ມາດຕະຖານແລະຂໍ້ກໍາຫນົດສໍາລັບອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?

ອົງປະກອບຂອງ Granite ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມທົນທານສູງ. ພວກເຂົາເຈົ້າມີຄວາມຮັບຜິດຊອບໃນການຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອົງປະກອບ granite ແມ່ນຂຶ້ນກັບມາດຕະຖານແລະຂໍ້ກໍາຫນົດທີ່ຖືກຍຶດຫມັ້ນໃນລະຫວ່າງການອອກແບບ, ການຜະລິດແລະການຕິດຕັ້ງຂອງເຂົາເຈົ້າ.

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນບາງມາດຕະຖານແລະຂໍ້ກໍາຫນົດທີ່ຕ້ອງໄດ້ຮັບການປະຕິບັດຕາມໃນເວລາທີ່ການນໍາໃຊ້ອົງປະກອບ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor:

1. ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງວັດສະດຸ: ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງວັດສະດຸ granite ທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດອົງປະກອບຂອງ granite ຄວນປະມານ 2.65g / cm3. ນີ້ແມ່ນຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງວັດສະດຸ granite ທໍາມະຊາດ, ແລະມັນຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນຄຸນສົມບັດຂອງອົງປະກອບ granite.

2. Flatness: Flatness ແມ່ນຫນຶ່ງໃນຂໍ້ກໍານົດທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບອົງປະກອບ granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor. ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ granite ຄວນຕ່ໍາກວ່າ 0.001 ມມ / m2. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າຫນ້າດິນຂອງອົງປະກອບແມ່ນຮາບພຽງແລະລະດັບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

3. ການສໍາເລັດຮູບດ້ານ: ການສໍາເລັດຮູບດ້ານຂອງອົງປະກອບ granite ຄວນຈະມີຄຸນນະພາບສູງ, ມີຄວາມຫຍາບຂອງຫນ້າດິນຕ່ໍາກວ່າ 0.4µm. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າຫນ້າດິນຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງ friction, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການດໍາເນີນງານກ້ຽງຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

4. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ: ອຸປະກອນ semiconductor ເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະອົງປະກອບ granite ຄວນຈະສາມາດທົນທານຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມຮ້ອນໂດຍບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິ. ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor ຄວນຕໍ່າກວ່າ 2 x 10^-6 /°C.

5. ຄວາມທົນທານຕໍ່ມິຕິ: ຄວາມທົນທານຂອງມິຕິແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການປະຕິບັດອົງປະກອບຂອງ granite. ຄວາມທົນທານດ້ານມິຕິຂອງອົງປະກອບຂອງ granite ຄວນຢູ່ໃນ ± 0.1mm ສໍາລັບທຸກຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ.

6. ຄວາມແຂງແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ຄວາມແຂງແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແມ່ນຂໍ້ກໍາຫນົດທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບອົງປະກອບ granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor. Granite ມີຄວາມແຂງຂອງ Mohs Scale 6-7, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸປະກອນ semiconductor.

7. ປະສິດທິພາບ insulation: ອົງປະກອບ Granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor ຄວນຈະມີ insulation ປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຂອງອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າຄວນສູງກວ່າ 10^9 Ω/ຊມ.

8. ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ອົງປະກອບຂອງ Granite ຄວນທົນທານຕໍ່ກັບສານເຄມີທົ່ວໄປທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ເຊັ່ນອາຊິດແລະເປັນດ່າງ.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ມາດຕະຖານແລະຂໍ້ກໍາຫນົດສໍາລັບອົງປະກອບ granite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນອາຍຸຍືນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອົງປະກອບແລະອຸປະກອນທີ່ເຂົາເຈົ້າຖືກນໍາໃຊ້. ຄໍາແນະນໍາຂ້າງເທິງນີ້ຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດຕາມຢ່າງເຂັ້ມງວດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການອອກແບບ, fabrication, ແລະການຕິດຕັ້ງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າອົງປະກອບມີຄຸນນະພາບສູງສຸດ. ໂດຍການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານແລະຂໍ້ກໍາຫນົດເຫຼົ່ານີ້, ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດຮັບປະກັນວ່າການປະຕິບັດຂອງອຸປະກອນຂອງພວກເຂົາຍັງຄົງດີທີ່ສຸດ, ນໍາໄປສູ່ການເພີ່ມຜົນຜະລິດແລະກໍາໄລ.