ບົດບາດສໍາຄັນຂອງ Ultra-Precision Granite ໃນ Semiconductor ແລະການຜະລິດແບບພິເສດ

ໃນໂລກທີ່ມີສະເຕກສູງຂອງການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ອົງປະກອບຕ່າງໆຖືກວັດແທກເປັນ nanometers ແລະຄວາມທົນທານການຜະລິດຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງກ້ອງຈຸລະທັດ, ພື້ນຖານທີ່ເຕັກໂນໂລຢີເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂື້ນກາຍເປັນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາໄດ້ໃຊ້ເວລາຫຼາຍທົດສະວັດເພື່ອສົມບູນແບບສິລະປະ ແລະວິທະຍາສາດຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນທີ່ສຸດ—ວິລະຊົນທີ່ບໍ່ມີຊື່ສຽງທີ່ເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ສຸດຂອງມື້ນີ້. ໃນຖານະເປັນຜູ້ນໍາທົ່ວໂລກໃນການແກ້ໄຂ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈທີ່ຈະແບ່ງປັນວິທີການທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ granite ສີດໍາ 3100kg / m³ ຂອງພວກເຮົາກໍາລັງກໍານົດສິ່ງທີ່ເປັນໄປໄດ້ໃນ semiconductor lithography, ລະບົບ metrology, ແລະເວທີການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າໃນທົ່ວໂລກ.

ພື້ນຖານຂອງຄວາມຊັດເຈນທີ່ທັນສະໄຫມ: ເປັນຫຍັງ Granite?

ໃນເວລາທີ່ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ຜະລິດຊິບທີ່ມີເຕັກໂນໂລຊີ node 3nm - ບ່ອນທີ່ຄວາມກວ້າງຂອງ transistor ເຂົ້າຫາຂະຫນາດຂອງອະຕອມສ່ວນບຸກຄົນ - ພວກເຂົາອີງໃສ່ອຸປະກອນທີ່ຕ້ອງຮັກສາສະຖຽນລະພາບໃນລະດັບປະລໍາມະນູ. ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ granite ກາຍເປັນສິ່ງທີ່ທົດແທນບໍ່ໄດ້. ບໍ່ເຫມືອນກັບໂລຫະປະສົມໂລຫະທີ່ຂະຫຍາຍໄປພ້ອມກັບການເໜັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ ຫຼືອົງປະກອບສັງເຄາະທີ່ຂາດຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນໄລຍະຍາວ, ຫີນການິດສີດຳ ZHHIMG® ທີ່ເປັນກຳມະສິດຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມອິດເມື່ອຍຂອງຄວາມຮ້ອນພິເສດ ແລະ ຄວາມສາມາດປ້ອງກັນການສັ່ນສະເທືອນ. ດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ 3100kg / m³ - ສູງກວ່າ granite ມາດຕະຖານເອີຣົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ (ປົກກະຕິ 2600-2800kg / m³) - ວັດສະດຸຂອງພວກເຮົາສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ສຸດສໍາລັບລະບົບການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ.

ພິຈາລະນາສິ່ງທ້າທາຍຂອງ lithography ultraviolet (EUV) ທີ່ສຸດ, ບ່ອນທີ່ລະບົບ optical ຕ້ອງຮັກສາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ sub-nanometer ໃນໄລຍະການເຮັດວຽກຫຼາຍຊົ່ວໂມງ. ພື້ນຖານ granite ທີ່ສະຫນັບສະຫນູນລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງຕ້ານການສັ່ນສະເທືອນກ້ອງຈຸລະທັດຈາກອຸປະກອນໂຮງງານຫຼືການປ່ຽນແປງສິ່ງແວດລ້ອມ. ຕົວຄູນຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພາຍໃນຂອງວັດສະດຸຂອງພວກເຮົາດູດເອົາພະລັງງານການສັ່ນສະເທືອນຫຼາຍກ່ວາເຫຼັກກ້າ 10-15 ເທົ່າ, ອີງຕາມການທົດສອບປຽບທຽບທີ່ດໍາເນີນກັບຫ້ອງທົດລອງທາງດ້ານຮ່າງກາຍແຫ່ງຊາດ (ອັງກິດ). ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງປະສິດທິພາບນີ້ແປໂດຍກົງເຖິງຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະອັດຕາຄວາມບົກຜ່ອງຕ່ໍາໃນການຜະລິດ semiconductor - ປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ເວລາຢຸດຫນຶ່ງວິນາທີສາມາດມີມູນຄ່າຫລາຍພັນໂດລາ.

