຊິ່ງອະນາຄົດຂອງເຕັກໂນໂລຢີຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ.

For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.