ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision, ພື້ນຖານ, ເປັນອົງປະກອບສະຫນັບສະຫນູນທີ່ສໍາຄັນ, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປະຕິບັດຂອງໂມດູນ. ຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ Granite ແລະຖານຫລໍ່ມີລັກສະນະຂອງຕົນເອງ, ແລະຄວາມຄົມຊັດລະຫວ່າງພວກມັນແມ່ນເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ.
I. ສະຖຽນລະພາບ
Granite ຫຼັງຈາກການປ່ຽນແປງທາງທໍລະນີສາດຫຼາຍລ້ານປີ, ໂຄງສ້າງພາຍໃນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມາຈາກ quartz, feldspar ແລະແຮ່ທາດອື່ນໆທີ່ປະສົມປະສານຢ່າງໃກ້ຊິດ. ໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດແລະສາມາດຕ້ານການແຊກແຊງຈາກພາຍນອກຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ໃນກອງປະຊຸມການຜະລິດ chip ເອເລັກໂຕຣນິກ, ອຸປະກອນ peripheral ແລ່ນເລື້ອຍໆ, ແລະພື້ນຖານ granite ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກວ້າງຂອງ vibration ຂອງໂມດູນ ultra-precision motion ສົ່ງກັບອາກາດ float ໄດ້ຫຼາຍກ່ວາ 80%, ຮັບປະກັນການເຄື່ອນໄຫວກ້ຽງຂອງໂມດູນແລະສະຫນອງການຮັບປະກັນແຂງສໍາລັບຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຊັ່ນ: lithography ແລະ etching ຂອງການຜະລິດ chip.
ເຖິງແມ່ນວ່າຖານການຫລໍ່ສາມາດປ້ອງກັນການສັ່ນສະເທືອນໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ, ອາດຈະມີຂໍ້ບົກພ່ອງບາງຢ່າງເຊັ່ນ: ຂຸມຊາຍແລະຮູຂຸມຂົນໃນຂະບວນການຫລໍ່, ເຊິ່ງຈະຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ. ໃນການປະເຊີນຫນ້າກັບການສັ່ນສະເທືອນທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ຄວາມສາມາດໃນການຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນແມ່ນບໍ່ດີເທົ່າກັບພື້ນຖານຂອງ granite, ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ດີຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວ ultra-precision ຂອງ float ທາງອາກາດ, ເຊິ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປຸງແຕ່ງແລະການກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນ.
ອັນທີສອງ, ການຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງ
ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ Granite ແມ່ນຕໍ່າຫຼາຍ, ໂດຍທົ່ວໄປໃນ 5-7 ×10⁻⁶ / ℃, ໃນສະພາບແວດລ້ອມການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມ, ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດແມ່ນຫນ້ອຍ. ໃນຂົງເຂດດາລາສາດ, ໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສຸດສໍາລັບການປັບລະອຽດຂອງເລນ telescope ແມ່ນຈັບຄູ່ກັບຖານ granite, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມລະຫວ່າງກາງເວັນແລະກາງຄືນແມ່ນໃຫຍ່, ມັນສາມາດຮັບປະກັນວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງຂອງເລນຖືກຮັກສາໄວ້ໃນລະດັບຍ່ອຍ micron, ຊ່ວຍໃຫ້ນັກດາລາສາດສາມາດສັງເກດໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນເຖິງຊັ້ນຊັ້ນສູງທີ່ຢູ່ຫ່າງໄກ.
ພື້ນຖານການຫລໍ່ໂລຫະທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປ, ເຊັ່ນ: ທາດເຫຼັກສຽງໂຫວດທັງຫມົດ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ, ປະມານ 10-20 ×10⁻⁶ / ℃. ເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ, ຂະຫນາດມີການປ່ຽນແປງຢ່າງເຫັນໄດ້ຊັດ, ເຊິ່ງງ່າຍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວແບບ ultra-precision ຂອງ float ທາງອາກາດ, ເຮັດໃຫ້ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວ. ໃນຂະບວນການຂັດເລນ optical ທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ອຸນຫະພູມ, ການຜິດປົກກະຕິຂອງຖານຫລໍ່ພາຍໃຕ້ອິດທິພົນຂອງອຸນຫະພູມອາດຈະເຮັດໃຫ້ການບິດເບືອນຂອງເລນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາເກີນຂອບເຂດທີ່ອະນຸຍາດແລະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງເລນ.
