ເປັນຫຍັງຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນໂຮງງານຈຶ່ງກາຍເປັນພື້ນຖານທີ່ສຳຄັນຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຂະໜາດຍ່ອຍນາໂນແມັດ?

ໃນຫ້ອງທີ່ງຽບທີ່ສຸດໃນໂລກ - ໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ - ການສູ້ຮົບທີ່ງຽບສະຫງົບກຳລັງດຳເນີນຢູ່ກັບສັດຕູທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນ: ການສັ່ນສະເທືອນ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳຈຸລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກທົ່ວໂລກກ້າວໄປສູ່ຂີດຈຳກັດປະຕູທາງເຫດຜົນຂອງ 2nm ແລະສູງກວ່ານັ້ນ, ຄວາມອົດທົນຕໍ່ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງທາງກົນຈັກໄດ້ຫາຍໄປເກືອບໝົດແລ້ວ. ພາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນ ແລະ ຄວບຄຸມສູງເຫຼົ່ານີ້, ປະສິດທິພາບຂອງເຄື່ອງມືການພິມດ້ວຍຫີນ ຫຼື ເຄື່ອງມືວັດແທກທີ່ມີມູນຄ່າຫຼາຍລ້ານໂດລາແມ່ນຜູກມັດກັບພື້ນຖານທີ່ມັນຢືນຢູ່. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນສຳລັບໂຮງງານພື້ນຖານໂຄງລ່າງໄດ້ພັດທະນາຈາກຂໍ້ກຳນົດດ້ານຄວາມຫລູຫລາໄປສູ່ຄວາມຈຳເປັນພື້ນຖານສຳລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຜົນຜະລິດ.

ລະບົບແຍກການສັ່ນສະເທືອນແບບດັ້ງເດີມມັກຈະສຸມໃສ່ແບຣິ່ງອາກາດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ ຫຼື ການດູດຊຶມເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ສັບສົນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ນັກວິທະຍາສາດດ້ານວິສະວະກຳທີ່ຊັບຊ້ອນທີ່ສຸດໃນເອີຣົບ ແລະ ອາເມລິກາເໜືອຮັບຮູ້ວ່າລະບົບທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວມີປະສິດທິພາບເທົ່າກັບຄວາມໝັ້ນຄົງແບບ passive ຂອງພື້ນຖານຂອງມັນ. ຫີນແກຣນິດທຳມະຊາດ, ໂດຍສະເພາະເມື່ອປຸງແຕ່ງເປັນມາດຕະຖານແຜ່ນໜ້າດິນຫີນແກຣນິດຊັ້ນ semiconductor, ມີຄວາມໜາແໜ້ນຂອງໂມເລກຸນພາຍໃນທີ່ວັດສະດຸສັງເຄາະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການສຳເນົາ. ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງຊັ້ນ gabbro ແລະ granite ທີ່ ZHHIMG ເລືອກເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວກອງ low-pass ທຳມະຊາດ, ດູດຊຶມພະລັງງານສຽງຄວາມຖີ່ສູງກ່ອນທີ່ມັນຈະສາມາດແປເປັນການຍ້າຍປາຍເຄື່ອງມື.

ເມື່ອພວກເຮົາສົນທະນາກ່ຽວກັບແຜ່ນໜ້າດິນຫີນແກຣນິດຊັ້ນ semiconductor, ພວກເຮົາກຳລັງອ້າງອີງເຖິງລະດັບຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ເກີນກວ່າມາດຕະຖານການວັດແທກອຸດສາຫະກຳ. ໃນກອງປະຊຸມທົ່ວໄປ, ແຜ່ນ Grade 00 ອາດຈະພຽງພໍສຳລັບການກວດສອບຊິ້ນສ່ວນກົນຈັກ. ໃນສະພາບການຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ, ວິສະວະກອນ ZHHIMG ຕ້ອງຄຳນຶງເຖິງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງປະລິມານ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພື້ນຜິວ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງເມັດພືດໃນໄລຍະຍາວ. ການປ່ຽນແປງທາງຈຸລະທັດໃດໆໃນຫີນໃນໄລຍະຫ້າປີອາດຈະນຳໄປສູ່ການສູນເສຍຈຸດສຸມຢ່າງຮ້າຍແຮງໃນເຄື່ອງສະແກນ EUV (Extreme Ultraviolet). ດັ່ງນັ້ນ, ການປະມວນຜົນຂອງພວກເຮົາກ່ຽວຂ້ອງກັບໄລຍະເວລາການບັນເທົາຄວາມກົດດັນທີ່ເຂັ້ມງວດ, ຊ່ວຍໃຫ້ຫີນບັນລຸສະພາບສົມດຸນທາງທໍລະນີສາດກ່ອນທີ່ການຂັດຄວາມແມ່ນຍຳສຸດທ້າຍຈະເລີ່ມຕົ້ນ.

ຄວາມສຳຄັນຂອງຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນສຳລັບໂຮງງານການນໍາໃຊ້ໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍອອກໄປຕື່ມອີກໂດຍຄວາມຕ້ອງການຜົນຜະລິດທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຂອງການປະມວນຜົນເວເຟີທີ່ທັນສະໄໝ. ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ຄວາມໄວສູງ, ເຊິ່ງເຄື່ອນຍ້າຍຂັ້ນຕອນເວເຟີດ້ວຍຄວາມເລັ່ງທີ່ບໍ່ໜ້າເຊື່ອ, ສ້າງແຮງປະຕິກິລິຍາທີ່ສໍາຄັນ. ຖ້າບໍ່ມີພື້ນຖານຂະໜາດໃຫຍ່, ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນ, ແຮງເຫຼົ່ານີ້ສ້າງການສັ່ນສະເທືອນທີ່ຍັງເຫຼືອທີ່ຕ້ອງການ "ເວລາຕົກຕະກອນ" ລະຫວ່າງການວັດແທກ. ໂດຍການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດວິທີແກ້ໄຂຫີນແກຣນິດມວນສູງ ZHHIMG, ຜູ້ປະຕິບັດງານ fab ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນເວລາຕົກຕະກອນນີ້ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ໂດຍກົງແປເປັນເວເຟີຫຼາຍຂຶ້ນຕໍ່ຊົ່ວໂມງ ແລະ ຕົ້ນທຶນການເປັນເຈົ້າຂອງທັງໝົດທີ່ຕໍ່າກວ່າ.

ປັດໄຈສິ່ງແວດລ້ອມພາຍໃນໂຮງງານຍັງມີບົດບາດສຳຄັນໃນການເລືອກວັດສະດຸ. ຫ້ອງສະອາດແມ່ນລະບົບນິເວດທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງບ່ອນທີ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ບໍ່ວ່າຈະເລັກນ້ອຍ, ສາມາດເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸຂະຫຍາຍຫຼືຫົດຕົວໄດ້. ZHHIMG'sແຜ່ນໜ້າດິນຫີນແກຣນິດຊັ້ນ semiconductorຜະລິດຕະພັນຕ່າງໆຖືກເລືອກຍ້ອນຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ. ເມື່ອລວມເຂົ້າກັບເທັກໂນໂລຢີຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນແບບປະສົມປະສານຂອງພວກເຮົາ, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດເຫຼົ່ານີ້ໃຫ້ເວທີທີ່ບໍ່ປ່ຽນແປງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຮັກສາຄວາມຮາບພຽງຂອງມັນໄວ້ໂດຍບໍ່ຄໍານຶງເຖິງຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ຢູ່ຂ້າງເທິງມັນ.

ເມື່ອພິຈາລະນາເຖິງຂອບເຂດອຸດສາຫະກໍາທີ່ກວ້າງຂວາງ, ການຫັນປ່ຽນໄປສູ່ຂະໜາດເວເຟີ 300 ມມ ແລະ ຂະໜາດ 450 ມມ ທີ່ຕ້ອງການອົງປະກອບໂຄງສ້າງທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ ແລະ ໝັ້ນຄົງກວ່າ. ຂະໜາດນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງສິ່ງທ້າທາຍດ້ານວິສະວະກໍາທີ່ເປັນເອກະລັກ: ການຮັກສາຄວາມຮາບພຽງຢ່າງແທ້ຈິງໃນພື້ນທີ່ພື້ນຜິວທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ ໃນຂະນະທີ່ຮັບປະກັນວ່າຫີນຍັງຄົງ "ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນ." ZHHIMG ໄດ້ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ໂດຍການລົງທຶນໃນເຄື່ອງຈັກບົດ ແລະ ຂັດ CNC ຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ສ້າງຂຶ້ນເອງ ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານໃນລະດັບໄມຄຣອນໃນທົ່ວຫີນຫຼາຍແມັດ. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນວ່າ ເມື່ອອຸປະກອນການຜະລິດມີຂະໜາດໃຫຍ່ຂຶ້ນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພື້ນຖານຈະບໍ່ຫຼຸດລົງ.

ນອກເໜືອໄປຈາກຮາດແວ, ປັດຊະຍາຂອງ ZHHIMG ແມ່ນມີຮາກຖານຢູ່ໃນຄວາມໂປ່ງໃສດ້ານເຕັກນິກ ແລະ ວິສະວະກຳຮ່ວມມື. ພວກເຮົາເຂົ້າໃຈວ່າສຳລັບ OEM (ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນຕົ້ນສະບັບ) ໃນສະຫະລັດ ຫຼື ສະຫະພາບເອີຣົບ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າກັບຄວາມຮາບພຽງຂອງຫີນ. ເອກະສານຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງພວກເຮົາໃຫ້ “ໃບຢັ້ງຢືນການເກີດ” ທີ່ຄົບຖ້ວນສຳລັບທຸກໆຊິ້ນສ່ວນຂອງຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນສຳລັບໂຮງງານການຈັດສົ່ງ, ລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບຕົ້ນກຳເນີດຂອງຫີນ, ສ່ວນປະກອບຂອງແຮ່ທາດ, ແລະ ຜົນການທົດສອບດ້ວຍຄື້ນສຽງ. ລະດັບຄວາມເຂັ້ມງວດນີ້ຮັບປະກັນວ່າເມື່ອຕິດຕັ້ງຖານ ZHHIMG, ມັນຈະກາຍເປັນອົງປະກອບທີ່ຖາວອນ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືຂອງມໍລະດົກຂອງໂຮງງານ.

ໃນຂະນະທີ່ປັນຍາປະດິດ ແລະ ການປະມວນຜົນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຊຸກຍູ້ໃຫ້ເກີດຄື້ນໃໝ່ຂອງການລົງທຶນໃນເຄິ່ງຕົວນຳ, ການສະແຫວງຫາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ “ນິ້ງສະຫງົບຢ່າງສົມບູນແບບ” ຍັງສືບຕໍ່ດຳເນີນຕໍ່ໄປ. ZHHIMG ຍັງຄົງອຸທິດຕົນໃຫ້ກັບການສະແຫວງຫານີ້, ປັບປຸງສິລະປະການວັດແທກຫີນເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມທ້າທາຍຂອງໂຄງສ້າງນາໂນໃນມື້ອື່ນ. ພວກເຮົາເຊື່ອວ່າອະນາຄົດຂອງເທັກໂນໂລຢີແມ່ນສ້າງຂຶ້ນບົນພື້ນຖານທີ່ແຂງແກ່ນ, ແລະ ພວກເຮົາມີຄວາມພູມໃຈທີ່ໄດ້ສະໜອງວິທີແກ້ໄຂແຜ່ນໜ້າດິນແກຣນິດຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ໝັ້ນຄົງທີ່ສຸດໃຫ້ແກ່ສະຖາປະນິກໃນຍຸກດິຈິຕອນ.

ການປະສົມປະສານຂອງຫີນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ ZHHIMG ເຂົ້າໃນສະຖານທີ່ແມ່ນຫຼາຍກວ່າທາງເລືອກດ້ານໂຄງສ້າງ - ມັນແມ່ນຄໍາໝັ້ນສັນຍາຕໍ່ມາດຕະຖານສູງສຸດທີ່ເປັນໄປໄດ້ຂອງການວັດແທກທາງກາຍະພາບ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາມຸ່ງໄປສູ່ທົດສະວັດຕໍ່ໄປຂອງນະວັດຕະກໍາ, ການປະກົດຕົວທີ່ງຽບສະຫງົບ ແລະ ບໍ່ສັ່ນຄອນຂອງຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຈະຍັງຄົງເປັນວິລະຊົນທີ່ງຽບສະຫງົບຂອງຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ປະສົບຜົນສໍາເລັດທຸກຢ່າງ.