ຄວາມດີເລີດດ້ານວິສະວະກໍາ: ຈາກ Quarry ກັບ Quantum Leap

ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາຂອງພວກເຮົາເພື່ອຄວາມຊັດເຈນເລີ່ມຕົ້ນທີ່ແຫຼ່ງ. ພວກ​ເຮົາ​ຮັກ​ສາ​ການ​ເຂົ້າ​ເຖິງ​ສະ​ເພາະ​ກັບ​ເງິນ​ຝາກ granite ນິ​ຍົມ​ທີ່​ເລືອກ​ສໍາ​ລັບ​ໂຄງ​ປະ​ກອບ​ການ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​ຂອງ​ເຂົາ​ເຈົ້າ​ແລະ​ການ​ປ່ຽນ​ແປງ​ແຮ່​ທາດ​ຫນ້ອຍ​ທີ່​ສຸດ​. ແຕ່ລະຕັນໄດ້ຜ່ານການປຸງແຕ່ງຕາມທໍາມະຊາດຫົກເດືອນກ່ອນທີ່ຈະເຂົ້າໄປໃນໂຮງງານຜະລິດ 200,000m² ຂອງພວກເຮົາຢູ່ໃກ້ກັບ Jinan, ຕັ້ງຢູ່ຍຸດທະສາດທີ່ມີການເຂົ້າເຖິງໂດຍກົງກັບ Qingdao Port ສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍທົ່ວໂລກ. ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາແມ່ນບໍ່ກົງກັນ: ດ້ວຍເຄື່ອງຈັກຂັດ Nan Teh ຂອງໄຕ້ຫວັນສີ່ເຄື່ອງ (ແຕ່ລະການລົງທຶນເກີນ $500,000), ພວກເຮົາສາມາດປຸງແຕ່ງສ່ວນປະກອບດຽວທີ່ມີນໍ້າຫນັກເຖິງ 100 ໂຕນທີ່ມີຂະຫນາດເຖິງ 20m ໃນຄວາມຍາວ - ຄວາມສາມາດທີ່ບໍ່ດົນມານີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດສົ່ງຂັ້ນຕອນທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບລະບົບການຜະລິດອຸປະກອນ EUV ຊັ້ນນໍາຂອງຜູ້ຜະລິດ.

ຫົວໃຈຂອງການດໍາເນີນງານຂອງພວກເຮົາແມ່ນຢູ່ໃນ 10,000m² ຂອງພວກເຮົາສະຖານທີ່ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ບ່ອນທີ່ທຸກຕົວແປຂອງສະພາບແວດລ້ອມໄດ້ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງ. ພື້ນຄອນກຣີດແຂງພິເສດທີ່ມີຄວາມໜາ 1000 ມມ, ສົມທົບກັບຮ່ອງລະບາຍຄວາມສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີຄວາມກວ້າງ 500 ມມ ທີ່ຢູ່ອ້ອມຮອບພື້ນທີ່ການຜະລິດ, ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໝັ້ນຄົງທີ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ ± 0.5 ອົງສາເຊ. ການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມລະດັບນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນໃນເວລາທີ່ການຜະລິດແຜ່ນພື້ນຜິວ granite ທີ່ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຮາບພຽງຢູ່ຂ້າງລຸ່ມ 0.5μm ໃນໄລຍະ 6000mm - ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະທີ່ຖືກກວດສອບໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກເລເຊີ Renishaw ແລະເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ Mahr ຂອງພວກເຮົາ, ທັງຫມົດຖືກປັບທຽບກັບມາດຕະຖານສະຖາບັນວັດແທກແຫ່ງຊາດ.

ການກໍານົດມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ: ການຢັ້ງຢືນແລະຄໍາຫມັ້ນສັນຍາຄຸນນະພາບ

ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາພຽງແຕ່ຖື ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001, ແລະໃບຢັ້ງຢືນ CE ພ້ອມກັນ, ພວກເຮົາໄດ້ສ້າງມາດຕະຖານຄຸນນະພາບທີ່ກໍານົດອຸດສາຫະກໍາ. ນະໂຍບາຍຄຸນນະພາບຂອງພວກເຮົາ—“ທຸລະກິດຄວາມແມ່ນຍໍາບໍ່ສາມາດມີຄວາມຕ້ອງການເກີນໄປ”—ແນະນຳທຸກດ້ານຂອງການປະຕິບັດງານຂອງພວກເຮົາ, ຕັ້ງແຕ່ການກວດກາວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຢັ້ງຢືນຂັ້ນສຸດທ້າຍ. ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈເປັນພິເສດຕໍ່ລະບົບການວັດແທກເມຕຼາວິທະຍາຂອງພວກເຮົາ, ເຊິ່ງລວມມີໄມໂຄມິເຕີ Mahr ຂອງເຢຍລະມັນ (ຄວາມລະອຽດ 0.5μm), Mitutoyo profilometers, ແລະລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ WYLER ຂອງສະວິດເຊີແລນ, ທັງໝົດສາມາດຕິດຕາມໄດ້ກັບສະຖາບັນ Metrology ແຫ່ງຊາດຂອງຈີນ ແລະໄດ້ຮັບການກວດສອບຢ່າງເປັນປົກກະຕິໂດຍຜ່ານບັນດາໂຄງການປຽບທຽບລະຫວ່າງປະເທດກັບ Physikalisch-Technische Bundesanstalt ແລະ ສະຖາບັນເຕັກໂນໂລຊີແຫ່ງຊາດ (Germannational Institute of Technology).

