ວິທີການເລືອກອົງປະກອບ Granite ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບອຸປະກອນ Semiconductor

ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳກຳລັງກ້າວໄປສູ່ຂະບວນການ 3nm ແລະ ຫຼາຍກວ່ານັ້ນ, ຂອບເຂດຂອງຄວາມຜິດພາດໄດ້ຫາຍໄປຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ສຳລັບຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ, ຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຂອງພື້ນຖານເຄື່ອງຈັກບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນການພິຈາລະນາດ້ານກົນຈັກເທົ່ານັ້ນ - ມັນເປັນຕົວກຳນົດທີ່ສຳຄັນຂອງຜົນຜະລິດ.

ທີ່ ZHHIMG Group, ພວກເຮົາຮັບຮູ້ວ່າໃນລະບົບການກວດກາແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ລະບົບການພິມດ້ວຍຫີນ, ອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ກາຍເປັນມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຊັ້ນ sub-micron. ແຕ່ທ່ານຈະເລືອກວັດສະດຸທີ່ເໝາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະຂອງທ່ານໄດ້ແນວໃດ?

ການປະເຊີນໜ້າກັນລະຫວ່າງວັດສະດຸ: ຫີນແກຣນິດທຽບກັບເຫຼັກກ້າທຽບກັບການຫລໍ່ແຮ່ທາດ

ເມື່ອອອກແບບພື້ນຖານອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ວິສະວະກອນໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະຊັ່ງນໍ້າໜັກວັດສະດຸຫຼັກສາມຢ່າງ. ການເຂົ້າໃຈຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງມັນແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳໃນໄລຍະຍາວ.

1. ຫີນແກຣນິດ: ມາດຕະຖານຄຳສຳລັບຄວາມໝັ້ນຄົງ

ຫີນແກຣນິດສີດຳທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ (ເຊັ່ນ: ຊະນິດ G684 ຫຼື Jinan Black ທີ່ມັກໃຊ້ໂດຍ ZHHIMG) ມີຄຸນສົມບັດປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກ. ມັນມີອາຍຸຕາມທຳມະຊາດ, ຊຶ່ງໝາຍຄວາມວ່າມັນບໍ່ມີຄວາມກົດດັນພາຍໃນ. ບໍ່ເໝືອນກັບໂລຫະ, ມັນບໍ່ມີສະໜິມ ຫຼື ຜຸພັງ, ແລະ ມັນມີຄວາມສາມາດໃນການຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໂດດເດັ່ນ.

2. ເຫຼັກກ້າ: ມີຄວາມແຂງກະດ້າງສູງ, ມີຄວາມສ່ຽງສູງ

ໂຄງສ້າງເຫຼັກທີ່ເຊື່ອມແມ່ນແຂງແຕ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະບິດເບືອນດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ. ເຫຼັກກ້າຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕາມການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ເສັ້ນທາງແສງທີ່ລະອຽດອ່ອນບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ກອບທີ່ເຊື່ອມແມ່ນມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການບັນເທົາຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ຕາມການເວລາ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການບິດເບືອນ.

3. ການຫລໍ່ແຮ່ທາດ (ຄອນກີດໂພລີເມີ): ທາງເລືອກອື່ນ

ການຫລໍ່ໂລຫະແຮ່ທາດໃຫ້ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ດີ ແຕ່ມັກຈະຂາດຄວາມແຂງແກ່ນ ແລະ ຄວາມທົນທານຂອງພື້ນຜິວຄືກັບຫີນແກຣນິດທຳມະຊາດ. ໃນຂະນະທີ່ມີປະໂຫຍດສຳລັບເຄື່ອງຈັກບາງຊະນິດ, ມັນອາດຈະບໍ່ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ຮຸນແຮງຂອງການຈັດການແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳລະດັບສູງ.

ການປຽບທຽບດ້ານວິຊາການ: ເປັນຫຍັງ Granite ຈຶ່ງຊະນະ

ຄຸນສົມບັດ ຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ໂຄງເຫຼັກ / ເຊື່ອມ ການຫລໍ່ແຮ່ທາດ
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ ຕໍ່າສຸດໆ ສູງ (ຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ) ຕ່ຳ
ການຫຼຸດແຮງສັ່ນສະເທືອນ ດີເລີດ (ເຫຼັກກ້າ 10 ເທົ່າ) ບໍ່ດີ ດີ
ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິ ການແກ່ຕົວແບບຖາວອນ (ການແກ່ຕົວຕາມທຳມະຊາດ) ລ່ອງລອຍໄປຕາມການເວລາ (ບັນເທົາຄວາມຕຶງຄຽດ) ໝັ້ນຄົງ
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ພູມຄຸ້ມກັນ ຕ້ອງການການເຄືອບ/ການທາສີ ດີ
ຄຸນສົມບັດແມ່ເຫຼັກ ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ ແມ່ເຫຼັກ (ລົບກວນ e-beam) ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ

ບົດຮຽນຫຼັກ: ສຳລັບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ຕ້ອງການຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນລະດັບ sub-micron, ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳຂອງຫີນແກຣນິດ ແລະ ລັກສະນະທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກເຮັດໃຫ້ມັນດີກ່ວາເຫຼັກ ແລະ ທົນທານກວ່າການຫລໍ່ດ້ວຍແຮ່ທາດ.

