ເປັນຫຍັງພື້ນຜິວແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຈຶ່ງເປັນທາງເລືອກສໍາລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງ: ອະທິບາຍລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບປະສິດທິພາບທາງແສງ ແລະ ກົນຈັກທີ່ສໍາຄັນ 5 ຢ່າງ

ໃນຂົງເຂດຂອງລະບົບ optical ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ - ຕັ້ງແຕ່ອຸປະກອນການພິມດ້ວຍຫີນຈົນເຖິງເຄື່ອງ interferometers ເລເຊີ - ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນຈະກໍານົດປະສິດທິພາບຂອງລະບົບ. ການເລືອກວັດສະດຸພື້ນຖານສໍາລັບເວທີການຈັດລຽນແບບ optical ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນທາງເລືອກຂອງຄວາມພ້ອມເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງເປັນການຕັດສິນໃຈດ້ານວິສະວະກໍາທີ່ສໍາຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການວັດແທກ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ. ການວິເຄາະນີ້ກວດສອບຂໍ້ກໍານົດທີ່ສໍາຄັນຫ້າຢ່າງທີ່ເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາເປັນທາງເລືອກທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບ optical, ໂດຍໄດ້ຮັບການສະໜັບສະໜູນຈາກຂໍ້ມູນດ້ານປະລິມານ ແລະ ການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງອຸດສາຫະກໍາ.

ບົດນຳ: ບົດບາດສຳຄັນຂອງວັດສະດຸພື້ນຜິວໃນການຈັດລຽນແບບແສງ

ລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີວັດສະດຸທີ່ຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິທີ່ໂດດເດັ່ນ ໃນຂະນະທີ່ໃຫ້ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງທີ່ດີກວ່າ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການຈັດລຽນອົງປະກອບໂຟໂຕນິກໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດແບບອັດຕະໂນມັດ ຫຼື ການຮັກສາໜ້າດິນອ້າງອີງແບບອິນເຕີເຟໂຣເມຕຣິກໃນຫ້ອງທົດລອງວັດແທກວິທະຍາ, ວັດສະດຸພື້ນຖານຕ້ອງສະແດງພຶດຕິກຳທີ່ສອດຄ່ອງກັນພາຍໃຕ້ການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ, ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ສິ່ງທ້າທາຍພື້ນຖານ:
ພິຈາລະນາສະຖານະການການຈັດລຽນແບບ optical ທົ່ວໄປ: ການຈັດລຽນເສັ້ນໄຍ optical ໃນລະບົບປະກອບ photonics ຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງພາຍໃນ ±50 nm. ດ້ວຍສຳປະສິດຄວາມຮ້ອນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວ (CTE) ຂອງ 7.2 × 10⁻⁶ /K (ປົກກະຕິຂອງອາລູມິນຽມ), ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມພຽງແຕ່ 1°C ໃນທົ່ວຊັ້ນຮອງພື້ນ 100 ມມ ເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງມິຕິຂອງ 720 nm—ຫຼາຍກວ່າ 14 ເທົ່າຂອງຄວາມທົນທານຂອງການຈັດລຽນທີ່ຕ້ອງການ. ການຄິດໄລ່ງ່າຍໆນີ້ເນັ້ນໃຫ້ເຫັນວ່າເປັນຫຍັງການເລືອກວັດສະດຸບໍ່ແມ່ນຄວາມຄິດທີ່ຄິດພາຍຫຼັງ ແຕ່ເປັນຕົວກຳນົດການອອກແບບພື້ນຖານ.

ລາຍລະອຽດ 1: ການສົ່ງຜ່ານແສງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງສະເປກຕຣຳ

ພາລາມິເຕີ: ການສົ່ງຜ່ານ >92% ໃນຊ່ວງຄວາມຍາວຄື່ນທີ່ລະບຸໄວ້ (ໂດຍປົກກະຕິ 400-2500 nm) ດ້ວຍຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ Ra ≤ 0.5 nm.
ເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງສຳຄັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນ:
ການສົ່ງຜ່ານແສງມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາສ່ວນສັນຍານຕໍ່ສຽງລົບກວນ (SNR) ຂອງລະບົບການຈັດລຽນແບບ. ໃນຂະບວນການຈັດລຽນແບບທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ເຄື່ອງວັດແທກພະລັງງານແສງ ຫຼື ເຄື່ອງກວດຈັບແສງວັດແທກການສົ່ງຜ່ານລະບົບເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການວາງຕຳແໜ່ງຂອງອົງປະກອບ. ການສົ່ງຜ່ານແສງຂອງຊັ້ນວາງທີ່ສູງຂຶ້ນເພີ່ມຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາການຈັດລຽນແບບ.
ຜົນກະທົບດ້ານປະລິມານ:
ສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງທີ່ໃຊ້ການຈັດລຽນແບບສົ່ງຜ່ານ (ບ່ອນທີ່ລຳແສງຈັດລຽນຜ່ານຊັ້ນວາງ), ທຸກໆການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງການສົ່ງຜ່ານ 1% ສາມາດຫຼຸດເວລາຮອບວຽນການຈັດລຽນໄດ້ 3-5%. ໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດແບບອັດຕະໂນມັດທີ່ປະລິມານການຜະລິດຖືກວັດແທກເປັນສ່ວນຕໍ່ນາທີ, ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າຜົນຜະລິດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ການປຽບທຽບວັດສະດຸ:
ວັດສະດຸ ການສົ່ງຜ່ານທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ (400-700 nm) ການສົ່ງຜ່ານແສງໃກ້ອິນຟາເຣດ (700-2500 nm) ຄວາມສາມາດໃນການຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ
N-BK7 >95% >95% Ra ≤ 0.5 ນາໂນແມັດ
ຊິລິກາປະສົມ >95% >95% Ra ≤ 0.3 ນາໂນແມັດ
Borofloat®33 ~92% ~90% Ra ≤ 1.0 ນາໂນແມັດ
AF 32® ອີໂຄ ~93% >93% Ra < 1.0 nm RMS
ເຊໂຣດູຣ® N/A (ບໍ່ໂປ່ງໃສໃນທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້) ບໍ່ມີຂໍ້ມູນ Ra ≤ 0.5 ນາໂນແມັດ

ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ ແລະ ການກະແຈກກະຈາຍ:

ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວມີຄວາມສຳພັນໂດຍກົງກັບການສູນເສຍການກະແຈກກະຈາຍ. ອີງຕາມທິດສະດີການກະແຈກກະຈາຍຂອງ Rayleigh, ການສູນເສຍການກະແຈກກະຈາຍຈະປັບຂະໜາດດ້ວຍກຳລັງທີຫົກຂອງຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທຽບກັບຄວາມຍາວຄື້ນ. ສຳລັບລຳແສງເລເຊີ HeNe 632.8 nm, ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວຈາກ Ra = 1.0 nm ເປັນ Ra = 0.5 nm ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂອງແສງທີ່ກະແຈກກະຈາຍໄດ້ 64%, ເຊິ່ງປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ການນຳໃຊ້ໃນໂລກຕົວຈິງ:
ໃນລະບົບການຈັດລຽນໂຟໂຕນິກລະດັບເວເຟີ, ການນໍາໃຊ້ຊັ້ນຊິລິກາທີ່ປະສົມດ້ວຍພື້ນຜິວ Ra ≤ 0.3 nm ຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນດີກ່ວາ 20 nm, ເຊິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບອຸປະກອນໂຟໂຕນິກຊິລິກອນທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງພາກສະໜາມໂໝດຕໍ່າກວ່າ 10 μm.

ລາຍລະອຽດ 2: ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ

ພາລາມິເຕີ: ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ ≤ λ/20 ທີ່ 632.8 nm (ປະມານ 32 nm PV) ດ້ວຍຄວາມໜາສະໝໍ່າສະເໝີ ±0.01 ມມ ຫຼື ດີກວ່າ.
ເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງສຳຄັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນ:
ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວແມ່ນຂໍ້ກຳນົດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນການຈັດລຽນ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບລະບົບແສງສະທ້ອນ ແລະ ການນຳໃຊ້ແບບອິນເຕີເຟໂຣເມຕຣິກ. ຄວາມແຕກຕ່າງຈາກຄວາມຮາບພຽງເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດຂອງໜ້າຄື່ນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນ ແລະ ຄວາມແນ່ນອນຂອງການວັດແທກ.
ຂໍ້ກຳນົດດ້ານຟີຊິກຂອງຄວາມຮາບພຽງ:
ສຳລັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່ເລເຊີທີ່ມີເລເຊີ HeNe 632.8 nm, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ λ/4 (158 nm) ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດຂອງໜ້າຄື່ນເຄິ່ງໜຶ່ງຂອງຄື້ນ (ສອງເທົ່າຂອງຄວາມບ່ຽງເບນຂອງພື້ນຜິວ) ທີ່ຈຸດເກີດສັນຍານປົກກະຕິ. ສິ່ງນີ້ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກເກີນ 100 nm—ບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍຳ.
ການຈັດປະເພດຕາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:
ຂໍ້ກຳນົດກ່ຽວກັບຄວາມຮາບພຽງ ຊັ້ນຮຽນແອັບພລິເຄຊັນ ກໍລະນີການນຳໃຊ້ທົ່ວໄປ
≥1λ ຊັ້ນການຄ້າ ການສ່ອງສະຫວ່າງທົ່ວໄປ, ການຈັດລຽງທີ່ບໍ່ສຳຄັນ
λ/4 ເກຣດການເຮັດວຽກ ເລເຊີພະລັງງານຕ່ຳ-ກາງ, ລະບົບການຖ່າຍພາບ
≤λ/10 ເກຣດຄວາມແມ່ນຍໍາ ເລເຊີພະລັງງານສູງ, ລະບົບວັດແທກ
≤λ/20 ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ການແຊກແຊງ, ການພິມດ້ວຍຫີນ, ການປະກອບໂຟໂຕນິກ

ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານການຜະລິດ:

ການບັນລຸຄວາມຮາບພຽງ λ/20 ໃນທົ່ວວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່ (200 ມມ+) ເຮັດໃຫ້ເກີດສິ່ງທ້າທາຍໃນການຜະລິດທີ່ສຳຄັນ. ຄວາມສຳພັນລະຫວ່າງຂະໜາດຂອງວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງທີ່ສາມາດບັນລຸໄດ້ແມ່ນປະຕິບັດຕາມກົດໝາຍກຳລັງສອງ: ສຳລັບຄຸນນະພາບການປະມວນຜົນດຽວກັນ, ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງຈະປັບຂະໜາດປະມານກັບກຳລັງສອງຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງ. ການເພີ່ມຂະໜາດຂອງວັດສະດຸສອງເທົ່າຈາກ 100 ມມ ເປັນ 200 ມມ ສາມາດເພີ່ມການປ່ຽນແປງຄວາມຮາບພຽງໄດ້ 4 ເທົ່າ.
ກໍລະນີໃນໂລກຕົວຈິງ:
ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນການພິມດ້ວຍຫີນໃນເບື້ອງຕົ້ນໄດ້ໃຊ້ວັດສະດຸແກ້ວ borosilicate ທີ່ມີຄວາມຮາບພຽງ λ/4 ສຳລັບຂັ້ນຕອນການຈັດລຽນໜ້າກາກ. ເມື່ອປ່ຽນໄປໃຊ້ການພິມດ້ວຍຫີນແບບຈຸ່ມ 193 nm ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການການຈັດລຽນຕ່ຳກວ່າ 30 nm, ພວກເຂົາໄດ້ຍົກລະດັບໄປໃຊ້ວັດສະດຸຊິລິກາປະສົມທີ່ມີຄວາມຮາບພຽງ λ/20. ຜົນໄດ້ຮັບ: ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນໄດ້ດີຂຶ້ນຈາກ ±80 nm ເປັນ ±25 nm, ແລະອັດຕາການຜິດປົກກະຕິຫຼຸດລົງ 67%.
ສະຖຽນລະພາບຕາມການເວລາ:
ຄວາມລຽບຂອງພື້ນຜິວບໍ່ພຽງແຕ່ຕ້ອງບັນລຸໄດ້ໃນເບື້ອງຕົ້ນເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຕ້ອງຮັກສາໄວ້ຕະຫຼອດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງສ່ວນປະກອບ. ຊັ້ນຮອງພື້ນແກ້ວສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວທີ່ດີເລີດ ໂດຍມີການປ່ຽນແປງຄວາມລຽບໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະໜ້ອຍກວ່າ λ/100 ຕໍ່ປີພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຫ້ອງທົດລອງປົກກະຕິ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຊັ້ນຮອງພື້ນໂລຫະສາມາດສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການຜ່ອນຄາຍຄວາມກົດດັນ ແລະ ການຄ່ອຍໆຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມລຽບເສື່ອມລົງໃນໄລຍະເວລາຫຼາຍເດືອນ.

ລາຍລະອຽດ 3: ຄ່າສຳປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ

ພາລາມິເຕີ: CTE ຕັ້ງແຕ່ໃກ້ສູນ (±0.05 × 10⁻⁶/K) ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ຈົນເຖິງ 3.2 × 10⁻⁶/K ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ກົງກັບຊິລິໂຄນ.
ເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງສຳຄັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນ:
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນເປັນຕົວແທນຂອງແຫຼ່ງທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດຂອງຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິໃນລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງ. ວັດສະດຸພື້ນຜິວຕ້ອງມີການປ່ຽນແປງດ້ານມິຕິໜ້ອຍທີ່ສຸດພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ, ວົງຈອນສິ່ງແວດລ້ອມ, ຫຼືຂະບວນການຜະລິດ.
ສິ່ງທ້າທາຍການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ:
ສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ມີຄວາມໜາ 200 ມມ:
CTE (×10⁻⁶/K) ການປ່ຽນແປງມິຕິຕໍ່°C ການປ່ຽນແປງມິຕິຕໍ່ການປ່ຽນແປງ 5°C
23 (ອາລູມິນຽມ) 4.6 ໄມໂຄຣມ 23 ໄມໂຄຣມ
7.2 (ເຫຼັກກ້າ) 1.44 ໄມໂຄຣມ 7.2 ໄມໂຄຣມ
3.2 (AF 32® eco) 0.64 ໄມໂຄຣມ 3.2 ໄມໂຄຣມ
0.05 (ULE®) 0.01 ໄມໂຄຣມ 0.05 ໄມໂຄຣມ
0.007 (ເຊໂຣດູຣ®) 0.0014 ໄມໂຄຣມ 0.007 ໄມໂຄຣມ

ຫ້ອງຮຽນວັດສະດຸຕາມ CTE:

