ເປັນຫຍັງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດທີ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ອີງໃສ່ສູນຍາກາດລຸ້ນຕໍ່ໄປ?

ໃນການສະແຫວງຫາກົດໝາຍຂອງ Moore, ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳໄດ້ເຂົ້າສູ່ໂລກທີ່ຄວາມແມ່ນຍຳລະດັບປະລໍາມະນູເປັນມາດຕະຖານ, ບໍ່ແມ່ນຂໍ້ຍົກເວັ້ນ. ໃນຂະນະທີ່ພວກເຮົາຍູ້ໄປສູ່ໂຫນດຂະບວນການທີ່ນ້ອຍລົງເລື້ອຍໆ, ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແຜ່ນຊິລິໂຄນຖືກປຸງແຕ່ງໄດ້ກາຍເປັນສັດຕູຕໍ່ວັດສະດຸວິສະວະກຳແບບດັ້ງເດີມຢ່າງບໍ່ໜ້າເຊື່ອ. ໂດຍສະເພາະ, ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດສູງທີ່ໃຊ້ສຳລັບການວາງຊັ້ນວາງ ແລະ ການແກະສະຫຼັກຂັ້ນສູງ, ການເລືອກພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກບໍ່ພຽງແຕ່ກ່ຽວກັບນ້ຳໜັກ ແລະ ຄວາມແຂງແກ່ນເທົ່ານັ້ນ. ປະຈຸບັນ, ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຊັ້ນນຳຂອງໂລກກຳລັງຖາມຄຳຖາມທີ່ສຳຄັນ: ວັດສະດຸຂອງໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງພວກເຮົາມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສົມບູນຂອງສູນຍາກາດແນວໃດ? ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ຄວາມເໜືອກວ່າທາງດ້ານເຕັກນິກຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີພື້ນຖານແກຣນິດທີ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳຄໍາຮ້ອງສະຫມັກກາຍເປັນປັດໄຈທີ່ກໍານົດອຸດສາຫະກໍາ.

ປະກົດການການປ່ອຍອາຍພິດອອກ - ການປ່ອຍອາຍພິດທີ່ກັກຂັງຈາກວັດສະດຸແຂງ - ສາມາດເປັນໄພພິບັດໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ. ແມ່ນແຕ່ອະນຸພາກຂະໜາດຈຸລະພາກ ຫຼື ໂມເລກຸນອາຍແກັສກໍ່ສາມາດປົນເປື້ອນແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການສູນເສຍຜົນຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ວັດສະດຸປະສົມແບບດັ້ງເດີມ ຫຼື ໂລຫະທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວມັກຈະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສູນຍາກາດສູງ. ຫີນແກຣນິດສີດຳທຳມະຊາດ, ເມື່ອຜ່ານການປຸງແຕ່ງ ແລະ ທຳຄວາມສະອາດຢ່າງລະອຽດໂດຍຜູ້ຊ່ຽວຊານ, ສະເໜີຮູບແບບທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາຕາມທຳມະຊາດ. ສຳລັບກຸ່ມ ZHHIMG, ການຮັບປະກັນວ່າອົງປະກອບຫີນແກຣນິດຂອງພວກເຮົາຕອບສະໜອງມາດຕະຖານການປ່ອຍອາຍພິດອອກຕ່ຳເຫຼົ່ານີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການຄັດເລືອກທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງບ່ອນທີ່ພຽງແຕ່ຫີນທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງສຸດ ແລະ ມີຮູพรุนຕ່ຳສຸດເທົ່ານັ້ນທີ່ຖືກເລືອກສຳລັບການນຳໃຊ້ເຄິ່ງຕົວນຳ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າເວລາການຟື້ນຕົວຈາກສູນຍາກາດຖືກຫຼຸດຜ່ອນໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງສະພາບແວດລ້ອມການປຸງແຕ່ງຍັງຄົງຢູ່.

