ຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງ Granite ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຜະລິດຕະພັນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer

Granite ແມ່ນຫີນທີ່ເກີດຂື້ນຕາມທໍາມະຊາດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນເວລາດົນນານໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer. ມັນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ຄວາມເຂັ້ມງວດສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບວັດສະດຸທັງຫມົດ, granite ມີຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງຕົນເອງທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer.

ຫນຶ່ງໃນຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ສໍາຄັນຂອງ granite ແມ່ນແນວໂນ້ມທີ່ຈະແຕກຫຼືແຕກ. ນີ້ແມ່ນເນື່ອງມາຈາກການມີ microcracks ທີ່ສາມາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການສ້າງຕັ້ງຂອງຫີນໄດ້. ຖ້າ microcracks ເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ໄດ້ຖືກລະບຸແລະປະຕິບັດຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ພວກເຂົາສາມາດຂະຫຍາຍພັນແລະນໍາໄປສູ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ. ເພື່ອປ້ອງກັນການນີ້ເກີດຂຶ້ນ, ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ granite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວແລະການທົດສອບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າມັນບໍ່ມີ microcracks.

ຂໍ້ບົກຜ່ອງອີກອັນຫນຶ່ງຂອງ granite ແມ່ນຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບ corrosion. ຖ້າອຸປະກອນ granite ເຂົ້າມາພົວພັນກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ, ມັນສາມາດເລີ່ມຊຸດໂຊມຕາມເວລາ. ນີ້ສາມາດເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນເສຍຫາຍຫຼືເຮັດວຽກບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ເພື່ອປ້ອງກັນການນີ້, ຜູ້ຜະລິດຕ້ອງຮັບປະກັນວ່າ granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນຂອງພວກເຂົາຖືກປະຕິບັດຢ່າງຖືກຕ້ອງແລະເຄືອບເພື່ອປ້ອງກັນການກັດກ່ອນໃດໆ.

Granite ຍັງມີຄວາມສ່ຽງທີ່ຈະ warping ໃນໄລຍະເວລາເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າ granite ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າຫຼາຍ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າມັນບໍ່ຂະຫຍາຍຫຼືເຮັດສັນຍາຫຼາຍເມື່ອມີການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເຖິງແມ່ນວ່າການຂະຫຍາຍຫຼືການຫົດຕົວເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການປັ່ນປ່ວນໃນອຸປະກອນໃນໄລຍະເວລາ. ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເອົາຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ເຂົ້າໄປໃນບັນຊີໃນເວລາທີ່ການອອກແບບອຸປະກອນຂອງເຂົາເຈົ້າເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຂໍ້ບົກພ່ອງນີ້ເກີດຂຶ້ນ.

ສຸດທ້າຍ, ລັກສະນະ porous ຂອງ granite ສາມາດນໍາໄປສູ່ບັນຫາທີ່ມີການປົນເປື້ອນ. ຖ້າ granite ບໍ່ໄດ້ຖືກປະທັບຕາຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ມັນສາມາດດູດຊຶມສານປົນເປື້ອນທີ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງ wafer ໄດ້. ນີ້ສາມາດນໍາໄປສູ່ການ downtime ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະການສູນເສຍການຜະລິດ. ເພື່ອປ້ອງກັນການນີ້, ຜູ້ຜະລິດຈໍາເປັນຕ້ອງປະທັບຕາດ້ວຍ granite ຢ່າງຖືກຕ້ອງເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ສິ່ງປົນເປື້ອນຖືກດູດຊຶມ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ດີເລີດສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຮູ້ເຖິງຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງມັນແລະໃຊ້ຄວາມລະມັດລະວັງທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ພວກມັນເກີດຂື້ນ. ດ້ວຍການດູແລແລະການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ເຫມາະສົມ, ອຸປະກອນ granite ສາມາດສືບຕໍ່ເຮັດວຽກໄດ້ຫຼາຍປີ, ສະຫນອງ wafers ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.