ໄມ້ບັນທັດສີ່ຫລ່ຽມແກຣນິດທີ່ມີພື້ນຜິວຄວາມແມ່ນຍໍາ 4 ດ້ານ

ວິທະຍາສາດຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງ: ການຂະຫຍາຍຕົວຕໍ່າ ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນສູງ

ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບສອງຢ່າງຂອງຫີນແກຣນິດແມ່ນສຳຄັນທີ່ສຸດ:

1. ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ

ໂຮງງານຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ (ໂຮງງານ) ຮັກສາການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ແຕ່ຄວາມຜັນຜວນຂອງອຸນຫະພູມຍັງເກີດຂຶ້ນ. ຫີນແກຣນິດມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳຫຼາຍ (ໂດຍປົກກະຕິປະມານ
4.5 × 10−6/∘C

4.5 × 10−6/∘C). ນີ້ໝາຍຄວາມວ່າເຖິງແມ່ນວ່າອຸນຫະພູມອາກາດຈະປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍ, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດຍັງຄົງຄົງທີ່ທາງດ້ານມິຕິ, ຮັບປະກັນວ່າການຈັດລຽງຂອງຂັ້ນຕອນເວເຟີຍັງຄົງຖືກຕ້ອງຕາມນາໂນແມັດ.

2. ຄວາມສາມາດໃນການດູດຊຶມສູງ

ການສັ່ນສະເທືອນແມ່ນສັດຕູຂອງຄວາມແມ່ນຍຳ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການສັ່ນສະເທືອນຂອງພື້ນ ຫຼື ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເກີດຈາກມໍເຕີຂອງເຄື່ອງຈັກເອງ, ການສັ່ນສະເທືອນເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ "ພາບ" ຂອງຂະບວນການມົວ. ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງຫີນແກຣນິດດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບຫຼາຍກ່ວາເຫຼັກກ້າ ຫຼື ເຫຼັກກ້າ. ຄວາມສາມາດໃນການດູດຊຶມຄວາມຊຸ່ມສູງນີ້ແມ່ນສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບລະບົບກວດກາແຜ່ນເວເຟີ.

ການສຶກສາກໍລະນີອຸດສາຫະກໍາ: ອຸປະກອນກວດກາແຜ່ນເວເຟີ

ພິຈາລະນາຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງມືກວດສອບແຜ່ນເວເຟີຊັ້ນນໍາ. ສິ່ງທ້າທາຍຂອງພວກເຂົາແມ່ນການເຄື່ອນຍ້າຍຄວາມຮ້ອນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດລຽງທາງແສງຂອງເຊັນເຊີຂອງພວກເຂົາໃນລະຫວ່າງຮອບວຽນການສະແກນທີ່ຍາວນານ.
ວິທີແກ້ໄຂ ZHHIMG:
ພວກເຮົາໄດ້ປ່ຽນແທນໂຄງສ້າງພື້ນຖານໂລຫະທີ່ມີຢູ່ແລ້ວຂອງເຂົາເຈົ້າດ້ວຍອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດ.
  • ການເຊື່ອມໂຍງ: ພວກເຮົາໄດ້ເຄື່ອງຈັກຕິດຕັ້ງອິນເຕີເຟດການຕິດຕັ້ງ ແລະ ຊ່ອງສາຍໄຟທີ່ຊັດເຈນໂດຍກົງເຂົ້າໃນໂຄງສ້າງແກຣນິດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສັບສົນຂອງການປະກອບ.
  • ຜົນໄດ້ຮັບ: ລູກຄ້າລາຍງານວ່າມີການຫຼຸດຜ່ອນການບິດເບືອນທາງຄວາມຮ້ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດໄດ້ສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມ "ທີ່ເປັນກາງ" ສຳລັບລະບົບສາຍຕາ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນ ແລະ ການກວດຈັບຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງໜ້ອຍລົງ.

ຮ່ວມມືກັບ ZHHIMG ເພື່ອຄວາມແມ່ນຍໍາ

ການເລືອກຜູ້ສະໜອງທີ່ເໝາະສົມແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າກັບການເລືອກວັດສະດຸທີ່ເໝາະສົມ. ທີ່ ZHHIMG Group, ພວກເຮົາບໍ່ພຽງແຕ່ຕັດຫີນເທົ່ານັ້ນ; ພວກເຮົາຍັງວິສະວະກຳໂຄງສ້າງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງອີກດ້ວຍ.
  • ການຜະລິດຂັ້ນສູງ: ພວກເຮົາໃຊ້ສູນເຄື່ອງຈັກ CNC ຂະໜາດໃຫຍ່ເພື່ອໃຫ້ບັນລຸຄວາມທົນທານທີ່ເຄັ່ງຄັດກັບຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ.
  • ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ: ທຸກໆອົງປະກອບຜ່ານການກວດກາຢ່າງເຂັ້ມງວດໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກເລເຊີ ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຂະໜານຕາມມາດຕະຖານເຄິ່ງຕົວນຳສະເພາະຂອງທ່ານ.
  • ການປັບແຕ່ງ: ຈາກໜ້າດິນຮັບລົມທີ່ໂຫຼດລ່ວງໜ້າດ້ວຍສູນຍາກາດໄປຈົນເຖິງແຜ່ນໃສ່ເກຣວ, ພວກເຮົາລວມເອົາຄວາມຕ້ອງການດ້ານກົນຈັກຂອງທ່ານໂດຍກົງເຂົ້າໃນຫີນແກຣນິດ.
ສະຫຼຸບ
ໃນຂະນະທີ່ພວກເຮົາກ້າວໄປສູ່ປີ 2026, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງວັດສະດຸ sub-micron ຈະເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ໂດຍການເລືອກອົງປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ເວລາໂພສ: ເມສາ-09-2026