ແກ້ວຂະຫຍາຍຕໍ່າຫຼາຍ (ULE®, Zerodur®):
  • CTE: 0 ± 0.05 × 10⁻⁶/K (ULE) ຫຼື 0 ± 0.007 × 10⁻⁶/K (Zerodur)
  • ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ການແຊກແຊງຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສຸດ, ກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດ, ກະຈົກອ້າງອີງການພິມດ້ວຍຫີນ
  • ການແລກປ່ຽນ: ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການສົ່ງສັນຍານທາງແສງທີ່ຈຳກັດໃນສະເປກຕຣຳທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້
  • ຕົວຢ່າງ: ຊັ້ນຮອງພື້ນກະຈົກຫຼັກຂອງກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດຮັບເບີລໃຊ້ແກ້ວ ULE ທີ່ມີ CTE < 0.01 × 10⁻⁶/K
Silicon-Matching Glass (AF 32® eco):
  • CTE: 3.2 × 10⁻⁶/K (ກົງກັບຊິລິໂຄນ 3.4 × 10⁻⁶/K)
  • ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ການຫຸ້ມຫໍ່ MEMS, ການເຊື່ອມໂຍງໂຟໂຕນິກຊິລິກອນ, ການທົດສອບເຄິ່ງຕົວນໍາ
  • ຂໍ້ໄດ້ປຽບ: ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນໃນການປະກອບທີ່ຜູກມັດ
  • ປະສິດທິພາບ: ຊ່ວຍໃຫ້ CTE ບໍ່ກົງກັນຕໍ່າກວ່າ 5% ກັບຊິລິກອນ
ແກ້ວນຳແສງມາດຕະຖານ (N-BK7, Borofloat®33):
  • CTE: 7.1-8.2 × 10⁻⁶/K
  • ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ການຈັດລຽນທາງແສງທົ່ວໄປ, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາປານກາງ
  • ຂໍ້ໄດ້ປຽບ: ການສົ່ງສັນຍານແສງທີ່ດີເລີດ, ຕົ້ນທຶນຕ່ຳ
  • ຂໍ້ຈຳກັດ: ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ
ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ:
ນອກເໜືອໄປຈາກຂະໜາດ CTE, ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຢ່າງໄວວາ. ແກ້ວຊິລິກາປະສົມ ແລະ ແກ້ວ borosilicate (ລວມທັງ Borofloat®33) ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ທົນທານຕໍ່ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມເກີນ 100°C ໂດຍບໍ່ມີການແຕກຫັກ. ຄຸນສົມບັດນີ້ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນທີ່ຂຶ້ນກັບການປ່ຽນແປງຂອງສິ່ງແວດລ້ອມຢ່າງໄວວາ ຫຼື ຄວາມຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນຈາກເລເຊີພະລັງງານສູງ.
ການນຳໃຊ້ໃນໂລກຕົວຈິງ:
ລະບົບການຈັດລຽນໂຟໂຕນິກສຳລັບການເຊື່ອມຕໍ່ເສັ້ນໄຍແກ້ວນຳແສງເຮັດວຽກໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ 24/7 ດ້ວຍການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ ±5°C. ການໃຊ້ວັດສະດຸຮອງພື້ນອາລູມີນຽມ (CTE = 23 × 10⁻⁶/K) ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບການເຊື່ອມຕໍ່ມີການປ່ຽນແປງ ±15% ເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງມິຕິ. ການປ່ຽນໄປໃຊ້ວັດສະດຸຮອງພື້ນ AF 32® eco (CTE = 3.2 × 10⁻⁶/K) ຫຼຸດການປ່ຽນແປງຂອງປະສິດທິພາບການເຊື່ອມຕໍ່ລົງເຫຼືອໜ້ອຍກວ່າ ±2%, ເຊິ່ງປັບປຸງຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ການພິຈາລະນາການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ:
ເຖິງແມ່ນວ່າວັດສະດຸທີ່ມີ CTE ຕ່ຳ, ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນທົ່ວຊັ້ນຮອງພື້ນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການບິດເບືອນໃນທ້ອງຖິ່ນໄດ້. ສຳລັບຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮາບພຽງ λ/20 ໃນທົ່ວຊັ້ນຮອງພື້ນ 200 ມມ, ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຕ້ອງຮັກສາໃຫ້ຕ່ຳກວ່າ 0.05°C/mm ສຳລັບວັດສະດຸທີ່ມີ CTE ≈ 3 × 10⁻⁶/K. ສິ່ງນີ້ຈຳເປັນຕ້ອງມີທັງການເລືອກວັດສະດຸ ແລະ ການອອກແບບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ເໝາະສົມ.

ລາຍລະອຽດທີ 4: ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ ແລະ ການຫຼຸດການສັ່ນສະເທືອນ

ພາລາມິເຕີ: ໂມດູລັດຂອງ Young 67-91 GPa, ແຮງສຽດທານພາຍໃນ Q⁻¹ > 10⁻⁴, ແລະ ບໍ່ມີການບິດເບືອນຄວາມກົດດັນພາຍໃນ.
ເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງສຳຄັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນ:
ສະຖຽນລະພາບທາງກົນຈັກປະກອບມີຄວາມແຂງແກ່ນຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ, ລັກສະນະການດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ກັບ birefringence ທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນ - ທັງໝົດນີ້ແມ່ນສຳຄັນຕໍ່ການຮັກສາຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງການຈັດລຽນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ.
ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ແລະ ຄວາມແຂງກະດ້າງ:
ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ສູງຂຶ້ນໝາຍຄວາມວ່າມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການໂຄ້ງງໍພາຍໃຕ້ການໂຫຼດທີ່ສູງຂຶ້ນ. ສຳລັບລຳແສງທີ່ມີຄວາມຍາວ L, ຄວາມໜາ t, ແລະໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ E, ການໂຄ້ງງໍພາຍໃຕ້ການໂຫຼດຈະປັບຂະໜາດດ້ວຍ L³/(Et³). ຄວາມສຳພັນແບບປີ້ນກັບກ້ອນນີ້ກັບຄວາມໜາ ແລະ ຄວາມສຳພັນໂດຍກົງກັບຄວາມຍາວເນັ້ນໃຫ້ເຫັນວ່າເປັນຫຍັງຄວາມແຂງຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່.
ວັດສະດຸ ໂມດູນຂອງ Young (GPa) ຄວາມແຂງກະດ້າງຈຳເພາະ (E/ρ, 10⁶ m)
ຊິລິກາປະສົມ 72 32.6
N-BK7 82 34.0
AF 32® ອີໂຄ 74.8 30.8
ອາລູມິນຽມ 6061 69 25.5
ເຫຼັກກ້າ (440C) 200 25.1

ການສັງເກດ: ໃນຂະນະທີ່ເຫຼັກກ້າມີຄວາມແຂງແກ່ນສູງສຸດ, ຄວາມແຂງແກ່ນສະເພາະຂອງມັນ (ອັດຕາສ່ວນຄວາມແຂງແກ່ນຕໍ່ນ້ຳໜັກ) ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບອາລູມິນຽມ. ວັດສະດຸແກ້ວມີຄວາມແຂງແກ່ນສະເພາະທຽບເທົ່າກັບໂລຫະທີ່ມີຜົນປະໂຫຍດເພີ່ມເຕີມຄື: ຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ ແລະ ບໍ່ມີການສູນເສຍກະແສໄຟຟ້າໝູນວຽນ.

