ພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກແກຣນິດຈະຂະຫຍາຍອອກຍ້ອນຄວາມຮ້ອນໃນລະຫວ່າງການສະແກນເວເຟີບໍ?

ໃນການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສຳຄັນຂອງການຜະລິດຊິບ - ການສະແກນແຜ່ນເວເຟີ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນກຳນົດຄຸນນະພາບຂອງຊິບ. ໃນຖານະເປັນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນຂອງອຸປະກອນ, ບັນຫາການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກແກຣນິດໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຫຼາຍ.

ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງຫີນແກຣນິດມັກຈະຢູ່ລະຫວ່າງ 4 ແລະ 8 × 10⁻⁶/℃, ເຊິ່ງຕໍ່າກວ່າໂລຫະ ແລະ ຫີນອ່ອນຫຼາຍ. ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ, ຂະໜາດຂອງມັນມີການປ່ຽນແປງໜ້ອຍຫຼາຍ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວນສັງເກດວ່າການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າບໍ່ໄດ້ໝາຍຄວາມວ່າບໍ່ມີການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ. ພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ເຖິງແມ່ນວ່າການຂະຫຍາຍຕົວເລັກນ້ອຍທີ່ສຸດກໍ່ອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງລະດັບນາໂນຂອງການສະແກນເວເຟີ.

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການສະແກນແຜ່ນເວເຟີ, ມີຫຼາຍສາເຫດທີ່ເຮັດໃຫ້ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນເກີດຂຶ້ນ. ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນໂຮງງານ, ຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກການເຮັດວຽກຂອງອົງປະກອບອຸປະກອນ, ແລະອຸນຫະພູມສູງທັນທີທີ່ເກີດຈາກການປະມວນຜົນດ້ວຍເລເຊີ ລ້ວນແຕ່ຈະເຮັດໃຫ້ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ "ຂະຫຍາຍ ແລະ ຫົດຕົວຍ້ອນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ". ເມື່ອພື້ນຖານຜ່ານການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມຊື່ຂອງລາງນຳທາງ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງຂອງແພລດຟອມອາດຈະເບກ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເສັ້ນທາງການເຄື່ອນໄຫວທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຂອງໂຕະແຜ່ນເວເຟີ. ອົງປະກອບທາງແສງທີ່ຮອງຮັບຍັງຈະປ່ຽນໄປ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ລຳແສງສະແກນ "ເບກ". ການເຮັດວຽກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເວລາດົນຍັງຈະສະສົມຄວາມຜິດພາດ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຮ້າຍແຮງຂຶ້ນເລື້ອຍໆ.

ແຕ່ຢ່າກັງວົນ. ຜູ້ຄົນມີວິທີແກ້ໄຂແລ້ວ. ໃນດ້ານວັດສະດຸ, ເສັ້ນກ່າງຫີນແກຣນິດທີ່ມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳກວ່າຈະຖືກຄັດເລືອກ ແລະ ໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງຕາມຄວາມແກ່. ໃນດ້ານການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ອຸນຫະພູມຂອງໂຮງງານຈະຖືກຄວບຄຸມຢ່າງແນ່ນອນທີ່ 23±0.5℃ ຫຼືຕໍ່າກວ່ານັ້ນ, ແລະ ອຸປະກອນລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວກໍ່ຈະຖືກອອກແບບມາສຳລັບພື້ນຖານ. ໃນດ້ານການອອກແບບໂຄງສ້າງ, ໂຄງສ້າງທີ່ສົມມາດ ແລະ ການຮອງຮັບທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໄດ້ຖືກຮັບຮອງເອົາ, ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງແມ່ນດຳເນີນຜ່ານເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ. ຄວາມຜິດພາດທີ່ເກີດຈາກການຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນຈະຖືກແກ້ໄຂແບບໄດນາມິກໂດຍອັລກໍຣິທຶມ.

ອຸປະກອນລະດັບສູງເຊັ່ນ: ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ ASML, ຜ່ານວິທີການເຫຼົ່ານີ້, ຮັກສາຜົນກະທົບຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດໃຫ້ຢູ່ໃນລະດັບທີ່ນ້ອຍຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການສະແກນແຜ່ນເວເຟີສາມາດບັນລຸລະດັບນາໂນແມັດໄດ້. ດັ່ງນັ້ນ, ຕາບໃດທີ່ມັນຖືກຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດຍັງຄົງເປັນທາງເລືອກທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບອຸປະກອນສະແກນແຜ່ນເວເຟີ.