ອົງປະກອບແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນລະບົບ optical: ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ ແລະ ສິ່ງທ້າທາຍໃນການຜະລິດ

ແກ້ວນຳແສງແມ່ນກະດູກສັນຫຼັງຂອງໂຟໂຕນິກທີ່ທັນສະໄໝ. ຕັ້ງແຕ່ການສື່ສານຈົນເຖິງການປ້ອງກັນ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ກຳລັງມີຄວາມເຂັ້ມງວດເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ.

ໃນລະບົບເລເຊີພະລັງງານສູງ, ອົງປະກອບທາງດ້ານແສງຕ້ອງທົນທານຕໍ່ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານອັນມະຫາສານ. ຂໍ້ບົກຜ່ອງທາງຈຸລະພາກ ຫຼື ສິ່ງປົນເປື້ອນໃດໆໃນແກ້ວສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍທີ່ເກີດຈາກເລເຊີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ລະບົບທັງໝົດເສຍຫາຍ. ຈຸດສຸມຂອງການຜະລິດຢູ່ທີ່ນີ້ແມ່ນເພື່ອກໍາຈັດຄວາມເສຍຫາຍໃຕ້ພື້ນຜິວ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງສູງເພື່ອປ້ອງກັນການບິດເບືອນຂອງລໍາແສງ.

ຍ້ອນວ່າກ້ອງສ່ອງທາງໄກອະວະກາດ ແລະ ເຄື່ອງມືສຳຫຼວດໄລຍະໄກມີຂະໜາດຮູຮັບແສງເພີ່ມຂຶ້ນ (ປະຈຸບັນເກີນ 4 ແມັດ), ຄວາມຕ້ອງການນ້ຳໜັກເບົາ ແລະ ຄວາມແນ່ນອນຂອງພື້ນຜິວກໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ອົງປະກອບທາງດ້ານແສງສຳລັບອະວະກາດຕ້ອງຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງມັນໄວ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ເຊິ່ງຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ມີສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳຫຼາຍ.

ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ລະບົບການພິມດ້ວຍແສງ EUV ແມ່ນອີງໃສ່ກະຈົກສະທ້ອນແສງທີ່ມີຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ຄວບຄຸມໃຫ້ໜ້ອຍກວ່າ 0.1 nm (RMS). ແມ່ນແຕ່ການກະທົບກະເທືອນໃນລະດັບອະຕອມກໍສາມາດກະແຈກກະຈາຍແສງ ແລະ ທຳລາຍຄວາມລະອຽດຂອງຊິບໄດ້. ນີ້ສະແດງເຖິງຈຸດສູງສຸດຂອງການຜະລິດແກ້ວແສງ.

ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານການຜະລິດ: ຄວາມຕຶງຄຽດ, ຄວາມຮາບພຽງ, ແລະ ຄວາມລຽບນຽນ

1. ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນພາຍໃນ

• ສິ່ງທ້າທາຍ: ການປຸງແຕ່ງແກ້ວທີ່ແຂງ ແລະ ແຕກງ່າຍມັກຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນຂະໜາດນ້ອຍ.
• ວິທີການຂອງພວກເຮົາ: ພວກເຮົາໃຊ້ຂະບວນການຫົດຕົວທີ່ທັນສະໄໝ ແລະ ເຕັກນິກການຂຶ້ນຮູບທີ່ມີຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່າ. ໂດຍການຄວບຄຸມອັດຕາການເຮັດຄວາມເຢັນຢ່າງເຂັ້ມງວດ ແລະ ການໃຊ້ກົນລະຍຸດການເຄື່ອງຈັກທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນ, ພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງແກ້ວຍັງຄົງເປັນກາງ ແລະ ໝັ້ນຄົງ.

2. ການບັນລຸຄວາມຮາບພຽງສູງຫຼາຍ (ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄວາມຖີ່ຕ່ຳ)

• ສິ່ງທ້າທາຍ: ການຂັດແບບດັ້ງເດີມສາມາດເຮັດໃຫ້ຄື້ນເປັນຄື້ນ ຫຼື ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດທີ່ເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງໜ້າຄື້ນຫຼຸດລົງ.
• ວິທີການຂອງພວກເຮົາ: ພວກເຮົາໃຊ້ລະບົບການສ່ອງແສງທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍຄອມພິວເຕີທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ (CCOS). ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດແກ້ໄຂຄວາມຜິດພາດຄວາມຖີ່ຕ່ຳ (ການບ່ຽງເບນຮູບຮ່າງ) ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄ່າສູງສຸດເຖິງຮ່ອມພູ (PV) ເຊິ່ງມັກຈະໜ້ອຍກວ່າ 1 nm, ຮັບປະກັນວ່າເສັ້ນທາງແສງຍັງຄົງສອດຄ່ອງກັນຢ່າງສົມບູນ.

3. ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ (ຄວາມລຽບຂອງຄວາມຖີ່ສູງ)

• ສິ່ງທ້າທາຍ: ການກຳຈັດ “ໝອກ” ແລະ ຮອຍຂີດຂ່ວນນ້ອຍໆ ທີ່ເກີດຈາກການບົດ ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຫັນປ່ຽນຈາກການກຳຈັດວັດສະດຸໄປສູ່ການເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວລຽບ.
• ວິທີການຂອງພວກເຮົາ: ພວກເຮົາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການຂັດເງົາທີ່ກ້າວໜ້າ, ລວມທັງການສຳເລັດຮູບດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຈາກແມ່ເຫຼັກ. ເຕັກນິກນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປະມວນຜົນຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນເປັນຊຸດ (ເຊັ່ນ: ເລນຮູບຊົງອິດສະຫຼະ) ໃນຂະນະທີ່ບັນລຸຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວທີ່ຕ່ຳກວ່ານາໂນແມັດ (Ra < 0.6 nm) ໂດຍບໍ່ມີການສ້າງຄວາມເສຍຫາຍໃໝ່ຕໍ່ພື້ນຜິວ.

ZHHIMG: ຄູ່ຮ່ວມງານຂອງທ່ານໃນຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ

• ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ: ການເຄື່ອງຈັກຂອງອົງປະກອບທາງແສງທີ່ມີຮູບຮ່າງເສລີ, ຮູບຮ່າງຄ້າຍຮູບຊົງກົມ, ແລະ ຮູບຮ່າງຮາບພຽງ.
• ການວັດແທກ ແລະ ການກວດກາ: ການນໍາໃຊ້ອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີ ແລະ ໂປຣໂຟໂລມິເຕີ ເພື່ອກວດສອບຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຮູບແບບໃນເວລາຈິງ.
• ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານວັດສະດຸ: ມີປະສົບການຢ່າງເລິກເຊິ່ງກັບຊິລິກາຟວັສ, ຄວດສ໌, ແລະແວ່ນຕາພິເສດທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນການຖ່າຍທອດທາງແສງສູງ ແລະ ການຂະຫຍາຍຕົວຕໍ່າ.