Granite ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດສ່ວນປະກອບທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor.ຕ່ອນເຫຼົ່ານີ້, ໂດຍປົກກະຕິໃນຮູບແບບຂອງ chucks ແລະ pedestals, ສະຫນອງເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການເຄື່ອນຍ້າຍແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງ wafers semiconductor ໃນໄລຍະຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດ.ການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອົງປະກອບ granite ເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີອິດທິພົນຈາກປັດໃຈຕ່າງໆ, ລວມທັງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້.
ຫນຶ່ງໃນປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນອຸນຫະພູມ.Granite ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂ້ອນຂ້າງຕ່ໍາ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງອຸນຫະພູມໂດຍບໍ່ມີການ warping ຫຼື cracking.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການເຫນັງຕີງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນພາຍໃນວັດສະດຸ, ນໍາໄປສູ່ການແຕກຫຼື delamination ຂອງຫນ້າດິນ.ນອກຈາກນັ້ນ, ການສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງເປັນເວລາດົນສາມາດເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸອ່ອນລົງ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິແລະການສວມໃສ່.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor.ລະດັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຊຸ່ມຊື້ນເຂົ້າໄປໃນພື້ນຜິວ porous ຂອງ granite, ນໍາໄປສູ່ການ delamination ຫຼື cracking.ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຊຸ່ມຊື້ນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການຂາດໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງສາມາດທໍາລາຍອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ຖືກປຸງແຕ່ງຢູ່ເທິງພື້ນຜິວ granite.ເພື່ອປ້ອງກັນບັນຫາເຫຼົ່ານີ້, ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແຫ້ງແລ້ງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
ການເປີດເຜີຍສານເຄມີຍັງເປັນການພິຈາລະນາທີ່ສໍາຄັນໃນເວລາທີ່ນໍາໃຊ້ອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor.Granite ໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນທົນທານຕໍ່ກັບສານເຄມີສ່ວນໃຫຍ່, ແຕ່ສານລະລາຍບາງຊະນິດແລະອາຊິດສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ຫນ້າດິນຂອງມັນ.ຕົວແທນທໍາຄວາມສະອາດທົ່ວໄປເຊັ່ນ isopropyl ເຫຼົ້າຫຼືອາຊິດ hydrofluoric ສາມາດ etch ຫຼື corrode ພື້ນຜິວ granite, ນໍາໄປສູ່ການ roughness ດ້ານແລະຫຼຸດລົງ flatness.ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນບັນຫາເຫຼົ່ານີ້, ຄວນລະມັດລະວັງໃນເວລາທີ່ເລືອກຕົວແທນທໍາຄວາມສະອາດແລະຂັ້ນຕອນເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຂອງສານເຄມີ.
ປັດໄຈສິ່ງແວດລ້ອມອີກອັນຫນຶ່ງທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ແມ່ນການສັ່ນສະເທືອນ.ການສັ່ນສະເທືອນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດ microcracks ໃນພື້ນຜິວ granite, ນໍາໄປສູ່ການເສື່ອມສະພາບຂອງພື້ນຜິວ flatness.ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນ, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ຈະຕ້ອງດໍາເນີນຂັ້ນຕອນທີ່ເຫມາະສົມເຊັ່ນ: ການຕິດຕັ້ງລະບົບການແຍກການສັ່ນສະເທືອນແລະຫຼີກເວັ້ນການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ຈໍາເປັນຂອງອົງປະກອບ granite.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນໄດ້ຮັບອິດທິພົນຈາກປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມຕ່າງໆລວມທັງອຸນຫະພູມ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ການສໍາຜັດກັບສານເຄມີແລະການສັ່ນສະເທືອນ.ໂດຍການໃຊ້ມາດຕະການທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສໍາຜັດກັບປັດໃຈເຫຼົ່ານີ້, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະອາຍຸຍືນຂອງອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor.ດ້ວຍຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງລະມັດລະວັງຕໍ່ປັດໃຈສິ່ງແວດລ້ອມແລະການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ເຫມາະສົມ, ອົງປະກອບຂອງ granite ຈະສືບຕໍ່ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ເວລາປະກາດ: 08-08-2024