ອັນທີສາມ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່
ຄວາມແຂງຂອງ Granite ແມ່ນສູງ, ຄວາມແຂງຂອງ Mohs ສາມາດບັນລຸ 6-7, ທົນທານຕໍ່ພັຍທີ່ເຂັ້ມແຂງ. ໃນຫ້ອງທົດລອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ໂມດູນ motion ultra-precision air float ທີ່ໃຊ້ເລື້ອຍໆ, ຖານ granite ສາມາດຕ້ານການ friction ຂອງ slider float ອາກາດ, ເມື່ອປຽບທຽບກັບຖານຫລໍ່ທໍາມະດາ, ສາມາດຂະຫຍາຍວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາຂອງໂມດູນໄດ້ຫຼາຍກ່ວາ 50%, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຮັກສາອຸປະກອນ, ແລະຮັບປະກັນການເຮັດວຽກຂອງການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.
ຖ້າພື້ນຖານການຫລໍ່ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸໂລຫະທໍາມະດາ, ຄວາມແຂງແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຕ່ໍາ, ແລະພື້ນຜິວແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະໃສ່ພາຍໃຕ້ friction reciprocating ໄລຍະຍາວຂອງ slider float ອາກາດ, ເຊິ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການເຄື່ອນໄຫວແລະຄວາມລຽບງ່າຍຂອງໂມດູນ motion ultra-precision ຂອງ float ອາກາດ, ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການບໍາລຸງຮັກສາເລື້ອຍໆແລະການທົດແທນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ການເພີ່ມຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການນໍາໃຊ້ແລະການ downtime.
ສີ່, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແລະຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການປຸງແຕ່ງ
ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຊື້ວັດຖຸດິບຂອງ Granite ແມ່ນສູງ, ການຂຸດຄົ້ນບໍ່ແຮ່, ການຂົນສົ່ງສະລັບສັບຊ້ອນ, ການປຸງແຕ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີອຸປະກອນແລະເຕັກໂນໂລຢີທີ່ເປັນມືອາຊີບ, ເຊັ່ນ: ການຕັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ການຂັດ, ການຂັດ, ແລະອື່ນໆ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດສູງ. ແລະເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຄວາມແຂງສູງ, brittleness, ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການປຸງແຕ່ງ, ງ່າຍທີ່ຈະປະກົດວ່າແຂບ collapse, ຮອຍແຕກແລະຂໍ້ບົກພ່ອງອື່ນໆ, ອັດຕາການຂູດແມ່ນສູງ.
ພື້ນຖານການຫລໍ່ວັດຖຸດິບແມ່ນແຫຼ່ງທີ່ກວ້າງຂວາງ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ, ຂະບວນການຫລໍ່ແມ່ນແກ່, ຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການປຸງແຕ່ງແມ່ນຫນ້ອຍ, ແລະການຜະລິດມະຫາຊົນສາມາດດໍາເນີນການຜ່ານແມ່ພິມໄດ້, ປະສິດທິພາບການຜະລິດສູງແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສາມາດຄວບຄຸມໄດ້. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເພື່ອບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງດຽວກັນກັບພື້ນຖານ granite, ຂະບວນການຫລໍ່ຫລໍ່ແລະຄວາມຕ້ອງການຫລັງການປຸງແຕ່ງແມ່ນເຄັ່ງຄັດທີ່ສຸດ, ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຍັງຈະເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ພື້ນຖານຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ granite ມີປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນໃນສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງໂມດູນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່. ພື້ນຖານການຫລໍ່ມີຄວາມໄດ້ປຽບບາງຢ່າງໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະຄວາມສະດວກສະບາຍໃນການປຸງແຕ່ງ, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບບາງຄັ້ງທີ່ຄວາມຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າແລະການຕິດຕາມປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ເວລາປະກາດ: 08-08-2025