ໃນມື້ນີ້, ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງໄວວາຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ການທົດສອບ IC, ເປັນການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສໍາຄັນເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດຂອງຊິບ, ຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາຜົນຜະລິດຂອງຊິບແລະການແຂ່ງຂັນຂອງອຸດສາຫະກໍາ. ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຜະລິດຊິບຍັງສືບຕໍ່ກ້າວໄປສູ່ 3nm, 2nm ແລະໂຫນດທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບອົງປະກອບຫຼັກໃນອຸປະກອນການທົດສອບ IC ແມ່ນມີຄວາມເຄັ່ງຄັດຫຼາຍຂຶ້ນ. ພື້ນຖານຫີນການິດ, ດ້ວຍຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກແລະຄວາມໄດ້ປຽບຂອງການປະຕິບັດ, ໄດ້ກາຍເປັນ "ຄູ່ຮ່ວມງານທອງ" ທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບອຸປະກອນການທົດສອບ IC. ເຫດຜົນດ້ານວິຊາການອັນໃດທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງນີ້?
I. "ບໍ່ສາມາດຮັບມືກັບ" ພື້ນຖານແບບດັ້ງເດີມ
ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການການທົດສອບ IC, ອຸປະກອນຈໍາເປັນຕ້ອງກວດສອບຢ່າງຊັດເຈນການປະຕິບັດໄຟຟ້າຂອງ pins chip, ຄວາມສົມບູນຂອງສັນຍານ, ແລະອື່ນໆໃນ nanoscale. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ພື້ນຖານໂລຫະແບບດັ້ງເດີມ (ເຊັ່ນ: ເຫລໍກແລະເຫລໍກ) ໄດ້ເປີດເຜີຍບັນຫາຫຼາຍຢ່າງໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ.
ໃນອີກດ້ານຫນຶ່ງ, ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸໂລຫະແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສູງ, ປົກກະຕິແລ້ວຂ້າງເທິງ 10 × 10⁻⁶ / ℃. ຄວາມຮ້ອນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນການທົດສອບ IC ຫຼືແມ້ກະທັ້ງການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນອຸນຫະພູມອາກາດລ້ອມຮອບສາມາດເຮັດໃຫ້ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນແລະການຫົດຕົວຂອງຖານໂລຫະ. ຕົວຢ່າງເຊັ່ນ, ພື້ນຖານເຫຼັກກ້າທີ່ມີຄວາມຍາວ 1 ແມັດສາມາດຂະຫຍາຍແລະເຮັດສັນຍາໄດ້ເຖິງ 100μmເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ 10 ℃. ການປ່ຽນແປງທາງມິຕິດັ່ງກ່າວແມ່ນພຽງພໍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ບໍ່ຖືກຕ້ອງໃນການທົດສອບ probe ກັບ pins ຊິບ, ເຮັດໃຫ້ມີການຕິດຕໍ່ທີ່ບໍ່ດີແລະເຮັດໃຫ້ການບິດເບືອນຂອງຂໍ້ມູນການທົດສອບຕໍ່ມາ.
ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການປະຕິບັດການປຽກຂອງພື້ນຖານໂລຫະແມ່ນບໍ່ດີ, ເຮັດໃຫ້ມັນຍາກທີ່ຈະບໍລິໂພກພະລັງງານສັ່ນສະເທືອນທີ່ຜະລິດໂດຍການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນ. ໃນສະຖານະການຂອງການທົດສອບສັນຍານຄວາມຖີ່ສູງ, micro-oscillation ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຈະແນະນໍາຈໍານວນສຽງຫຼາຍ, ເພີ່ມຄວາມຜິດພາດຂອງການທົດສອບຄວາມສົມບູນຂອງສັນຍານເພີ່ມຂຶ້ນຫຼາຍກ່ວາ 30%. ນອກຈາກນັ້ນ, ວັດສະດຸໂລຫະມີຄວາມອ່ອນໄຫວສະນະແມ່ເຫຼັກສູງແລະມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການ coupling ກັບສັນຍານໄຟຟ້າຂອງອຸປະກອນການທົດສອບ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍ eddy ໃນປັດຈຸບັນແລະຜົນກະທົບ hysteresis, ແຊກແຊງກັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກທີ່ຊັດເຈນ.
Ii. "ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Hardcore" ຂອງຖານຫີນ Granite
ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ, ວາງພື້ນຖານສໍາລັບການວັດແທກທີ່ຊັດເຈນ
Granite ແມ່ນສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໂດຍການປະສົມປະສານແຫນ້ນຂອງໄປເຊຍກັນແຮ່ທາດເຊັ່ນ quartz ແລະ feldspar ຜ່ານພັນທະບັດ ionic ແລະ covalent. ຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງມັນແມ່ນຕໍ່າທີ່ສຸດ, ພຽງແຕ່ 0.6-5 × 10⁻⁶ / ℃, ເຊິ່ງແມ່ນປະມານ 1/2-1/20 ຂອງວັດສະດຸໂລຫະ. ເຖິງແມ່ນວ່າອຸນຫະພູມມີການປ່ຽນແປງໂດຍ 10 ℃, ການຂະຫຍາຍແລະການຫົດຕົວຂອງພື້ນຖານ granite ຍາວ 1 ແມັດແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 50nm, ເກືອບຈະບັນລຸ "ສູນ deformation". ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງ granite ແມ່ນມີພຽງແຕ່ 2-3 W / (m · K), ເຊິ່ງແມ່ນຫນ້ອຍກວ່າ 1/20 ຂອງໂລຫະ. ມັນສາມາດປ້ອງກັນການນໍາຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ຮັກສາອຸນຫະພູມພື້ນຜິວຂອງພື້ນຖານທີ່ເປັນເອກະພາບ, ແລະຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງທົດສອບແລະຊິບສະເຫມີຮັກສາຕໍາແຫນ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຄົງທີ່.
2. ການສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ Super ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການທົດສອບທີ່ຫມັ້ນຄົງ
ຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງໄປເຊຍກັນທີ່ເປັນເອກະລັກແລະໂຄງສ້າງເລື່ອນຂອບເຂດຂອງເມັດພືດພາຍໃນ granite ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມສາມາດກະຈາຍພະລັງງານທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ມີອັດຕາສ່ວນການທໍາລາຍເຖິງ 0.3-0.5, ເຊິ່ງຫຼາຍກ່ວາຫົກເທົ່າຂອງຖານໂລຫະ. ຂໍ້ມູນການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພາຍໃຕ້ການສັ່ນສະເທືອນຂອງ 100Hz, ການຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຂອງຖານ granite ແມ່ນພຽງແຕ່ 0.1 ວິນາທີ, ໃນຂະນະທີ່ຂອງຖານເຫຼັກກ້າແມ່ນ 0.8 ວິນາທີ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າພື້ນຖານຂອງ granite ສາມາດສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເກີດຈາກການເລີ່ມຕົ້ນແລະປິດອຸປະກອນ, ຜົນກະທົບພາຍນອກ, ແລະອື່ນໆ, ແລະຄວບຄຸມຄວາມກວ້າງໃຫຍ່ຂອງການສັ່ນສະເທືອນຂອງເວທີການທົດສອບພາຍໃນ±1μm, ສະຫນອງການຮັບປະກັນທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການວາງຕໍາແຫນ່ງຂອງ probes nanoscale.
3. ຄຸນສົມບັດຕ້ານແມ່ເຫຼັກທໍາມະຊາດ, ກໍາຈັດການແຊກແຊງໄຟຟ້າ
Granite ເປັນວັດສະດຸ diamagnetic ທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວກັບແມ່ເຫຼັກປະມານ -10 ⁻⁵. ອິເລັກຕອນພາຍໃນມີຢູ່ໃນຄູ່ພາຍໃນພັນທະບັດເຄມີແລະເກືອບບໍ່ເຄີຍຂົ້ວໂດຍສະຫນາມແມ່ເຫຼັກພາຍນອກ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມສະຫນາມແມ່ເຫຼັກທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງ 10mT, ຄວາມເຂັ້ມຂອງສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ induced ຢູ່ດ້ານຂອງ granite ແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາ 0.001mT, ໃນຂະນະທີ່ວ່າຢູ່ໃນຫນ້າດິນຂອງທາດເຫຼັກສຽງໂຫວດທັງຫມົດແມ່ນສູງກວ່າ 8mT. ຄຸນສົມບັດຕ້ານແມ່ເຫຼັກທໍາມະຊາດນີ້ສາມາດສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການວັດແທກທີ່ບໍລິສຸດສໍາລັບອຸປະກອນການທົດສອບ IC, ປົກປ້ອງມັນຈາກການແຊກແຊງທາງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າພາຍນອກເຊັ່ນມໍເຕີໃນກອງປະຊຸມແລະສັນຍານ RF. ມັນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບສະຖານະການການທົດສອບທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວທີ່ສຸດຕໍ່ສິ່ງລົບກວນຂອງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ເຊັ່ນຊິບ quantum ແລະ ADCs / Dacs ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
ອັນທີສາມ, ການນໍາໃຊ້ພາກປະຕິບັດໄດ້ບັນລຸຜົນທີ່ຫນ້າສັງເກດ
ການປະຕິບັດຂອງວິສາຫະກິດ semiconductor ຈໍານວນຫລາຍໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນຢ່າງເຕັມສ່ວນມູນຄ່າຂອງພື້ນຖານ granite. ຫຼັງຈາກຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນການທົດສອບ semiconductor ທີ່ມີຊື່ສຽງໃນທົ່ວໂລກໄດ້ຮັບຮອງເອົາພື້ນຖານ granite ໃນເວທີການທົດສອບ chip 5G ລະດັບສູງຂອງຕົນ, ມັນບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ຫນ້າປະຫລາດໃຈ: ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງບັດ probe ເພີ່ມຂຶ້ນຈາກ ± 5μmເປັນ ±1μm, ຄວາມບິດເບືອນມາດຕະຖານຂອງຂໍ້ມູນການທົດສອບຫຼຸດລົງ 70%, ແລະອັດຕາການຕັດສິນທີ່ຜິດພາດຂອງການທົດສອບດຽວ 0.5%. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ຜົນກະທົບສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນແມ່ນຫນ້າສັງເກດ. ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວສາມາດເລີ່ມຕົ້ນການທົດສອບໄດ້ໂດຍບໍ່ຕ້ອງລໍຖ້າການສັ່ນສະເທືອນທີ່ຈະເສື່ອມໂຊມ, ເຮັດໃຫ້ວົງຈອນການທົດສອບດຽວສັ້ນລົງ 20% ແລະເພີ່ມກໍາລັງການຜະລິດປະຈໍາປີຫຼາຍກວ່າ 3 ລ້ານ wafers. ນອກຈາກນັ້ນ, ພື້ນຖານ granite ມີອາຍຸຫຼາຍກວ່າ 10 ປີແລະບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງມີການບໍາລຸງຮັກສາເລື້ອຍໆ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບພື້ນຖານໂລຫະ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໂດຍລວມຂອງມັນແມ່ນຫຼຸດລົງຫຼາຍກ່ວາ 50%.
ສີ່, ປັບຕົວເຂົ້າກັບທ່າອ່ຽງອຸດສາຫະກຳແລະນຳພາການຍົກລະດັບເຕັກໂນໂລຊີການທົດສອບ
ດ້ວຍການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວຫນ້າ (ເຊັ່ນ Chiplet) ແລະການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຂົງເຂດທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂື້ນເຊັ່ນຊິບຄອມພິວເຕີ້ quantum, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການປະຕິບັດອຸປະກອນໃນການທົດສອບ IC ຈະສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ. ພື້ນຖານຫີນການິດຍັງມີການປະດິດສ້າງແລະຍົກລະດັບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ໂດຍຜ່ານການປິ່ນປົວການເຄືອບຫນ້າດິນເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ຫຼືໂດຍການຜະສົມຜະສານກັບເຊລາມິກ piezoelectric ເພື່ອບັນລຸການຊົດເຊີຍການສັ່ນສະເທືອນຢ່າງຫ້າວຫັນແລະຄວາມກ້າວຫນ້າທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີອື່ນໆ, ພວກເຂົາກໍາລັງກ້າວໄປສູ່ທິດທາງທີ່ຊັດເຈນແລະສະຫລາດກວ່າ. ໃນອະນາຄົດ, ພື້ນຖານ granite ຈະສືບຕໍ່ປົກປ້ອງການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຢີຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະການພັດທະນາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຂອງ "ຊິບຈີນ" ດ້ວຍການປະຕິບັດທີ່ໂດດເດັ່ນ.
ການເລືອກພື້ນຖານ granite ຫມາຍຄວາມວ່າເລືອກການແກ້ໄຂການທົດສອບ IC ທີ່ຖືກຕ້ອງກວ່າ, ຫມັ້ນຄົງແລະມີປະສິດທິພາບ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການທົດສອບຊິບຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າໃນປະຈຸບັນຫຼືການຂຸດຄົ້ນໃນອະນາຄົດຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະ ໄໝ, ພື້ນຖານ granite ຈະມີບົດບາດທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ແລະມີຄວາມ ສຳ ຄັນຫຼາຍ.
ເວລາປະກາດ: 15-05-2025