ວັດສະດຸທາງເລືອກສໍາລັບພາກສ່ວນ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?ຂໍ້ດີແລະຂໍ້ເສຍຂອງວັດສະດຸທາງເລືອກເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຫຍັງເມື່ອທຽບກັບ granite?

Granite ໄດ້ເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສໍາລັບຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ, ວັດສະດຸທາງເລືອກໄດ້ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ເປັນໄປໄດ້ສໍາລັບການຜະສົມຜະສານສ່ວນປະກອບຂອງອຸປະກອນ semiconductor.ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາຈະຄົ້ນຫາບາງອຸປະກອນທາງເລືອກສໍາລັບພາກສ່ວນ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແລະປຽບທຽບຂໍ້ດີແລະຂໍ້ເສຍຂອງມັນ.

ວັດສະດຸທາງເລືອກສໍາລັບຊິ້ນສ່ວນ Granite

1. ວັດສະດຸແກ້ວ-ເຊລາມິກ

ວັດສະດຸແກ້ວ-ເຊລາມິກ, ເຊັ່ນ Zerodur ແລະ Cervit, ໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເນື່ອງຈາກຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ເຊິ່ງຢູ່ໃກ້ກັບຊິລິໂຄນ.ດັ່ງນັ້ນ, ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ສາມາດສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າແລະຄວາມແມ່ນຍໍາໃນຂະບວນການ fabrication semiconductor.Zerodur, ໂດຍສະເພາະ, ມີລະດັບສູງຂອງ homogeneity ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດອຸປະກອນ lithography.

ຂໍ້ດີ:

- ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ
- ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ
- ເຫມາະສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ

ຂໍ້ເສຍ:

- ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສູງຂຶ້ນເມື່ອທຽບກັບ granite
- ຂ້ອນຂ້າງແຕກ, ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດສິ່ງທ້າທາຍໃນເຄື່ອງຈັກແລະການຈັດການ

2. ເຊລາມິກ

ວັດສະດຸເຊລາມິກເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມອອກໄຊ (Al2O3), ຊິລິໂຄນ carbide (SiC), ແລະ silicon nitride (Si3N4), ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ.ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ເຊລາມິກທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບພາກສ່ວນອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາ, ເຊັ່ນ: ຂັ້ນຕອນຂອງ wafer ແລະ chucks.

ຂໍ້ດີ:

- ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງ
- ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ
- ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ ແລະ inertness ສານເຄມີ

ຂໍ້ເສຍ:

- ສາມາດບວມ ແລະ ສ່ຽງຕໍ່ການແຕກ, ໂດຍສະເພາະໃນເວລາເຄື່ອງຈັກ ແລະ ການຈັບ
- ເຄື່ອງຈັກແລະການຂັດເຊລາມິກສາມາດທ້າທາຍແລະໃຊ້ເວລາຫຼາຍ

3. ໂລຫະ

ວັດສະດຸທີ່ອີງໃສ່ໂລຫະ, ເຊັ່ນ: ສະແຕນເລດແລະ titanium, ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບບາງພາກສ່ວນອຸປະກອນ semiconductor ເນື່ອງຈາກ machinability ທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ.ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນສູງແມ່ນບໍ່ຈໍາເປັນ, ເຊັ່ນ: ພາກສ່ວນສະພາການ, couplings, ແລະ feedthroughs.

ຂໍ້ດີ:

- ເຄື່ອງຈັກທີ່ດີແລະການເຊື່ອມໂລຫະ
- ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະ ductility
- ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາເມື່ອທຽບກັບບາງອຸປະກອນທາງເລືອກ

ຂໍ້ເສຍ:

- ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນສູງ
- ບໍ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງເນື່ອງຈາກບັນຫາການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ
- ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການປົນເປື້ອນ

ສະຫຼຸບ:

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ໃນຂະນະທີ່ granite ໄດ້ເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສໍາລັບພາກສ່ວນອຸປະກອນ semiconductor, ອຸປະກອນທາງເລືອກໄດ້ເກີດຂຶ້ນ, ແຕ່ລະຄົນມີຂໍ້ດີແລະຂໍ້ເສຍທີ່ເປັນເອກະລັກ.ວັດສະດຸແກ້ວ-ເຊລາມິກມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແຕ່ສາມາດ brittle.Ceramics ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແຕ່ຍັງສາມາດ brittle, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມທ້າທາຍຫຼາຍໃນການຜະລິດ.ໂລຫະແມ່ນລາຄາຖືກ, ເຄື່ອງຈັກ, ແລະ ductile, ແຕ່ພວກມັນມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ສູງຂຶ້ນແລະມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການປົນເປື້ອນ.ໃນເວລາທີ່ເລືອກວັດສະດຸສໍາລັບອຸປະກອນ semiconductor, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະພິຈາລະນາຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະເລືອກວັດສະດຸທີ່ສົມດຸນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ການປະຕິບັດ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.