ແຮງສຽດທານພາຍໃນ ແລະ ການເຮັດໃຫ້ອ່ອນເພຍ:
ແຮງສຽດທານພາຍໃນ (Q⁻¹) ກຳນົດຄວາມສາມາດຂອງວັດສະດຸໃນການກະຈາຍພະລັງງານສັ່ນສະເທືອນ. ແກ້ວມັກຈະມີ Q⁻¹ ≈ 10⁻⁴ ຫາ 10⁻⁵, ເຊິ່ງໃຫ້ການດູດຊຶມຄວາມຖີ່ສູງທີ່ດີກ່ວາວັດສະດຸທີ່ເປັນຜລຶກເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມ (Q⁻¹ ≈ 10⁻³) ແຕ່ໜ້ອຍກວ່າໂພລີເມີ. ລັກສະນະການດູດຊຶມລະດັບປານກາງນີ້ຊ່ວຍສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນຄວາມຖີ່ສູງໂດຍບໍ່ມີການປະນີປະນອມຄວາມແຂງກະດ້າງຂອງຄວາມຖີ່ຕ່ຳ.
ຍຸດທະສາດການແຍກການສັ່ນສະເທືອນ:
ສຳລັບແພລດຟອມການຈັດລຽນແບບແສງ, ວັດສະດຸພື້ນຖານຕ້ອງເຮັດວຽກຮ່ວມກັບລະບົບການແຍກ:
  1. ການແຍກຄວາມຖີ່ຕ່ຳ: ສະໜອງໃຫ້ໂດຍເຄື່ອງແຍກຄວາມຖີ່ດ້ວຍລົມທີ່ມີຄວາມຖີ່ສະທ້ອນ 1-3 Hz
  2. ການດູດຊຶມຄວາມຖີ່ກາງ: ຖືກສະກັດກັ້ນໂດຍແຮງສຽດທານພາຍໃນຂອງຊັ້ນວາງ ແລະ ການອອກແບບໂຄງສ້າງ
  3. ການກັ່ນຕອງຄວາມຖີ່ສູງ: ບັນລຸໄດ້ຜ່ານການໂຫຼດມວນສານ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທີ່ບໍ່ກົງກັນ
ການສະທ້ອນສອງຊັ້ນຂອງຄວາມຕຶງຄຽດ:
ແກ້ວເປັນວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ ແລະ ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງບໍ່ຄວນສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການເກີດການສະທ້ອນແສງສອງຊັ້ນພາຍໃນ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄວາມກົດດັນທີ່ເກີດຈາກການປະມວນຜົນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການສະທ້ອນແສງສອງຊັ້ນຊົ່ວຄາວທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ລະບົບການຈັດລຽນແສງທີ່ມີຂົ້ວ. ສຳລັບການນຳໃຊ້ການຈັດລຽນແບບແມ່ນຍຳທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບລຳແສງທີ່ມີຂົ້ວ, ຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຕ້ອງຮັກສາໄວ້ໃຫ້ຕ່ຳກວ່າ 5 nm/cm (ວັດແທກທີ່ 632.8 nm).
ການປະມວນຜົນການບັນເທົາຄວາມຄຽດ:
ການອົບແຫ້ງທີ່ເໝາະສົມຊ່ວຍລົບລ້າງຄວາມກົດດັນພາຍໃນ:
  • ອຸນຫະພູມການອົບແຫ້ງປົກກະຕິ: 0.8 × Tg (ອຸນຫະພູມການຫັນປ່ຽນແກ້ວ)
  • ໄລຍະເວລາການຫົດ: 4-8 ຊົ່ວໂມງສຳລັບຄວາມໜາ 25 ມມ (ເກັດທີ່ມີຄວາມໜາເປັນຮູບສີ່ຫຼ່ຽມມຸມສອງ)
  • ອັດຕາການເຮັດຄວາມເຢັນ: 1-5°C/ຊົ່ວໂມງ ຜ່ານຈຸດເຄັ່ງຕຶງ
ກໍລະນີໃນໂລກຕົວຈິງ:
ລະບົບການຈັດລຽນແບບກວດສອບເຄິ່ງຕົວນຳໄດ້ປະສົບກັບການບໍ່ສອດຄ່ອງກັນເປັນໄລຍະໆດ້ວຍຄວາມກວ້າງຂອງ 0.5 μm ທີ່ 150 Hz. ການສືບສວນເປີດເຜີຍວ່າຕົວຍຶດຊັ້ນຮອງພື້ນອາລູມີນຽມສັ່ນສະເທືອນຍ້ອນການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ. ການທົດແທນອາລູມີນຽມດ້ວຍແກ້ວ borofloat®33 (CTE ຄ້າຍຄືກັນກັບຊິລິກອນແຕ່ມີຄວາມແຂງກະດ້າງສະເພາະສູງກວ່າ) ຫຼຸດຄວາມກວ້າງຂອງການສັ່ນສະເທືອນລົງ 70% ແລະ ກຳຈັດຄວາມຜິດພາດໃນການບໍ່ສອດຄ່ອງກັນເປັນໄລຍະໆ.
ຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດ ແລະ ການໂຄ້ງງໍ:
ສຳລັບແພລດຟອມການຈັດລຽນທີ່ຮອງຮັບລະບົບ optical ທີ່ມີນ້ຳໜັກຫຼາຍ, ຕ້ອງຄິດໄລ່ການໂຄ້ງງໍພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ. ຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກາປະສົມທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 300 ມມ, ໜາ 25 ມມ, ໂຄ້ງງໍໜ້ອຍກວ່າ 0.2 μm ພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ 10 ກິໂລກຣາມທີ່ໃຊ້ສູນກາງ - ບໍ່ສຳຄັນສຳລັບການນຳໃຊ້ການຈັດລຽນ optical ສ່ວນໃຫຍ່ທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳໃນການວາງຕຳແໜ່ງໃນລະດັບ 10-100 nm.

ສະເປັກທີ 5: ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ

ພາລາມິເຕີ: ຄວາມຕ້ານທານໄຮໂດຣໄລຕິກ ຊັ້ນ 1 (ຕາມ ISO 719), ຄວາມຕ້ານທານກົດ ຊັ້ນ A3, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການປ່ຽນແປງສະພາບອາກາດ ເກີນ 10 ປີ ໂດຍບໍ່ມີການເຊື່ອມໂຊມ.
ເປັນຫຍັງມັນຈຶ່ງສຳຄັນສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນ:
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງມິຕິໃນໄລຍະຍາວ ແລະ ປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫຼາກຫຼາຍ - ຕັ້ງແຕ່ຫ້ອງສະອາດທີ່ມີນໍ້າຢາທຳຄວາມສະອາດທີ່ຮຸນແຮງ ຈົນເຖິງສະຖານທີ່ອຸດສາຫະກຳທີ່ມີການສຳຜັດກັບຕົວລະລາຍ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະ ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມ.
ການຈັດປະເພດຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ:
ວັດສະດຸແກ້ວຖືກຈັດປະເພດຕາມຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ແຕກຕ່າງກັນ:
ປະເພດຄວາມຕ້ານທານ ວິທີການທົດສອບ ການຈັດປະເພດ ຂອບເຂດຈຳກັດ
ໄຮໂດຣໄລຕິກ ISO 719 ຊັ້ນ 1 < 10 μg Na₂O ທຽບເທົ່າຕໍ່ກຣາມ
ກົດ ISO 1776 ຊັ້ນ A1-A4 ການສູນເສຍນ້ຳໜັກໜ້າດິນຫຼັງຈາກການສຳຜັດກັບກົດ
ອັນຄາລີ ISO 695 ຊັ້ນຮຽນ 1-2 ການສູນເສຍນ້ຳໜັກໜ້າດິນຫຼັງຈາກການສຳຜັດກັບດ່າງ
ການຜຸພັງ ການເປີດຮັບແສງກາງແຈ້ງ ດີເລີດ ບໍ່ມີການເຊື່ອມໂຊມທີ່ວັດແທກໄດ້ຫຼັງຈາກ 10 ປີ

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງການເຮັດຄວາມສະອາດ:

ລະບົບການຈັດລຽນແບບ optical ຕ້ອງການການທຳຄວາມສະອາດເປັນໄລຍະເພື່ອຮັກສາປະສິດທິພາບ. ນ້ຳຢາທຳຄວາມສະອາດທົ່ວໄປລວມມີ:
  • ໄອໂຊໂປຣພິວແອລກໍຮໍ (IPA)
  • ອາເຊໂຕນ
  • ນ້ຳທີ່ບໍ່ມີໄອອອນ
  • ວິທີແກ້ໄຂການເຮັດຄວາມສະອາດທາງສາຍຕາພິເສດ
ແວ່ນຕາຊິລິກາປະສົມ ແລະ ແກ້ວໂບໂຣຊິລິເຄດ ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບນໍ້າຢາທໍາຄວາມສະອາດທົ່ວໄປທັງໝົດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ແວ່ນຕາບາງຊະນິດ (ໂດຍສະເພາະແວ່ນຕາຫີນທີ່ມີປະລິມານສານຕະກົ່ວສູງ) ສາມາດຖືກໂຈມຕີໂດຍຕົວລະລາຍບາງຊະນິດ, ເຊິ່ງຈໍາກັດທາງເລືອກໃນການທໍາຄວາມສະອາດ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ແລະ ການດູດຊຶມນໍ້າ:
ການດູດຊຶມນ້ຳເທິງໜ້າຜິວແກ້ວສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ທັງປະສິດທິພາບທາງດ້ານແສງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ. ທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສຳພັດ 50%, ຊິລິກາປະສົມຈະດູດຊຶມໂມເລກຸນນ້ຳໜ້ອຍກວ່າ 1 ຊັ້ນດຽວ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງມິຕິເລັກນ້ອຍ ແລະ ການສູນເສຍການສົ່ງສັນຍານທາງແສງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ການປົນເປື້ອນຂອງໜ້າຜິວລວມກັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສາມາດນຳໄປສູ່ການເກີດຈຸດນ້ຳ, ເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງໜ້າຜິວຫຼຸດລົງ.
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ລະຫວ່າງການລະບາຍອາຍພິດ ແລະ ການດູດຝຸ່ນ:
ສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນທີ່ເຮັດວຽກຢູ່ໃນສູນຍາກາດ (ເຊັ່ນ: ລະບົບແສງທີ່ອີງໃສ່ອະວະກາດ ຫຼື ການທົດສອບຫ້ອງສູນຍາກາດ), ການລະບາຍອາຍພິດອອກແມ່ນຄວາມກັງວົນທີ່ສຳຄັນ. ແກ້ວມີອັດຕາການລະບາຍອາຍພິດອອກຕໍ່າຫຼາຍ:
  • ຊິລິກາປະສົມ: < 10⁻¹⁰ Torr·L/s·cm²
  • ໂບໂຣຊິລິເຄດ: < 10⁻⁹ Torr·L/s·cm²
  • ອາລູມິນຽມ: 10⁻⁸ – 10⁻⁷ Torr·L/s·cm²
ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວແກ້ວເປັນທາງເລືອກທີ່ຕ້ອງການສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສູນຍາກາດ.
ຄວາມຕ້ານທານລັງສີ:
ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບລັງສີໄອອອນ (ລະບົບອະວະກາດ, ສະຖານທີ່ນິວເຄຼຍ, ອຸປະກອນ X-ray), ການເຮັດໃຫ້ມືດທີ່ເກີດຈາກລັງສີສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສົ່ງສັນຍານທາງແສງໄດ້. ແວ່ນຕາທີ່ທົນທານຕໍ່ລັງສີແມ່ນມີໃຫ້, ແຕ່ແມ່ນແຕ່ຊິລິກາປະສົມມາດຕະຖານກໍ່ຍັງສະແດງຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດ:
  • ຊິລິກາປະສົມ: ບໍ່ມີການສູນເສຍການສົ່ງສັນຍານທີ່ວັດແທກໄດ້ສູງເຖິງ 10 krad ປະລິມານທັງໝົດ
  • N-BK7: ການສູນເສຍການສົ່ງສັນຍານ <1% ທີ່ 400 nm ຫຼັງຈາກ 1 krad
ສະຖຽນລະພາບໄລຍະຍາວ:
ຜົນກະທົບສະສົມຂອງປັດໄຈທາງເຄມີ ແລະ ສິ່ງແວດລ້ອມກຳນົດຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ. ສຳລັບຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ:
  • ຊິລິກາປະສົມ: ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ < 1 nm ຕໍ່ປີພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຫ້ອງທົດລອງປົກກະຕິ
  • Zerodur®: ສະຖຽນລະພາບມິຕິ < 0.1 nm ຕໍ່ປີ (ເນື່ອງຈາກສະຖຽນລະພາບຂອງໄລຍະຜລຶກ)
  • ອາລູມີນຽມ: ການເລື່ອນມິຕິ 10-100 nm ຕໍ່ປີ ເນື່ອງຈາກການຜ່ອນຄາຍຄວາມກົດດັນ ແລະ ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ
ການນຳໃຊ້ໃນໂລກຕົວຈິງ:
ບໍລິສັດຢາແຫ່ງໜຶ່ງດຳເນີນງານລະບົບການຈັດລຽນແບບ optical ສຳລັບການກວດກາອັດຕະໂນມັດໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດດ້ວຍການເຮັດຄວາມສະອາດປະຈຳວັນໂດຍອີງໃສ່ IPA. ໃນເບື້ອງຕົ້ນໂດຍໃຊ້ອົງປະກອບ optical ທີ່ເຮັດດ້ວຍພາດສະຕິກ, ພວກມັນປະສົບກັບການເສື່ອມສະພາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ຕ້ອງການການປ່ຽນແທນທຸກໆ 6 ເດືອນ. ການປ່ຽນໄປໃຊ້ພື້ນຜິວແກ້ວ borofloat®33 ໄດ້ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອົງປະກອບອອກໄປຫຼາຍກວ່າ 5 ປີ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາລົງ 80% ແລະ ກຳຈັດເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ບໍ່ໄດ້ວາງແຜນໄວ້ເນື່ອງຈາກການເສື່ອມສະພາບຂອງ optical.
ສ່ວນປະກອບເຊລາມິກ

ຂອບການຄັດເລືອກວັດສະດຸ: ການຈັບຄູ່ສະເປັກກັບການນຳໃຊ້

ອີງຕາມຫ້າສະເປັກຫຼັກ, ການນຳໃຊ້ການຈັດລຽນແບບແສງສາມາດຈັດປະເພດ ແລະ ຈັບຄູ່ກັບວັດສະດຸແກ້ວທີ່ເໝາະສົມໄດ້:

ການຈັດລຽນແບບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງພິເສດ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ ≤10 nm)

ຂໍ້ກຳນົດ:
  • ຄວາມຮາບພຽງ: ≤ λ/20
  • CTE: ໃກ້ສູນ (≤0.05 × 10⁻⁶/K)
  • ການສົ່ງຜ່ານ: > 95%
  • ການຫຼຸດການສັ່ນສະເທືອນ: ແຮງສຽດທານພາຍໃນ High-Q
ວັດສະດຸທີ່ແນະນຳ:
  • ULE® (ລະຫັດ Corning 7972): ສຳລັບແອັບພລິເຄຊັນທີ່ຕ້ອງການການສົ່ງສັນຍານທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້/NIR
  • Zerodur®: ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ບໍ່ຕ້ອງການການສົ່ງສັນຍານທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ຊັດເຈນ
  • ຊິລິກາປະສົມ (ຊັ້ນສູງ): ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນປານກາງ
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ:
  • ຂັ້ນຕອນການຈັດລຽນແບບພິມຫີນ
  • ການວັດແທກແບບອິນເຕີເຟໂຣເມຕຣິກ
  • ລະບົບທາງແສງທີ່ອີງໃສ່ອະວະກາດ
  • ການປະກອບໂຟໂຕນິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ການຈັດລຽນແບບຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ຄວາມຖືກຕ້ອງ 10-100 nm)

ຂໍ້ກຳນົດ:
  • ຄວາມຮາບພຽງ: λ/10 ຫາ λ/20
  • CTE: 0.5-5 × 10⁻⁶/K
  • ການສົ່ງຜ່ານ: > 92%
  • ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີໄດ້ດີ
ວັດສະດຸທີ່ແນະນຳ:
  • ຊິລິກາປະສົມ: ປະສິດທິພາບໂດຍລວມດີເລີດ
  • Borofloat®33: ທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີ, CTE ປານກາງ
  • AF 32® eco: CTE ທີ່ຈັບຄູ່ກັບຊິລິໂຄນສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງ MEMS
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ:
  • ການຈັດລຽນເຄື່ອງຈັກດ້ວຍເລເຊີ
  • ການປະກອບເສັ້ນໄຍແກ້ວນຳແສງ
  • ການກວດກາເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ
  • ຄົ້ນຄວ້າລະບົບທາງແສງ

ການຈັດລຽນແບບຄວາມແມ່ນຍຳທົ່ວໄປ (ຄວາມແມ່ນຍຳ 100-1000 nm)

ຂໍ້ກຳນົດ:
  • ຄວາມຮາບພຽງ: λ/4 ຫາ λ/10
  • CTE: 3-10 × 10⁻⁶/K
  • ການສົ່ງຜ່ານ: > 90%
  • ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ
ວັດສະດຸທີ່ແນະນຳ:
  • N-BK7: ແກ້ວອໍແກນິກມາດຕະຖານ, ການສົ່ງສັນຍານທີ່ດີເລີດ
  • Borofloat®33: ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ລາຄາຕໍ່າກວ່າຊິລິກາປະສົມ
  • ແກ້ວໂຊດາປູນຂາວ: ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ບໍ່ສຳຄັນ
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທົ່ວໄປ:
  • ທັດສະນະການສຶກສາ
  • ລະບົບການຈັດລຽນແບບອຸດສາຫະກໍາ
  • ຜະລິດຕະພັນທາງດ້ານສາຍຕາສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ
  • ອຸປະກອນຫ້ອງທົດລອງທົ່ວໄປ

ການພິຈາລະນາດ້ານການຜະລິດ: ການບັນລຸຫ້າສະເປັກຫຼັກ

ນອກເໜືອໄປຈາກການຄັດເລືອກວັດສະດຸ, ຂະບວນການຜະລິດຈະກຳນົດວ່າຂໍ້ກຳນົດທາງທິດສະດີແມ່ນບັນລຸໄດ້ໃນການປະຕິບັດຫຼືບໍ່.

ຂະບວນການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ

ການຂັດແລະຂັດເງົາ:
ຄວາມຄືບໜ້າຈາກການຂັດຫຍາບໄປຫາການຂັດເງົາສຸດທ້າຍຈະກຳນົດຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມລຽບ:
  1. ການບົດຫຍາບ: ກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ເປັນກ້ອນ, ບັນລຸຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມໜາ ±0.05 ມມ
  2. ການບົດລະອຽດ: ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວລົງເຫຼືອ Ra ≈ 0.1-0.5 μm
  3. ການຂັດເງົາ: ບັນລຸຜົນສຳເລັດດ້ານໜ້າຜິວສຸດທ້າຍ Ra ≤ 0.5 nm
ການຂັດເງົາແບບ Pitch ທຽບກັບ ການຂັດເງົາທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍຄອມພິວເຕີ:
ການຂັດເງົາແບບດັ້ງເດີມສາມາດບັນລຸຄວາມຮາບພຽງ λ/20 ເທິງວັດສະດຸຂະໜາດນ້ອຍຫາຂະໜາດກາງ (ສູງສຸດ 150 ມມ). ສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າ ຫຼື ເມື່ອຕ້ອງການປະລິມານການຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການຂັດເງົາທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍຄອມພິວເຕີ (CCP) ຫຼື ການສຳເລັດຮູບດ້ວຍແມ່ເຫຼັກ (MRF) ຊ່ວຍໃຫ້:
  • ຄວາມຮາບພຽງທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນທົ່ວພື້ນຜິວຂະໜາດ 300-500 ມມ
  • ຫຼຸດເວລາໃນຂະບວນການລົງ 40-60%
  • ຄວາມສາມາດໃນການແກ້ໄຂຄວາມຜິດພາດຄວາມຖີ່ກາງພື້ນທີ່
ການປຸງແຕ່ງດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການອົບແຫ້ງ:
ດັ່ງທີ່ໄດ້ກ່າວມາກ່ອນໜ້ານີ້, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເໝາະສົມແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການບັນເທົາຄວາມຕຶງຄຽດ:
  • ອຸນຫະພູມການອົບແຫ້ງ: 0.8 × Tg (ອຸນຫະພູມການຫັນປ່ຽນແກ້ວ)
  • ເວລາແຊ່ນ້ຳ: 4-8 ຊົ່ວໂມງ (ເກັດທີ່ມີຄວາມໜາຍົກເປັນສອງເທົ່າ)
  • ອັດຕາການເຮັດຄວາມເຢັນ: 1-5°C/ຊົ່ວໂມງ ຜ່ານຈຸດເຄັ່ງຕຶງ
ສຳລັບແວ່ນຕາທີ່ມີ CTE ຕ່ຳ ເຊັ່ນ ULE ແລະ Zerodur, ອາດຈະຕ້ອງມີການໝຸນວຽນຄວາມຮ້ອນເພີ່ມເຕີມເພື່ອໃຫ້ບັນລຸຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ. “ຂະບວນການເຖົ້າແກ່” ສຳລັບ Zerodur ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໝຸນວຽນວັດສະດຸລະຫວ່າງ 0°C ແລະ 100°C ເປັນເວລາຫຼາຍອາທິດເພື່ອເຮັດໃຫ້ໄລຍະຂອງຜລຶກມີຄວາມໝັ້ນຄົງ.

ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ ແລະ ການວັດແທກ

ການກວດສອບວ່າການບັນລຸລາຍລະອຽດຕາມຂໍ້ກຳນົດນັ້ນຕ້ອງການມາດຕະການວັດແທກທີ່ຊັບຊ້ອນ:
ການວັດແທກຄວາມລຽບ:
  • ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່: Zygo, Veeco, ຫຼື ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຖີ່ເລເຊີທີ່ຄ້າຍຄືກັນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ λ/100
  • ຄວາມຍາວຄື້ນວັດແທກ: ໂດຍປົກກະຕິ 632.8 nm (ເລເຊີ HeNe)
  • ຮູຮັບແສງ: ຮູຮັບແສງຄວນເກີນ 85% ຂອງເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງພື້ນຜິວ
ການວັດແທກຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ:
  • ກ້ອງຈຸລະທັດແຮງປະລໍາມະນູ (AFM): ສຳລັບການກວດສອບ Ra ≤ 0.5 nm
  • ການແຊກແຊງແສງສີຂາວ: ສຳລັບຄວາມຫຍາບ 0.5-5 nm
  • ໂປຣໄຟລ໌ການຕິດຕໍ່: ສຳລັບຄວາມຫຍາບ > 5 nm
ການວັດແທກ CTE:
  • ການວັດແທກຄວາມເລິກ: ສຳລັບການວັດແທກ CTE ມາດຕະຖານ, ຄວາມຖືກຕ້ອງ ±0.01 × 10⁻⁶/K
  • ການວັດແທກ CTE ແບບ Interferometric: ສຳລັບວັດສະດຸ CTE ຕ່ຳຫຼາຍ, ຄວາມແມ່ນຍຳ ±0.001 × 10⁻⁶/K
  • ການແຊກແຊງ Fizeau: ສຳລັບການວັດແທກຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງ CTE ໃນທົ່ວວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່

ການພິຈາລະນາກ່ຽວກັບການເຊື່ອມໂຍງ: ການລວມເອົາພື້ນຜິວແກ້ວເຂົ້າໃນລະບົບການຈັດລຽນແບບ

ການປະຕິບັດພື້ນຖານແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃຫ້ປະສົບຜົນສໍາເລັດຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຕໍ່ການຕິດຕັ້ງ, ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ.

ການຕິດຕັ້ງ ແລະ ອຸປະກອນເສີມ

ຫຼັກການຕິດຕັ້ງແບບ Kinematic:
ສຳລັບການຈັດລຽງທີ່ຊັດເຈນ, ວັດສະດຸຮອງພື້ນຄວນໄດ້ຮັບການຕິດຕັ້ງແບບ kinetic ໂດຍໃຊ້ການຮອງຮັບສາມຈຸດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນ. ການຕັ້ງຄ່າການຕິດຕັ້ງແມ່ນຂຶ້ນກັບການນຳໃຊ້:
  • ການຕິດຕັ້ງຮັງເຜິ້ງ: ສຳລັບວັດສະດຸຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ນ້ຳໜັກເບົາທີ່ຕ້ອງການຄວາມແຂງກະດ້າງສູງ
  • ການໜີບຂອບ: ສຳລັບວັດສະດຸຮອງພື້ນບ່ອນທີ່ທັງສອງດ້ານຕ້ອງສາມາດເຂົ້າເຖິງໄດ້
  • ຕົວຍຶດຕິດ: ການໃຊ້ກາວແສງ ຫຼື ອີພອກຊີທີ່ມີການປ່ອຍອາຍພິດຕ່ຳ
ການບິດເບືອນທີ່ເກີດຈາກຄວາມเครียด:
ເຖິງແມ່ນວ່າຈະມີການຕິດຕັ້ງແບບ kinematic, ແຮງໜີບສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການບິດເບືອນຂອງພື້ນຜິວໄດ້. ສຳລັບຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮາບພຽງ λ/20 ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນຊິລິກາທີ່ປະສົມ 200 ມມ, ແຮງໜີບສູງສຸດບໍ່ຄວນເກີນ 10 N ທີ່ແຈກຢາຍໄປທົ່ວພື້ນທີ່ສຳຜັດ > 100 ມມ² ເພື່ອປ້ອງກັນການບິດເບືອນທີ່ເກີນຂໍ້ກຳນົດກ່ຽວກັບຄວາມຮາບພຽງ.

ການຈັດການຄວາມຮ້ອນ

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແບບເຄື່ອນໄຫວ:
ສຳລັບການຈັດລຽນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງຫ້າວຫັນມັກຈະເປັນສິ່ງຈຳເປັນ:
  • ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມ: ±0.01°C ສຳລັບຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງ λ/20
  • ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ: < 0.01°C/ມມ ຂ້າມໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ
  • ຄວາມໝັ້ນຄົງ: ການລະເຫີຍຂອງອຸນຫະພູມ < 0.001°C/ຊົ່ວໂມງ ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານທີ່ສຳຄັນ
ການແຍກຄວາມຮ້ອນແບບ passive:
ເຕັກນິກການແຍກຕົວແບບ passive ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນພາລະຄວາມຮ້ອນ:
  • ຜ້າປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນ: ຜ້າປ້ອງກັນລັງສີຫຼາຍຊັ້ນທີ່ມີຊັ້ນເຄືອບການປ່ອຍລັງສີຕ່ຳ
  • ວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນ: ວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນປະສິດທິພາບສູງ
  • ມວນຄວາມຮ້ອນ: ມວນຄວາມຮ້ອນຂະໜາດໃຫຍ່ປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ

ການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມ

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດ:
ສຳລັບການນຳໃຊ້ແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ທັດສະນະທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ຊັ້ນຮອງພື້ນຕ້ອງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດ:
  • ການສ້າງອະນຸພາກ: < 100 ອະນຸພາກ/ft³/ນາທີ (ຫ້ອງສະອາດ Class 100)
  • ການປ່ອຍອາຍພິດອອກ: < 1 × 10⁻⁹ Torr·L/s·cm² (ສຳລັບການນຳໃຊ້ສູນຍາກາດ)
  • ຄວາມສາມາດໃນການທຳຄວາມສະອາດ: ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ການທຳຄວາມສະອາດ IPA ຊ້ຳໆໂດຍບໍ່ມີການເສື່ອມສະພາບ

ການວິເຄາະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ-ຜົນປະໂຫຍດ: ພື້ນຜິວແກ້ວ ທຽບກັບ ທາງເລືອກອື່ນ

ໃນຂະນະທີ່ພື້ນຜິວແກ້ວມີປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າ, ແຕ່ພວກມັນເປັນຕົວແທນຂອງການລົງທຶນເບື້ອງຕົ້ນທີ່ສູງກວ່າ. ການເຂົ້າໃຈຕົ້ນທຶນທັງໝົດຂອງການເປັນເຈົ້າຂອງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການເລືອກວັດສະດຸທີ່ມີຂໍ້ມູນຄົບຖ້ວນ.

ການປຽບທຽບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍເບື້ອງຕົ້ນ

ວັດສະດຸພື້ນຜິວ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 200 ມມ, ໜາ 25 ມມ (USD) ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
ແກ້ວໂຊດາ-ປູນຂາວ 50-100 ໂດລາ 1 ×
Borofloat®33 200-400 ໂດລາ 3-5×
N-BK7 300-600 ໂດລາ 5-8×
ຊິລິກາປະສົມ 800-1,500 ໂດລາ 10-20 ×
AF 32® ອີໂຄ 500-900 ໂດລາ 8-12 ×
ເຊໂຣດູຣ® 2,000-4,000 ໂດລາ 30-60 ×
ULE® 3,000-6,000 ໂດລາ 50-100 ×

ການວິເຄາະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕະຫຼອດວົງຈອນຊີວິດ

ການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ການປ່ຽນແທນ:
  • ພື້ນຜິວແກ້ວ: ອາຍຸການໃຊ້ງານ 5-10 ປີ, ບຳລຸງຮັກສາໜ້ອຍ
  • ວັດສະດຸໂລຫະ: ໃຊ້ໄດ້ 2-5 ປີ, ຕ້ອງໄດ້ມີການປ່ຽນໜ້າດິນເປັນໄລຍະ
  • ວັດສະດຸພລາສຕິກ: ໃຊ້ໄດ້ 6-12 ເດືອນ, ປ່ຽນໃໝ່ເລື້ອຍໆ
ຜົນປະໂຫຍດຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນ:
  • ພື້ນຜິວແກ້ວ: ເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນດີກວ່າທາງເລືອກອື່ນ 2-10 ເທົ່າ
  • ວັດສະດຸໂລຫະ: ຖືກຈຳກັດໂດຍຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການເສື່ອມສະພາບຂອງພື້ນຜິວ
  • ວັດສະດຸພລາສຕິກ: ຈຳກັດໂດຍການເລືອຄານ ແລະ ຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ
ການປັບປຸງປະລິມານການຜະລິດ:
  • ການສົ່ງຜ່ານແສງທີ່ສູງຂຶ້ນ: ຮອບວຽນການຈັດລຽນໄວຂຶ້ນ 3-5%
  • ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຂຶ້ນ: ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການໃນການດຸ່ນດ່ຽງອຸນຫະພູມ
  • ການບຳລຸງຮັກສາຕ່ຳກວ່າ: ເວລາຢຸດເຮັດວຽກໜ້ອຍລົງສຳລັບການຈັດລຽງຄືນໃໝ່
ຕົວຢ່າງການຄິດໄລ່ ROI:
ລະບົບການຈັດລຽນແບບການຜະລິດໂຟໂຕນິກປະມວນຜົນການປະກອບ 1,000 ຄັ້ງຕໍ່ມື້ດ້ວຍເວລາຮອບວຽນ 60 ວິນາທີ. ການໃຊ້ຊັ້ນຮອງຊິລິກາປະສົມທີ່ມີຄວາມສົ່ງຜ່ານສູງ (ທຽບກັບ N-BK7) ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເວລາຮອບວຽນລົງ 4% ເປັນ 57.6 ວິນາທີ, ເພີ່ມຜົນຜະລິດປະຈຳວັນເປັນ 1,043 ຄັ້ງ — ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຜົນຜະລິດ 4.3% ມູນຄ່າ $200,000 ຕໍ່ປີໃນລາຄາ $50 ຕໍ່ການປະກອບ.

ແນວໂນ້ມໃນອະນາຄົດ: ເຕັກໂນໂລຊີແກ້ວທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາໃໝ່ສຳລັບການຈັດວາງແສງ

ຂະແໜງການຂອງວັດສະດຸກະຈົກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຍັງສືບຕໍ່ພັດທະນາ, ໂດຍໄດ້ຮັບແຮງຂັບເຄື່ອນຈາກຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາ, ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການເຊື່ອມໂຍງ.

ວັດສະດຸແກ້ວວິສະວະກຳ

ແວ່ນຕາ CTE ທີ່ອອກແບບມາສະເພາະ:
ການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມ CTE ໄດ້ຢ່າງແມ່ນຍຳໂດຍການປັບສ່ວນປະກອບຂອງແກ້ວ:
  • ULE® Tailored: ອຸນຫະພູມຂ້າມສູນ CTE ສາມາດລະບຸໄດ້ເຖິງ ±5°C
  • ແວ່ນຕາ CTE ແບບ Gradient: ແວ່ນຕາ CTE ທີ່ອອກແບບມາເພື່ອການไล่ระดับສີຈາກພື້ນຜິວໄປຫາແກນກາງ
  • ການປ່ຽນແປງຂອງ CTE ໃນພາກພື້ນ: ຄ່າ CTE ທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນພາກພື້ນຕ່າງໆຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນດຽວກັນ
ການເຊື່ອມໂຍງແກ້ວໂຟໂຕນິກ:
ສ່ວນປະກອບແກ້ວໃໝ່ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປະສົມປະສານໜ້າທີ່ທາງດ້ານແສງໂດຍກົງໄດ້:
  • ການເຊື່ອມໂຍງຄື້ນນຳທາງ: ການຂຽນໂດຍກົງຂອງຄື້ນນຳທາງໃນພື້ນຜິວແກ້ວ
  • ແວ່ນຕາທີ່ມີສານເສີມ: ແວ່ນຕາທີ່ມີສານເສີມ Erbium ຫຼື ແວ່ນຕາທີ່ມີສານເສີມໂລຫະທີ່ຫາຍາກ ສຳລັບໜ້າທີ່ການໃຊ້ງານ
  • ແວ່ນຕາທີ່ບໍ່ເປັນເສັ້ນ: ສຳປະສິດທີ່ບໍ່ເປັນເສັ້ນສູງສຳລັບການປ່ຽນຄວາມຖີ່

