ພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ Granite ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາປຸງແຕ່ງ wafer.ມັນເປັນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງເຄື່ອງຈັກສໍາລັບການປຸງແຕ່ງທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຖືກຕ້ອງຂອງ wafers.ການປະກອບ, ການທົດສອບ, ແລະ calibrating ຖານເຄື່ອງ granite ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສົນໃຈກັບລາຍລະອຽດແລະຄວາມຊໍານານ.ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາຈະອະທິບາຍຂັ້ນຕອນໂດຍຂັ້ນຕອນຄູ່ມືການປະກອບ, ການທົດສອບ, ແລະ calibrating ຖານເຄື່ອງ granite ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນການປຸງແຕ່ງ wafer.
1. ການປະກອບພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ Granite
ຂັ້ນຕອນທໍາອິດທີ່ຈະປະກອບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ແມ່ນການກະກຽມອົງປະກອບທີ່ຈໍາເປັນທັງຫມົດແລະຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງພວກເຂົາ.ອົງປະກອບສໍາລັບພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite ອາດຈະປະກອບມີຝາອັດປາກຂຸມ granite, ກອບອາລູມິນຽມ, ແຜ່ນລະດັບ, ແລະ bolts.ນີ້ແມ່ນຂັ້ນຕອນເພື່ອປະກອບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite:
ຂັ້ນຕອນທີ 1 - ເອົາຝາອັດປາກຂຸມ granite ເທິງພື້ນທີ່ຮາບພຽງແລະສະອາດ.
ຂັ້ນຕອນທີ 2 - ຕິດກອບອາລູມິນຽມປະມານຝາອັດປາກຂຸມ granite ໂດຍນໍາໃຊ້ bolts ແລະເຮັດໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າກອບແມ່ນ flush ກັບແຄມຂອງ granite.
ຂັ້ນຕອນທີ 3 - ຕິດຕັ້ງ pads ລະດັບຂ້າງລຸ່ມສຸດຂອງກອບອາລູມິນຽມເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຖານຂອງເຄື່ອງແມ່ນລະດັບ.
ຂັ້ນຕອນທີ 4 - Tighten bolts ທັງຫມົດແລະເຮັດໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຖານເຄື່ອງ granite ແມ່ນແຂງແລະຫມັ້ນຄົງ.
2. ການທົດສອບພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ Granite
ຫຼັງຈາກປະກອບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ທົດສອບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າມັນເຮັດວຽກຢ່າງຖືກຕ້ອງ.ການທົດສອບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ກ່ຽວຂ້ອງກັບການກວດສອບລະດັບ, ຄວາມຮາບພຽງ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມັນ.ນີ້ແມ່ນຂັ້ນຕອນເພື່ອທົດສອບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite:
ຂັ້ນຕອນທີ 1 - ໃຊ້ລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາເພື່ອກວດກາເບິ່ງລະດັບຂອງຖານເຄື່ອງໂດຍການວາງມັນຢູ່ໃນຈຸດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງຝາອັດປາກຂຸມ granite.
ຂັ້ນຕອນທີ 2 - ໃຊ້ແຂບຊື່ຫຼືແຜ່ນດ້ານເພື່ອກວດກາເບິ່ງຄວາມຮາບພຽງຂອງຖານເຄື່ອງໂດຍການວາງມັນຢູ່ໃນຈຸດທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງແຜ່ນ granite.ຄວາມທົນທານຂອງຮາບພຽງຄວນມີຫນ້ອຍກວ່າ 0.025mm.
ຂັ້ນຕອນທີ 3 - ໃຊ້ການໂຫຼດກັບຖານເຄື່ອງເພື່ອກວດກາເບິ່ງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຕົນ.ການໂຫຼດບໍ່ຄວນເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດປົກກະຕິຫຼືການເຄື່ອນໄຫວຢູ່ໃນພື້ນຖານຂອງເຄື່ອງຈັກ.
3. Calibrating ຖານເຄື່ອງ Granite
calibrating ພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ປະກອບດ້ວຍການປັບຕໍາແຫນ່ງຂອງເຄື່ອງໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງແລະສອດຄ່ອງມັນກັບອົງປະກອບເຄື່ອງອື່ນໆເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ດີທີ່ສຸດ.ນີ້ແມ່ນຂັ້ນຕອນເພື່ອປັບພື້ນຖານເຄື່ອງ granite:
ຂັ້ນຕອນທີ 1 - ຕິດຕັ້ງອຸປະກອນການວັດແທກເຊັ່ນ: ເປັນເວທີ optical ຫຼືລະບົບ interferometer laser ໃນຖານເຄື່ອງ granite.
ຂັ້ນຕອນທີ 2 - ປະຕິບັດຊຸດຂອງການທົດສອບແລະການວັດແທກເພື່ອກໍານົດຄວາມຜິດພາດການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງເຄື່ອງຈັກແລະ deviations.
ຂັ້ນຕອນທີ 3 - ປັບຕົວກໍານົດການຕໍາແຫນ່ງຂອງເຄື່ອງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດແລະ deviations ໄດ້.
ຂັ້ນຕອນທີ 4 - ເຮັດການກວດສອບຄັ້ງສຸດທ້າຍເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຖານເຄື່ອງໄດ້ຖືກປັບຖືກຕ້ອງ, ແລະບໍ່ມີຄວາມຜິດພາດຫຼື deviation ໃນການວັດແທກ.
ສະຫຼຸບ
ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ການປະກອບ, ການທົດສອບ, ແລະການປັບຂະຫນາດພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນການປຸງແຕ່ງ wafer ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງໃນຂະບວນການຜະລິດ.ດ້ວຍອົງປະກອບ, ເຄື່ອງມື, ແລະຄວາມຊໍານານທີ່ຈໍາເປັນ, ປະຕິບັດຕາມຂັ້ນຕອນທີ່ໄດ້ກ່າວມາຂ້າງເທິງຈະຮັບປະກັນວ່າພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກ granite ໄດ້ຖືກປະກອບ, ທົດສອບ, ແລະປັບຕົວຢ່າງຖືກຕ້ອງ.ພື້ນຖານເຄື່ອງ granite ທີ່ມີການກໍ່ສ້າງທີ່ດີແລະຖືກປັບທຽບຈະໃຫ້ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະຖືກຕ້ອງໃນຜະລິດຕະພັນປຸງແຕ່ງ wafer.
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 07-07-2023