ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຖານ granite ໃນອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?

Granite ແມ່ນປະເພດຂອງຫີນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄວາມແຂງ, ທົນທານ, ແລະທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນໄດ້ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ນິຍົມສໍາລັບພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຖານ granite ແມ່ນຫນຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ຫນ້າສົນໃຈທີ່ສຸດ.

ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນຫມາຍເຖິງຄວາມສາມາດຂອງວັດສະດຸທີ່ຈະຕ້ານການປ່ຽນແປງໃນໂຄງສ້າງຂອງມັນໃນເວລາທີ່ສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມສູງ. ໃນສະພາບການຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນທີ່ພື້ນຖານມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງນັບຕັ້ງແຕ່ອຸປະກອນເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ. Granite ໄດ້ຖືກພົບເຫັນວ່າມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ມີຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE).

CTE ຂອງວັດສະດຸຫມາຍເຖິງຈໍານວນທີ່ຂະຫນາດຂອງມັນປ່ຽນແປງເມື່ອສໍາຜັດກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ. CTE ຕໍ່າຫມາຍຄວາມວ່າວັດສະດຸມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະ warp ຫຼື deform ຫນ້ອຍລົງໃນເວລາທີ່ສໍາຜັດກັບອຸນຫະພູມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນໂດຍສະເພາະສໍາລັບພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ເຊິ່ງຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຮາບພຽງຢູ່ເພື່ອຮັບປະກັນຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຖືກຕ້ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປສໍາລັບພື້ນຖານອຸປະກອນ semiconductor, ເຊັ່ນອາລູມິນຽມແລະສະແຕນເລດ, granite ມີ CTE ຕ່ໍາຫຼາຍ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນໂດຍບໍ່ມີການ warping ຫຼື deforming. ນອກຈາກນັ້ນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ຊ່ວຍໃຫ້ມັນສາມາດກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວ, ເຊິ່ງສາມາດຊ່ວຍຮັກສາອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ.

ປະໂຫຍດອີກອັນຫນຶ່ງຂອງການໃຊ້ granite ເປັນພື້ນຖານສໍາລັບອຸປະກອນ semiconductor ແມ່ນການຕໍ່ຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ. ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor ມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ, ເຊິ່ງສາມາດ corrode ແລະທໍາລາຍພື້ນຖານ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງ Granite ຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີຫມາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ກັບການສໍາຜັດກັບສານເຄມີເຫຼົ່ານີ້ໂດຍບໍ່ມີການຊຸດໂຊມ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບພື້ນຖານຂອງອຸປະກອນ semiconductor. CTE ຕ່ໍາຂອງມັນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສານເຄມີເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການນີ້. ໂດຍການນໍາໃຊ້ granite ເປັນພື້ນຖານ, ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນຂອງເຂົາເຈົ້າ, ເຮັດໃຫ້ຜະລິດຕະພັນມີຄຸນນະພາບສູງແລະປະສິດທິພາບເພີ່ມຂຶ້ນ.