ເຕັກນິກການຜະລິດຂັ້ນສູງ

ການຜະລິດແກ້ວເພີ່ມເຕີມ:
ການພິມແກ້ວແບບ 3D ຊ່ວຍໃຫ້:
  • ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ກັບການສ້າງແບບພື້ນເມືອງ
  • ຊ່ອງທາງເຮັດຄວາມເຢັນປະສົມປະສານສຳລັບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ
  • ຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອວັດສະດຸສຳລັບຮູບຮ່າງທີ່ກຳນົດເອງ
ການຂຶ້ນຮູບແບບຄວາມແມ່ນຍໍາ:
ເຕັກນິກການຂຶ້ນຮູບແບບໃໝ່ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງ:
  • ການຫລໍ່ແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ: ຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບ sub-micron ໃນພື້ນຜິວທາງ optical
  • ການຫຼຸດລະດັບດ້ວຍ mandrels: ບັນລຸຄວາມໂຄ້ງທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ດ້ວຍການສຳເລັດຮູບພື້ນຜິວ Ra < 0.5 nm

ຊັ້ນໃຕ້ດິນແກ້ວອັດສະລິຍະ

ເຊັນເຊີທີ່ຝັງຢູ່:
ວັດສະດຸກໍ່ສ້າງໃນອະນາຄົດອາດຈະປະກອບມີ:
  • ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ: ການຕິດຕາມອຸນຫະພູມແບບກະຈາຍ
  • ເຄື່ອງວັດຄວາມເຄັ່ງຕຶງ: ການວັດແທກຄວາມເຄັ່ງຕຶງ/ການຜິດຮູບໃນເວລາຈິງ
  • ເຊັນເຊີຕຳແໜ່ງ: ການວັດແທກແບບປະສົມປະສານສຳລັບການວັດແທກດ້ວຍຕົນເອງ
ການຊົດເຊີຍທີ່ໃຊ້ງານໄດ້:
ວັດສະດຸອັດສະລິຍະສາມາດເຮັດໃຫ້:
  • ການກະຕຸ້ນຄວາມຮ້ອນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນປະສົມປະສານສຳລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ໃຊ້ງານ
  • ການກະຕຸ້ນ Piezoelectric: ການປັບຕຳແໜ່ງຂະໜາດນາໂນແມັດ
  • ທັດສະນະທີ່ປັບຕົວໄດ້: ການແກ້ໄຂຮູບຮ່າງໜ້າດິນໃນເວລາຈິງ

ສະຫຼຸບ: ຂໍ້ໄດ້ປຽບທາງຍຸດທະສາດຂອງພື້ນຜິວແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

ຫ້າຂໍ້ສະເພາະຫຼັກຄື: ການສົ່ງຜ່ານແສງ, ຄວາມລຽບຂອງພື້ນຜິວ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ, ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ - ກຳນົດຮ່ວມກັນວ່າເປັນຫຍັງວັດສະດຸຮອງພື້ນແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຈຶ່ງເປັນວັດສະດຸທີ່ເລືອກສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງ. ໃນຂະນະທີ່ການລົງທຶນເບື້ອງຕົ້ນອາດຈະສູງກວ່າທາງເລືອກອື່ນ, ຕົ້ນທຶນທັງໝົດຂອງການເປັນເຈົ້າຂອງ, ໂດຍພິຈາລະນາເຖິງຜົນປະໂຫຍດດ້ານປະສິດທິພາບ, ການຫຼຸດຜ່ອນການບຳລຸງຮັກສາ, ແລະ ຜົນຜະລິດທີ່ດີຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸຮອງພື້ນແກ້ວເປັນທາງເລືອກໄລຍະຍາວທີ່ດີກວ່າ.

ຂອບການຕັດສິນໃຈ

ເມື່ອເລືອກວັດສະດຸພື້ນຖານສຳລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງ, ໃຫ້ພິຈາລະນາ:
  1. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນທີ່ຕ້ອງການ: ກຳນົດຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຂອງ CTE
  2. ຊ່ວງຄວາມຍາວຄື່ນ: ຄູ່ມືສະເປັກການສົ່ງສັນຍານແສງ
  3. ສະພາບແວດລ້ອມ: ມີອິດທິພົນຕໍ່ CTE ແລະຄວາມຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ
  4. ປະລິມານການຜະລິດ: ມີຜົນກະທົບຕໍ່ການວິເຄາະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ-ຜົນປະໂຫຍດ
  5. ຂໍ້ກຳນົດດ້ານກົດລະບຽບ: ອາດຈະກຳນົດໃຫ້ມີເອກະສານສະເພາະສຳລັບການຮັບຮອງ

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ ZHHIMG

ທີ່ ZHHIMG, ພວກເຮົາເຂົ້າໃຈວ່າປະສິດທິພາບຂອງລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງແມ່ນຖືກກຳນົດໂດຍລະບົບນິເວດວັດສະດຸທັງໝົດ - ຕັ້ງແຕ່ຊັ້ນຮອງພື້ນຈົນເຖິງການເຄືອບຈົນເຖິງຮາດແວຕິດຕັ້ງ. ຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຮົາກວມເອົາ:
ການຄັດເລືອກວັດສະດຸ ແລະ ການຈັດຊື້:
  • ເຂົ້າເຖິງວັດສະດຸແກ້ວພຣີມຽມຈາກຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາ
  • ຂໍ້ກຳນົດວັດສະດຸທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ເປັນເອກະລັກ
  • ການຄຸ້ມຄອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງເພື່ອຄຸນນະພາບທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ
ການຜະລິດແບບແມ່ນຍໍາ:
  • ອຸປະກອນການຂັດ ແລະ ຂັດເງົາທີ່ທັນສະໄໝ
  • ການຂັດເງົາທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍຄອມພິວເຕີເພື່ອຄວາມລຽບ λ/20
  • ການວັດແທກພາຍໃນສຳລັບການຢັ້ງຢືນສະເປັກ
ວິສະວະກຳແບບກຳນົດເອງ:
  • ການອອກແບບພື້ນຜິວສຳລັບການນຳໃຊ້ສະເພາະ
  • ວິທີແກ້ໄຂການຕິດຕັ້ງ ແລະ ອຸປະກອນຕິດຕັ້ງ
  • ການເຊື່ອມໂຍງການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ
ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ:
  • ການກວດກາ ແລະ ການຢັ້ງຢືນທີ່ຄົບຖ້ວນ
  • ເອກະສານການຕິດຕາມ
  • ການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ (ISO, ASTM, MIL-SPEC)
ຮ່ວມມືກັບ ZHHIMG ເພື່ອນຳໃຊ້ຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຮົາໃນການຜະລິດວັດສະດຸແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບລະບົບການຈັດລຽນແບບ optical ຂອງທ່ານ. ບໍ່ວ່າທ່ານຕ້ອງການວັດສະດຸມາດຕະຖານທີ່ມີຢູ່ໃນຊັ້ນວາງ ຫຼື ວິທີແກ້ໄຂທີ່ອອກແບບມາເປັນພິເສດສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ, ທີມງານຂອງພວກເຮົາພ້ອມແລ້ວທີ່ຈະສະໜັບສະໜູນຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງທ່ານ.
ຕິດຕໍ່ທີມງານວິສະວະກອນຂອງພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອປຶກສາຫາລືກ່ຽວກັບຄວາມຕ້ອງການພື້ນຖານການຈັດລຽນແບບແສງຂອງທ່ານ ແລະ ຄົ້ນພົບວິທີການເລືອກວັດສະດຸທີ່ເໝາະສົມສາມາດເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງລະບົບຂອງທ່ານໄດ້.

ເວລາໂພສ: ວັນທີ 17 ມີນາ 2026