ວິທີການທີ່ບໍ່ມີການປະນີປະນອມນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາຮ່ວມມືກັບຜູ້ນໍາອຸດສາຫະກໍາລວມທັງຜູ້ສະຫນອງ GE, Samsung ແລະ ASML. ໃນເວລາທີ່ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນຕ້ອງການຂັ້ນຕອນການຮັບຜິດຊອບທາງອາກາດ granite ແບບກໍາຫນົດເອງສໍາລັບລະບົບການກວດສອບ wafer 300mm ຂອງເຂົາເຈົ້າ, ຄວາມສາມາດຂອງພວກເຮົາໃນການຜະລິດ 20,000 ສະພາແຫ່ງຕຽງນອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາປະຈໍາເດືອນຮັບປະກັນວ່າພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ບັນລຸໄລຍະເວລາການຜະລິດຂອງເຂົາເຈົ້າ. ເຊັ່ນດຽວກັນ, ການຮ່ວມມືຂອງພວກເຮົາກັບມະຫາວິທະຍາໄລ Nanyang Technological University ຂອງສິງກະໂປ ກ່ຽວກັບອົງປະກອບ granite ທີ່ເສີມດ້ວຍເສັ້ນໄຍກາກບອນ ກໍາລັງຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງໂຄງສ້າງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງນໍ້າໜັກເບົາ ສໍາລັບລະບົບເມຕຼາວິທະຍາລຸ້ນຕໍ່ໄປ.

Beyond Manufacturing: ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານວິທະຍາສາດການວັດແທກ

ຢູ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາຍອມຮັບປັດຊະຍາທີ່ວ່າ "ຖ້າທ່ານບໍ່ສາມາດວັດແທກໄດ້, ທ່ານບໍ່ສາມາດເຮັດມັນໄດ້." ຄວາມເຊື່ອນີ້ເຮັດໃຫ້ການຮ່ວມມືການຄົ້ນຄວ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງພວກເຮົາກັບສະຖາບັນເຊັ່ນ: ຫ້ອງທົດລອງວິສະວະກໍາ Precision ຂອງມະຫາວິທະຍາໄລ Stockholm ແລະສະຖາບັນ Optics Changchun ຂອງຈີນ. ຮ່ວມກັນ, ພວກເຮົາກໍາລັງພັດທະນາວິທີການວັດແທກໃຫມ່ທີ່ຂະຫຍາຍອອກໄປນອກເຫນືອການສືບສວນ tactile ແບບດັ້ງເດີມເພື່ອປະກອບມີ optical interferometry ແລະ tomography ຄອມພິວເຕີ້ສໍາລັບການວິເຄາະຄວາມກົດດັນພາຍໃນຂອງອົງປະກອບ granite ຂະຫນາດໃຫຍ່. ບາດກ້າວບຸກທະລຸທີ່ຜ່ານມາຂອງພວກເຮົາໃນການນໍາໃຊ້ການທົດສອບ ultrasonic ແຜນທີ່ໂຄງສ້າງ crystalline ພາຍໃນໄດ້ຫຼຸດລົງອັດຕາການປະຕິເສດວັດສະດຸໂດຍ 37% ໃນຂະນະທີ່ປັບປຸງການຄາດຄະເນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

ການອຸທິດຕົນຂອງພວກເຮົາຕໍ່ກັບວິທະຍາສາດການວັດແທກຄວາມກ້າວຫນ້າແມ່ນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນຢູ່ໃນຫ້ອງທົດລອງວັດແທກການວັດແທກທີ່ທັນສະໄຫມຂອງພວກເຮົາ, ເຊິ່ງມີລັກສະນະສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງ 100 ທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການປະກອບອຸປະກອນ semiconductor. ທີ່ນີ້, ພວກເຮົາຈໍາລອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດຂອງລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາເພື່ອຮັບປະກັນພື້ນຖານ granite ຂອງພວກເຮົາຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາໃນລະດັບ nanometer ຂອງເຂົາເຈົ້າພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກຕົວຈິງ. ລະດັບຄວາມມຸ່ງຫມັ້ນນີ້ໄດ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບອົງການຈັດຕັ້ງຕັ້ງແຕ່ຫ້ອງທົດລອງ Jet Propulsion ຂອງ NASA ຈົນເຖິງການເລີ່ມຕົ້ນຄອມພິວເຕີ quantum ຊັ້ນນໍາທີ່ພັດທະນາລະບົບ qubit ທີ່ຖືກແກ້ໄຂຂໍ້ຜິດພາດ.

ການກໍ່ສ້າງອະນາຄົດ: ຄວາມຍືນຍົງ ແລະນະວັດຕະກໍາ

ໃນຂະນະທີ່ການຜະລິດຄວາມແມ່ນຍໍາພັດທະນາ, ວິທີການຂອງພວກເຮົາໃນການຜະລິດແບບຍືນຍົງ. ການຢັ້ງຢືນ ISO 14001 ຂອງພວກເຮົາສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຂອງພວກເຮົາໃນການຄຸ້ມຄອງຊັບພະຍາກອນທີ່ມີຄວາມຮັບຜິດຊອບ, ລວມທັງລະບົບການລີໄຊເຄີນນ້ໍາທີ່ຈັບແລະປິ່ນປົວ 95% ຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມເຢັນຂອງພວກເຮົາແລະການຕິດຕັ້ງພະລັງງານແສງຕາເວັນທີ່ຊົດເຊີຍ 28% ຂອງຄວາມຕ້ອງການໄຟຟ້າຂອງພວກເຮົາ. ພວກເຮົາຍັງໄດ້ພັດທະນາເຕັກນິກການເລື່ອຍສາຍເພັດທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງທີ່ຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງວັດສະດຸ 40% ເມື່ອທຽບກັບວິທີການປຸງແຕ່ງແບບດັ້ງເດີມ - ຄວາມກ້າວຫນ້າທີ່ສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ລາຄາວັດຖຸດິບກວມເອົາເຖິງ 35% ຂອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດ.

ເບິ່ງໄປຂ້າງໜ້າ, ທີມງານ R&D ຂອງພວກເຮົາແມ່ນໄດ້ສຸມໃສ່ສາມຂົງເຂດການຫັນປ່ຽນ: ການລວມເຄືອຂ່າຍເຊັນເຊີໂດຍກົງເຂົ້າໃນໂຄງສ້າງ granite ສໍາລັບການຕິດຕາມສຸຂະພາບໃນເວລາຈິງ, ການພັດທະນາອົງປະກອບຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ gradient ທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງຕໍ່ນ້ໍາຫນັກ, ແລະເປັນຜູ້ບຸກເບີກລະບົບບໍາລຸງຮັກສາການຄາດເດົາທີ່ຂັບເຄື່ອນໂດຍ AI ສໍາລັບອຸປະກອນການຜະລິດຂອງພວກເຮົາ. ນະວັດຕະກໍາເຫຼົ່ານີ້ສ້າງຢູ່ໃນມໍລະດົກຂອງພວກເຮົາຫຼາຍກວ່າ 20 ສິດທິບັດສາກົນແລະວາງຕໍາແຫນ່ງໃຫ້ພວກເຮົາເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນການຜະລິດ semiconductor ຮຸ່ນຕໍ່ໄປ, ລວມທັງເຕັກໂນໂລຢີ 2nm ແລະນອກເຫນືອຈາກຂະບວນການ.

ຂາຕັ້ງແຜ່ນດ້ານ

ໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນກໍານົດຄວາມເປັນໄປໄດ້, ZHHIMG ຍັງສືບຕໍ່ກໍານົດມາດຕະຖານສໍາລັບອົງປະກອບ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສຸດ. ການປະສົມປະສານຂອງພວກເຮົາຂອງຄວາມຊໍານານດ້ານວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ຂະຫນາດການຜະລິດ (20,000 ຫນ່ວຍປະຈໍາເດືອນ), ແລະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ uncompromising ໄດ້ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນພວກເຮົາເປັນຄູ່ຮ່ວມງານຂອງທາງເລືອກສໍາລັບບໍລິສັດຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງການຜະລິດກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ເນື່ອງຈາກຜູ້ຜະລິດ semiconductor ປະເຊີນກັບສິ່ງທ້າທາຍຂອງຂໍ້ນ້ອຍ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາ 3D ທີ່ສັບສົນຫຼາຍ, ພວກເຂົາສາມາດອີງໃສ່ການແກ້ໄຂ granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ ZHHIMG ເພື່ອສະຫນອງພື້ນຖານທີ່ຫມັ້ນຄົງເຊິ່ງອະນາຄົດຂອງເຕັກໂນໂລຢີຈະຖືກສ້າງຂື້ນ.

For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.


ເວລາປະກາດ: ຕຸລາ 31-2025