ນອກເໜືອໄປຈາກຄວາມສົມບູນຂອງສູນຍາກາດ, ບົດບາດຂອງພື້ນຖານໂຄງສ້າງໃນຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ໃນຂະນະທີ່ແຫຼ່ງກຳເນີດແສງປ່ຽນໄປສູ່ລັງສີອັນຕຣາໄວໂອເລັດທີ່ຮຸນແຮງ (EUV), ລະບົບການເຄື່ອນໄຫວທີ່ນຳເອົາແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ເສັ້ນໄຍຕ້ອງເຄື່ອນທີ່ດ້ວຍລະດັບຄວາມສອດຄ່ອງກັນທີ່ທ້າທາຍຂໍ້ຈຳກັດທາງກົນຈັກແບບດັ້ງເດີມ. Aເວທີຫີນແກຣນິດສຳລັບເຄື່ອງພິມແສງໃຫ້ລະນາບອ້າງອີງຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນ ເຊິ່ງຈຳເປັນສຳລັບຄວາມແມ່ນຍຳນີ້. ມວນສານພາຍໃນຂອງຫີນແກຣນິດເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວກອງຄວາມຖີ່ຕ່ຳ, ດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນຂອງພື້ນຄວາມຖີ່ສູງ ເຊິ່ງຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນຈະຖືກຂະຫຍາຍໂດຍຖັນແສງທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ຖ້າບໍ່ມີພື້ນຖານທີ່ໜັກ ແລະ ໝັ້ນຄົງນີ້, ການບັນລຸຄວາມແມ່ນຍຳຂອງການຊ້ອນກັນຂອງລະດັບ sub-nanometer ທີ່ຕ້ອງການສຳລັບໄມໂຄຣຊິບທີ່ທັນສະໄໝຈະເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ.

ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຍັງຄົງເປັນອຸປະສັກທີ່ສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ໃນລະຫວ່າງຊົ່ວໂມງຂອງການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກມໍເຕີເສັ້ນຊື່ຄວາມໄວສູງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນໃນຖານເຄື່ອງຈັກ. ໃນຂະນະທີ່ໂລຫະຂະຫຍາຍ ແລະ ຫົດຕົວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕາມການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ຫີນແກຣນິດມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ່ຳຫຼາຍ. ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິນີ້ຮັບປະກັນວ່າເວທີຫີນແກຣນິດສຳລັບເຄື່ອງພິມແສງຍັງຄົງສົມບູນແບບທາງດ້ານເລຂາຄະນິດເຖິງແມ່ນວ່າໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການຜະລິດທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນ. ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມີໄລຍະຫ່າງທີ່ຍາວນານກວ່າລະຫວ່າງການວັດແທກ, ເຊິ່ງແປໂດຍກົງວ່າເວລາເຮັດວຽກທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ກຳໄລທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບຜູ້ປະກອບການໂຮງງານໃນພາກພື້ນຕ່າງໆເຊັ່ນ Silicon Valley ແລະ ສູນກາງເຄິ່ງຕົວນຳຂອງເອີຣົບໃນ Dresden ແລະ Eindhoven.

