Granite ແມ່ນຫຍັງທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນປຸງແຕ່ງ wafer?

Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ນິຍົມໃນອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງ wafer ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດກົນຈັກພິເສດແລະຄວາມທົນທານຂອງມັນ.ມັນເປັນຫີນທໍາມະຊາດທີ່ຖືກຂຸດຄົ້ນຈາກ quarries ໃນທົ່ວໂລກແລະໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບສັດຕະວັດແລ້ວສໍາລັບຈຸດປະສົງການກໍ່ສ້າງຕ່າງໆ, ລວມທັງການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor.ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາຈະປຶກສາຫາລືກ່ຽວກັບຄຸນສົມບັດຂອງ granite ແລະການນໍາໃຊ້ຕ່າງໆຂອງມັນໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer.

ຄຸນສົມບັດຂອງ Granite

ຫີນການິດແມ່ນເປັນຫີນທີ່ບໍ່ສະອາດທີ່ປະກອບດ້ວຍ mica, feldspar, ແລະ quartz.ມັນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມເຂັ້ມແຂງພິເສດ, ຄວາມແຂງ, ແລະຄວາມທົນທານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ.Granite ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າມັນບໍ່ຂະຫຍາຍຫຼືສັນຍາເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ.ນອກຈາກນັ້ນ, granite ແມ່ນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະສານເຄມີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Granite ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ Wafer

Granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາປຸງແຕ່ງ wafer ເນື່ອງຈາກການລວມກັນຂອງຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ.ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນບາງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ granite ໃນອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer:

1. ເຄື່ອງມື Metrology

Granite ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດເຄື່ອງມືວັດແທກ, ເຊັ່ນເຄື່ອງວັດແທກປະສານງານ (CMMs) ແລະລະບົບການວັດແທກ optical.ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ສາມາດຕ້ານການສັ່ນສະເທືອນແລະຄວາມຮ້ອນ.ຄວາມແຂງສູງແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງ granite ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກດັ່ງກ່າວ.

2. Wafer Chucks

chucks wafer ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຖື wafers ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜະລິດ.chucks ເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການພື້ນຜິວຮາບພຽງແລະຫມັ້ນຄົງເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ wafer ຈາກ warping ຫຼືງໍ.Granite ໃຫ້ພື້ນຜິວຮາບພຽງທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງແລະທົນທານຕໍ່ການ warping, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ດີເລີດສໍາລັບການ chucks wafer.

3. ເຄື່ອງມືຂັດເຄື່ອງກົນຈັກເຄມີ (CMP).

ເຄື່ອງມື CMP ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂັດ wafers ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ.ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການເວທີທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ສາມາດຕ້ານການສັ່ນສະເທືອນແລະຄວາມຮ້ອນ.ຄວາມແຂງແກ່ນທີ່ດີເລີດແລະການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງ granite ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບເຄື່ອງມື CMP.

4. ອຸປະກອນກວດກາ Wafer

ອຸປະກອນກວດກາ wafer ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກວດກາ wafers ສໍາລັບຂໍ້ບົກພ່ອງແລະຂໍ້ບົກພ່ອງ.ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຮາບພຽງເພື່ອຮັບປະກັນການວັດແທກທີ່ຖືກຕ້ອງ.Granite ໃຫ້ພື້ນຜິວທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຮາບພຽງທີ່ທົນທານຕໍ່ການ warping, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນການກວດກາ wafer.

ສະຫຼຸບ

ສະຫຼຸບແລ້ວ, granite ເປັນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງ wafer ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດກົນຈັກພິເສດແລະຄວາມທົນທານຂອງມັນ.ມັນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດເຄື່ອງມືວັດແທກ, chucks wafer, ເຄື່ອງມື CMP, ແລະອຸປະກອນການກວດກາ wafer.ການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄຸນສົມບັດເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ.ດ້ວຍຜົນປະໂຫຍດຫຼາຍຢ່າງຂອງມັນ, granite ຍັງຄົງເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສໍາລັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງ wafer, ແລະການນໍາໃຊ້ຂອງມັນມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວໃນອະນາຄົດ.