♦ອາລູມີນາ(Al2O3)
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຜະລິດໂດຍ ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) ສາມາດເຮັດດ້ວຍວັດຖຸດິບເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, 92 ~ 97% alumina, 99.5% alumina, > 99.9% alumina, ແລະການກົດ isostatic ເຢັນ CIP.sintering ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງຈັກ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບຂອງ± 0.001mm, ກ້ຽງເຖິງ Ra0.1, ການນໍາໃຊ້ອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ອົງສາ.ສີທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງເຊລາມິກສາມາດເຮັດໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ, ເຊັ່ນ: ສີດໍາ, ສີຂາວ, beige, ສີແດງຊ້ໍາ, ແລະອື່ນໆພາກສ່ວນ ceramics ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ຜະລິດໂດຍບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາແມ່ນທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, corrosion, ພັຍແລະ insulation, ແລະສາມາດເປັນ. ໃຊ້ເປັນເວລາດົນນານໃນອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດແລະອາຍແກັສ corrosive ສະພາບແວດລ້ອມ.
ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ຕ່າງໆ: ກອບ (ວົງເລັບເຊລາມິກ), ຊັ້ນໃຕ້ດິນ (ຖານ), ແຂນ / ຂົວ (ການຫມູນໃຊ້), ອົງປະກອບກົນຈັກແລະ Ceramic Air Bearing.
| ຊື່ຜະລິດຕະພັນ | ຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99 Alumina Ceramic Square Tube / Pipe / Rod | |||||
| ດັດຊະນີ | ໜ່ວຍ | 85 % Al2O3 | 95% Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| ການດູດຊຶມນ້ໍາ | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| ອຸນຫະພູມ Sintered | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| ຄວາມແຂງ | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| ຄວາມເຂັ້ມງວດ (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| ແຮງບີບອັດ | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກທີ່ຍາວນານ | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| ສູງສຸດ.ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກ | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| ການຕໍ່ຕ້ານປະລິມານ | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | > 1010 | >1012 | >1012 | ||
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ alumina ceramics ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:
1. ນໍາໃຊ້ກັບອຸປະກອນ semiconductor: ceramic vacuum chuck, ຕັດແຜ່ນ, ແຜ່ນທໍາຄວາມສະອາດ, CHUCK ceramic.
2. ພາກສ່ວນການໂອນ wafer: chucks ການຈັດການ wafer, ແຜ່ນຕັດ wafer, ແຜ່ນທໍາຄວາມສະອາດ wafer, wafer optical ຈອກ suction ກວດກາ.
3. ອຸດສາຫະກໍາສະແດງ LED / LCD flat panel: nozzle ceramic, ceramic grinding disc, LIFT PIN, PIN rail.
4. ການສື່ສານ Optical, ອຸດສາຫະກໍາແສງຕາເວັນ: ທໍ່ເຊລາມິກ, rods ceramic, ຫນ້າຈໍກະດານວົງຈອນພິມ scrapers ceramic.
5. ພາກສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນແລະ insulating ໄຟຟ້າ: bearings ceramic.
ໃນປັດຈຸບັນ, ອາລູມິນຽມ oxide ceramics ສາມາດແບ່ງອອກເປັນຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະ ceramics ທົ່ວໄປ.ຊຸດອາລູມິນຽມ oxide ceramics ຄວາມບໍລິສຸດສູງຫມາຍເຖິງວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຫຼາຍກ່ວາ 99.9% Al₂O₃.ເນື່ອງຈາກວ່າອຸນຫະພູມ sintering ຂອງມັນສູງເຖິງ 1650 - 1990 ° C ແລະຄວາມຍາວຂອງຄື້ນສົ່ງຂອງ 1 ~ 6μm, ມັນມັກຈະຖືກປຸງແຕ່ງເປັນແກ້ວ fused ແທນ platinum crucible: ເຊິ່ງສາມາດນໍາໃຊ້ເປັນທໍ່ໂຊດຽມຍ້ອນການຖ່າຍທອດແສງສະຫວ່າງແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion. ໂລຫະດ່າງ.ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເປັນວັດສະດຸ insulating ຄວາມຖີ່ສູງສໍາລັບ substrates IC.ອີງຕາມເນື້ອໃນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງອາລູມິນຽມອອກໄຊ, ຊຸດອາລູມິນຽມ oxide ceramics ທົ່ວໄປສາມາດແບ່ງອອກເປັນ 99 ceramics, 95 ceramics, 90 ceramics ແລະ 85 ceramics.ບາງຄັ້ງ, ເຊລາມິກທີ່ມີ 80% ຫຼື 75% ຂອງອາລູມິນຽມອອກໄຊແມ່ນຍັງຖືກຈັດປະເພດເປັນຊຸດເຊລາມິກອາລູມິນຽມທົ່ວໄປ.ໃນບັນດາພວກມັນ, ວັດສະດຸເຊລາມິກອາລູມິນຽມ 99 ຜຸພັງແມ່ນໃຊ້ໃນການຜະລິດ crucible ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ທໍ່ furnace ທົນທານຕໍ່ໄຟແລະວັດສະດຸທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ພິເສດ, ເຊັ່ນ: ແບກເກິດເຊລາມິກ, ປະທັບຕາເຊລາມິກແລະແຜ່ນວາວ.ອາລູມິນຽມເຊລາມິກ 95 ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເປັນສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.85 ceramics ມັກຈະປະສົມຢູ່ໃນບາງຄຸນສົມບັດ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງປະສິດທິພາບໄຟຟ້າແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ.ມັນສາມາດນໍາໃຊ້ molybdenum, niobium, tantalum ແລະປະທັບຕາໂລຫະອື່ນໆ, ແລະບາງອັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນສູນຍາກາດໄຟຟ້າ.
| ລາຍການຄຸນນະພາບ (ມູນຄ່າຕົວແທນ) | ຊື່ຜະລິດຕະພັນ | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| ອົງປະກອບທາງເຄມີຂອງຜະລິດຕະພັນ Sintering ງ່າຍໂຊດຽມຕ່ໍາ | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ຫົວດັງໆ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| ນາ₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| ເສັ້ນຜ່າສູນກາງອະນຸພາກປານກາງ (MT-3300, ວິທີການວິເຄາະເລເຊີ) | ມມ | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α ຂະຫນາດ Crystal | ມມ | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການສ້າງ ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ Sintering ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| ອັດຕາການຫົດຕົວຂອງສາຍ Sintering ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO ບໍ່ໄດ້ລວມຢູ່ໃນການຄິດໄລ່ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ Al₂O₃.
* ບໍ່ມີຝຸ່ນ 29.4MPa (300kg/cm²), ອຸນຫະພູມ sintering ແມ່ນ 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: ເພີ່ມ 0.05 ~ 0.1% MgO, sinterability ແມ່ນດີເລີດ, ສະນັ້ນມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບອາລູມິນຽມ oxide ceramics ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດຫຼາຍກ່ວາ 99%.
AES-22S: ມີລັກສະນະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງກອບເປັນຈໍານວນສູງແລະອັດຕາການຫົດຕົວຕ່ໍາຂອງເສັ້ນ sintering, ມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບການຫລໍ່ແບບຟອມແລະຜະລິດຕະພັນຂະຫນາດໃຫຍ່ອື່ນໆທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະຫນາດທີ່ຕ້ອງການ.
AES-23 / AES-31-03: ມັນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງກອບເປັນຈໍານວນທີ່ສູງກວ່າ, thixotropy ແລະຄວາມຫນືດຕ່ໍາກວ່າ AES-22S.ອະດີດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຊລາມິກໃນຂະນະທີ່ສຸດທ້າຍແມ່ນໃຊ້ເປັນເຄື່ອງຫຼຸດຜ່ອນນ້ໍາສໍາລັບວັດສະດຸປ້ອງກັນໄຟ, ໄດ້ຮັບຄວາມນິຍົມ.
♦ຄຸນສົມບັດຊິລິຄອນຄາໄບ (SiC).
| ລັກສະນະທົ່ວໄປ | ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອົງປະກອບຫຼັກ (wt%) | 97 | |
| ສີ | ດຳ | ||
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm³) | 3.1 | ||
| ການດູດຊຶມນ້ໍາ (%) | 0 | ||
| ລັກສະນະກົນຈັກ | ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ (MPa) | 400 | |
| ໂມດູລສອ່ອນ (Gpa) | 400 | ||
| ຄວາມແຂງຂອງ Vickers (Gpa) | 20 | ||
| ລັກສະນະຄວາມຮ້ອນ | ອຸນຫະພູມປະຕິບັດສູງສຸດ (°C) | 1600 | |
| ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (W/m x K) | 130 110 | ||
| ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ ΔT (°C) | 300 | ||
| ຄຸນລັກສະນະທາງໄຟຟ້າ | ຄວາມຕ້ານທານຂອງປະລິມານ | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| ຄົງທີ່ Dielectric | 10GHz | - | |
| ການສູນເສຍ Dielectric (x 10-4) | - | ||
| ປັດໄຈ Q (x 104) | - | ||
| ແຮງດັນໄຟຟ້າແຍກ (KV/mm) | - | ||
♦ເຊລາມິກຊິລິຄອນໄນໄຕ
| ວັດສະດຸ | ໜ່ວຍ | Si₃N₄ |
| ວິທີການ sintering | - | ຄວາມກົດດັນອາຍແກັສ Sintered |
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | g/cm³ | 3.22 |
| ສີ | - | ສີເທົາເຂັ້ມ |
| ອັດຕາການດູດຊຶມນ້ໍາ | % | 0 |
| ໂມດູລຫນຸ່ມ | Gpa | 290 |
| Vickers ແຂງ | Gpa | ໑໘ - ໒໐ |
| ແຮງບີບອັດ | Mpa | 2200 |
| ແຮງບິດ | Mpa | 650 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | W/mK | 25 |
| ຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ | Δ (°C) | 450 - 650 |
| ອຸນຫະພູມປະຕິບັດງານສູງສຸດ | °C | 1200 |
| ການຕໍ່ຕ້ານປະລິມານ | Ω·ຊມ | > 10 ^ 14 |
| ຄົງທີ່ Dielectric | - | 8.2 |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Dielectric | kV/ມມ | 16 |