ZHHIMG ໄດ້ສັງເກດເຫັນວ່າການເຊື່ອມໂຍງຂອງອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມເຂົ້າໃຈຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບໂປໂຕຄອນຫ້ອງສະອາດ. ມັນບໍ່ພຽງພໍທີ່ຈະສະໜອງຫີນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ; ມັນຕ້ອງ "ພ້ອມສໍາລັບຫ້ອງສະອາດ." ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າຫີນແກຣນິດຕ້ອງໄດ້ຮັບການປະຕິບັດເພື່ອປ້ອງກັນການຫຼົ່ນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຕ້ອງເຂົ້າກັນໄດ້ກັບນໍ້າຢາທໍາຄວາມສະອາດທີ່ຮຸນແຮງທີ່ໃຊ້ໃນສະຖານທີ່ເຄິ່ງຕົວນໍາ. ໂດຍການສຸມໃສ່ເຊມິຄອນດັກເຕີພື້ນຖານແກຣນິດທີ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳດ້ວຍວິທີແກ້ໄຂ, ZHHIMG ສະໜອງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນໂຄງສ້າງຮອງຮັບເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນອົງປະກອບທີ່ປະສົມປະສານຢ່າງຄົບຖ້ວນຂອງຍຸດທະສາດການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ. ວິທີການວິສະວະກຳແບບຮອບດ້ານນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ຜູ້ສະໜອງອຸດສາຫະກຳມາດຕະຖານແຕກຕ່າງຈາກຄູ່ຮ່ວມງານເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ຄວາມຊັບຊ້ອນຂອງເຄື່ອງມືການພິມດ້ວຍຫີນທີ່ທັນສະໄໝຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຮູບຮ່າງພາຍໃນທີ່ສັບສົນພາຍໃນຫີນແກຣນິດເອງ. ຕັ້ງແຕ່ຊ່ອງທາງການຈັດການສາຍໄຟທີ່ສັບສົນຈົນເຖິງໜ້າດິນທີ່ຮັບອາກາດແບບປະສົມປະສານ, ການຜະລິດເວທີຫີນແກຣນິດສຳລັບເຄື່ອງພິມແສງກ່ຽວຂ້ອງກັບການເຄື່ອງຈັກ CNC ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຫຼາຍຮ້ອຍຊົ່ວໂມງ ຕາມດ້ວຍການຂັດດ້ວຍມືຢ່າງລະອຽດ. ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາບັນລຸຄວາມຫຍາບຄາຍຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮາບພຽງ ທີ່ເຄີຍຄິດວ່າເປັນໄປບໍ່ໄດ້ສຳລັບຫີນທຳມະຊາດ. ການປະສົມປະສານຂອງວັດສະດຸບູຮານ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີແຫ່ງອະນາຄົດນີ້ແມ່ນພື້ນຖານທີ່ໂລກດິຈິຕອນຖືກສ້າງຂຶ້ນ, ສະໜັບສະໜູນເຊັນເຊີ, ໂປເຊດເຊີ ແລະ ຊິບໜ່ວຍຄວາມຈຳທີ່ເປັນພະລັງງານໃຫ້ແກ່ເສດຖະກິດໂລກຂອງພວກເຮົາ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳຍັງສືບຕໍ່ກ້າວໄປສູ່ຍຸກຂອງຊິບປະມວນຜົນຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ 1nm ຢ່າງບໍ່ຢຸດຢັ້ງ, ຄວາມສຳຄັນຂອງພື້ນຖານວັດສະດຸບໍ່ສາມາດເວົ້າເກີນຈິງໄດ້. ເຄື່ອງຈັກມີຄວາມສາມາດເທົ່າກັບພື້ນຖານທີ່ມັນຢືນຢູ່. ໂດຍການໃຫ້ຄວາມສຳຄັນກັບເຊມິຄອນດັກເຕີພື້ນຖານແກຣນິດທີ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳພື້ນຖານ ແລະ ການລົງທຶນໃນຄຸນນະພາບສູງສຸດເວທີຫີນແກຣນິດສຳລັບເຄື່ອງພິມແສງຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ, ສ່ວນປະກອບຕ່າງໆ ກຳລັງຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບທົດສະວັດຕໍ່ໄປຂອງນະວັດຕະກຳ. ກຸ່ມບໍລິສັດ ZHHIMG ຍັງຄົງມຸ່ງໝັ້ນທີ່ຈະຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ໂດຍຮັບປະກັນວ່າພື້ນຖານຂອງອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳຍັງຄົງແຂງແກ່ນ ແລະ ຊັດເຈນຄືກັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມັນສະໜັບສະໜູນ.