ໃນການສະແຫວງຫາຢ່າງບໍ່ຢຸດຢັ້ງຂອງການຫຍໍ້ຂະໜາດ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ກຳນົດເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ, ວັດສະດຸໂຄງສ້າງບໍ່ແມ່ນການພິຈາລະນາອັນດັບສອງອີກຕໍ່ໄປ. ຕັ້ງແຕ່ລະບົບການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການກຳນົດຄຸນລັກສະນະຂອງວົງຈອນໃນລະດັບນາໂນແມັດ ຈົນເຖິງເວທີການກວດກາທາງແສງທີ່ກວດສອບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິໃນລະດັບຊັບໄມຄຣອນ, ພື້ນຖານທີ່ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂຶ້ນໂດຍກົງຈະກຳນົດຄວາມສາມາດສູງສຸດຂອງພວກມັນ.
ຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ກາຍເປັນວັດສະດຸທີ່ເລືອກໃຊ້ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ ແລະ ລະບົບ optical. ວັດສະດຸທໍາມະຊາດນີ້, ເຊິ່ງໄດ້ປັບປຸງມາເປັນເວລາຫຼາຍພັນປີທາງທໍລະນີສາດ, ສະເໜີການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ໂລຫະວິສະວະກຳບໍ່ສາມາດທຽບເທົ່າໄດ້ - ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານກັບການເລື່ອນຂອງມິຕິ, ການດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນທີ່ແຍກຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນອອກຈາກສຽງລົບກວນສິ່ງແວດລ້ອມ, ແລະ ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີທີ່ທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງຂອງການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ.
ບົດຄວາມນີ້ກວດສອບວິທີການແກ້ໄຂບັນຫາຫີນແກຣນິດທີ່ຜະລິດຕາມຄວາມຕ້ອງການທີ່ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸປະກອນທາງແສງກຳລັງປະເຊີນຢູ່, ໂດຍໃຫ້ພື້ນຖານດ້ານວິຊາການແກ່ວິສະວະກອນ ແລະ ຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານການຈັດຊື້ສຳລັບການອອກແບບລະບົບທີ່ດີທີ່ສຸດ.
ສິ່ງທ້າທາຍຂອງເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ: ຄວາມແມ່ນຍຳໃນລະດັບນາໂນມິເຕີ
ເຂົ້າໃຈຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ
ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝເປັນຕົວແທນຂອງຈຸດສູງສຸດຂອງການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ. ຍ້ອນວ່າຮູບຮ່າງຂອງຊິບຍັງສືບຕໍ່ຫົດຕົວລົງຕໍ່າກວ່າໂຫນດຂະບວນການ 7nm, ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ເພື່ອຜະລິດອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງເຮັດວຽກດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ບໍ່ເຄີຍມີມາກ່ອນ.
ຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສໍາຄັນ:
| ຂະບວນການ | ຄວາມທົນທານໂດຍປົກກະຕິ | ຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດ |
|---|---|---|
| ການວາງຊ້ອນກັນຂອງຫີນພິມ | ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈັດລຽນ <3nm | ສະຫະສຳພັນອັດຕາຄວາມຜິດປົກກະຕິໂດຍກົງ |
| ການກວດກາແຜ່ນເວເຟີ | ການກວດຈັບຄຸນສົມບັດ <10nm | ຄວາມສາມາດໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ |
| CMP (ການຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີ) | ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ <50nm | ການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຊັ້ນ |
| ການວາງຕຳແໜ່ງຂອງເຄື່ອງແກະສະຫຼັກ | ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວາງຕຳແໜ່ງ <5nm | ຄວາມແນ່ນອນຂອງຮູບແບບ |
| ການວາງຟິມບາງໆ | ການຄວບຄຸມຄວາມໜາ <1nm | ປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າ |
ໃນລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາເຫຼົ່ານີ້, ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບທາງໂຄງສ້າງເລັກນ້ອຍໃນຖານອຸປະກອນ ແລະ ແພລດຟອມການເຄື່ອນໄຫວກໍ່ສາມາດແປເປັນຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ມີລາຄາແພງ ແລະ ການສູນເສຍຜົນຜະລິດ. ດັ່ງນັ້ນ, ພື້ນຖານໂຄງສ້າງຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳຕ້ອງສະໜອງ:
- ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ
- ການແຍກການສັ່ນສະເທືອນຈາກສະພາບແວດລ້ອມພື້ນຜະລິດ
- ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີຕໍ່ອາຍແກັສໃນຂະບວນການ ແລະ ຕົວແທນທຳຄວາມສະອາດ
- ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາໜ້ອຍທີ່ສຸດ
ຫີນແກຣນິດໃນລະບົບການພິມດ້ວຍຫີນ
ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນອ່ອນເປັນຕົວແທນຂອງການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດສຳລັບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ລະບົບພິມດ້ວຍຫີນອ່ອນທີ່ມີລັງສີອັນຕຣາໄວໂອເລັດສູງສຸດ (EUV), ເຊິ່ງວົງຈອນຮູບແບບມີລັກສະນະຢູ່ໃນລະດັບນາໂນແມັດ, ຕ້ອງການແພລດຟອມໂຄງສ້າງທີ່ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຢ່າງແທ້ຈິງຕະຫຼອດການດຳເນີນງານທີ່ຍາວນານ.
ການນຳໃຊ້ອົງປະກອບການພິມດ້ວຍຫີນ:
ແຜ່ນຮອງພື້ນຖານ ແລະ ກອບຫຼັກ:
- ຮອງຮັບການປະກອບຖັນ optical ແລະ wafer stage ທັງໝົດ
- ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດພາຍໃຕ້ການໂຫຼດໜັກ (ສູງສຸດຫຼາຍໂຕນ)
- ໃຫ້ການແຍກການສັ່ນສະເທືອນຈາກໂຄງສ້າງພື້ນຖານຂອງສະຖານທີ່
- ບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮາບພຽງພາຍໃນ 1-3 µm ເທິງພື້ນຜິວຂະໜາດໃຫຍ່
ລາງລົດໄຟນຳທາງ ແລະ ຂັ້ນຕອນການເຄື່ອນໄຫວ:
- ເປີດໃຊ້ງານຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງໃນລະດັບນາໂນແມັດ
- ຮອງຮັບລະບົບມໍເຕີແບຣິ່ງອາກາດ ຫຼື ລະບົບມໍເຕີເສັ້ນຊື່
- ຮັກສາຄວາມຊື່ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງພາຍໃຕ້ການໂຫຼດແບບໄດນາມິກ
- ໃຫ້ພື້ນຜິວອ້າງອີງທີ່ໝັ້ນຄົງສຳລັບລະບົບການຕອບສະໜອງຕຳແໜ່ງ
ໂຄງສ້າງຂົວ ແລະ ເສົາເຂັມ:
- ກວມເອົາປະລິມານການເຮັດວຽກຂະໜາດໃຫຍ່ໂດຍບໍ່ມີການໂຄ້ງງໍ
- ຮອງຮັບລະບົບການສະແກນ ແລະ ລະບົບການຮັບແສງ
- ຮັກສາການຈັດລຽນລະຫວ່າງແກນການເຄື່ອນທີ່ຫຼາຍອັນ
- ຕ້ານທານກັບການປ່ຽນແປງຄວາມຮ້ອນຈາກຂະບວນການສຳຜັດ
ແພລດຟອມການປຸງແຕ່ງ ແລະ ການກວດກາແຜ່ນເວເຟີ
ອຸປະກອນປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີແພລດຟອມແກຣນິດທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດລະດັບໄມຄຣອນໄດ້:
ລະບົບກວດກາແຜ່ນເວເຟີ:
- ການກວດຫາຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ຄວາມລະອຽດຂອງນາໂນແມັດ
- ການຖ່າຍພາບແສງ ແລະ ລຳແສງເອເລັກຕຣອນທີ່ມີກຳລັງຂະຫຍາຍສູງ
- ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ແມ່ນຍຳສຳລັບການສະແກນ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງຂອງເວເຟີ
- ການແຍກການສັ່ນສະເທືອນເພື່ອຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຮູບພາບ
ຕາຕະລາງການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີ:
- ອຸປະກອນເຈາະ, ແກະສະຫຼັກ ແລະ ພື້ນຖານການວາງຊັ້ນ
- ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີຕໍ່ອາຊິດ, ເບສ ແລະ ຕົວລະລາຍ
- ການຮັກສາຄວາມຮາບພຽງເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນຂອງຂະບວນການທີ່ເປັນເອກະພາບ
- ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ
ການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີ (CMP):
- ຄວາມສາມາດໃນການຮັບນ້ຳໜັກສູງສຳລັບຫົວຂັດ
- ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮາບພຽງພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນແບບໄດນາມິກ
- ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີຕໍ່ນ້ຳເປື້ອນ ແລະ ນ້ຳຢາທຳຄວາມສະອາດ
- ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ໃນໄລຍະຍາວ
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ Granite Semiconductor
| ຊັບສິນ | ມູນຄ່າໃນການນໍາໃຊ້ເຄື່ອງກຶ່ງຕົວນໍາ | ຜົນປະໂຫຍດ |
|---|---|---|
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ | ≈3×10⁻⁶/°C (1/3 ຂອງເຫຼັກ) | ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ |
| ຄວາມແຂງກະດ້າງ ແລະ ການດູດຊຶມແຮງສັ່ນສະເທືອນສູງ | ອັດຕາສ່ວນການດູດຊຶມ 0.012-0.015 | ສະກັດກັ້ນການສັ່ນສະເທືອນ, ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳໃນລະດັບນາໂນ |
| ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ | ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ pH 1-14 | ຕ້ານທານກັບສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການກັດກ່ອນ |
| ຄວາມແຂງສູງ | ໂມຮ໌ 6-7 | ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ |
| ຄຸນສົມບັດການກັນຄວາມຮ້ອນ | ບໍ່ນຳໄຟຟ້າ, ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ | ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຈາກໄຟຟ້າສະຖິດຕໍ່ອົງປະກອບທີ່ລະອຽດອ່ອນ |
ລະບົບທາງ optical: ບ່ອນທີ່ຄວາມໝັ້ນຄົງເຮັດໃຫ້ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ
ສິ່ງທ້າທາຍຂອງແພລດຟອມ Optical
ລະບົບທາງແສງ — ບໍ່ວ່າຈະໃຊ້ສຳລັບການກວດກາ, ການວັດແທກ, ຫຼື ການປະມວນຜົນດ້ວຍເລເຊີ — ເຮັດວຽກຢູ່ທີ່ຈຸດຕັດກັນລະຫວ່າງແສງສະຫວ່າງ ແລະ ກົນໄກຄວາມແມ່ນຍໍາ. ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງໃດໆໃນເວທີທາງແສງຈະແປໂດຍກົງໄປສູ່ຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກ, ການເສື່ອມສະພາບຂອງຮູບພາບ, ຫຼື ການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການ.
ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງຄວາມຜິດພາດຂອງລະບົບ Optical:
- ການເລື່ອນຄວາມຮ້ອນ: ການປ່ຽນແປງມິຕິໃນແພລດຟອມປ່ຽນແປງຄວາມຍາວຂອງເສັ້ນທາງແສງ ແລະ ການຈັດລຽງຂອງອົງປະກອບ
- ການສັ່ນສະເທືອນ: ການສັ່ນສະເທືອນຂອງສິ່ງແວດລ້ອມເຮັດໃຫ້ເກີດການເຄື່ອນທີ່ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງລະຫວ່າງອົງປະກອບທາງແສງ ແລະ ຕົວຢ່າງ
- ການເລືອຄານຂອງໂຄງສ້າງ: ການຜິດຮູບໃນໄລຍະຍາວສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຈັດລຽນທີ່ປັບແລ້ວ
- ການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກ: ມີຜົນກະທົບຕໍ່ເຊັນເຊີຄວາມແມ່ນຍໍາ ແລະ ຕົວກະຕຸ້ນໃນລະບົບແສງ
ແພລດຟອມ Granite Optical: ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວິສະວະກຳ
ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ດີກວ່າ:
ລະບົບທາງ optical ມີຄວາມອ່ອນໄຫວເປັນພິເສດຕໍ່ກັບການຍ້າຍຂະໜາດນ້ອຍ. ການສັ່ນສະເທືອນພາຍນອກຈາກອຸປະກອນໂຮງງານ, ລະບົບ HVAC, ຫຼືແມ່ນແຕ່ການຈະລາຈອນທາງໄກສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການເຄື່ອນໄຫວທີ່ກ່ຽວຂ້ອງທີ່ເຮັດໃຫ້ຮູບພາບມົວ ຫຼື ເຮັດໃຫ້ການວັດແທກບໍ່ຖືກຕ້ອງ.
ຫີນແກຣນິດສີດຳທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນ ≈3100 kg/m³ ມີໂຄງສ້າງຜລຶກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງໃນການກະຈາຍພະລັງງານກົນຈັກ. ບໍ່ເຫມືອນກັບພື້ນຖານໂລຫະທີ່ສົ່ງຕໍ່ການສັ່ນສະເທືອນ, ຫີນແກຣນິດດູດຊຶມພະລັງງານພາຍໃນແມັດທຣິກຜລຶກຂອງມັນ, ສ້າງພື້ນກົນຈັກທີ່ງຽບສະຫງົບສຳລັບລະບົບແສງ.
ປະສິດທິພາບການຫຼຸດການສັ່ນສະເທືອນ:
| ວັດສະດຸ | ອັດຕາສ່ວນການສັ່ນສະເທືອນ | ການຫຼຸດຄວາມສັ່ນສະເທືອນ (50-500Hz) |
|---|---|---|
| ຫີນແກຣນິດ | 0.012-0.015 | 95% |
| ເຫຼັກຫລໍ່ | 0.003-0.005 | 60-70% |
| ເຫຼັກ | 0.001-0.002 | 20-30% |
| ອາລູມິນຽມ | 0.0001-0.0005 | <10% |
ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ:
ການວັດແທກທາງແສງມັກຈະກວມເອົາໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ - ຊົ່ວໂມງສຳລັບການສະແກນແບບອິນເຕີເຟໂຣເມຕຣິກທີ່ສັບສົນ ຫຼື ລຳດັບການຖ່າຍພາບທີ່ຍາວນານ. ໃນລະຫວ່າງໄລຍະເວລາເຫຼົ່ານີ້, ການປ່ຽນແປງມິຕິໃດໆໃນແພລດຟອມຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດພາດຢ່າງເປັນລະບົບ.
ມວນສານສູງ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳຂອງຫີນແກຣນິດໃຫ້ຄວາມเฉื่อยທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຈຳເປັນເພື່ອຕ້ານທານກັບການຂະຫຍາຍຕົວ ແລະ ການຫົດຕົວເລັກນ້ອຍ. ຄວາມໝັ້ນຄົງນີ້ຮັບປະກັນວ່າໄລຍະຫ່າງໂຟກັດທີ່ຖືກປັບ ແລະ ການຈັດລຽງທາງແສງຍັງຄົງທີ່ຕະຫຼອດລຳດັບການວັດແທກທີ່ຍາວນານ.
ການບັນລຸຄວາມຮາບພຽງລະດັບນາໂນແມັດ:
ຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ເຫັນໄດ້ຊັດເຈນທີ່ສຸດລະຫວ່າງເວທີແກຣນິດອຸດສາຫະກໍາ ແລະ ເວທີແກຣນິດລະດັບ optical ແມ່ນຄວາມຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງ. ໃນຂະນະທີ່ພື້ນຖານອຸດສາຫະກໍາມາດຕະຖານອາດຈະຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການລະດັບ 0 ຫຼື ລະດັບ 00 (ວັດແທກເປັນໄມຄຣອນ), ລະບົບ optical ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຮາບພຽງທີ່ສາມາດວັດແທກໄດ້ເປັນນາໂນແມັດ.
ການປຽບທຽບລະດັບຄວາມຮາບພຽງ:
| ແອັບພລິເຄຊັນ | ຄວາມຮາບພຽງທີ່ຕ້ອງການ | ຊັ້ນຮຽນທົ່ວໄປ |
|---|---|---|
| ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ | ±5-10 ໄມໂຄຣມ/ມ | ຊັ້ນ 0/1 |
| ການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ | ±1-3 ໄມໂຄຣມ/ມ | ຊັ້ນ 00 |
| ການກວດສອບທາງສາຍຕາ | ±0.5-1 ໄມໂຄຣມ/ມ | ເກຣດ 000 |
| ທັດສະນະສາດຂັ້ນສູງ/ການພິມດ້ວຍຫີນ | <0.5 ໄມໂຄຣມ/ມ | ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ |
ແອັບພລິເຄຊັນແພລດຟອມ Optical
ພື້ນຖານເລເຊີອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີ:
- ການວັດແທກການຍົກຍ້າຍໃນລະດັບໄມຄຣອນ ແລະ ຊັບໄມຄຣອນ
- ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສຳລັບລຳດັບການວັດແທກທີ່ຍາວນານ
- ການແຍກການສັ່ນສະເທືອນເພື່ອຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງ interferometric
- ການໂຕ້ຕອບການຕິດຕັ້ງທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບອົງປະກອບ optical
ການກວດກາດ້ວຍແສງອັດຕະໂນມັດ (AOI):
- ລະບົບການຖ່າຍພາບທີ່ມີການຂະຫຍາຍສູງ
- ການເຄື່ອນໄຫວທີ່ແມ່ນຍໍາສໍາລັບການສະແກນອົງປະກອບ
- ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຮູບພາບສຳລັບອັລກໍຣິທຶມການກວດຈັບຂໍ້ບົກພ່ອງ
- ການແຍກສິ່ງແວດລ້ອມເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜົນທີ່ສອດຄ່ອງກັນ
ລະບົບການຈັດລຽນແບບແສງ:
- ການຈັດລຽງລຳແສງເລເຊີ ແລະ ຕຳແໜ່ງ
- ການຕິດຕັ້ງ ແລະ ການປັບແຕ່ງອົງປະກອບທາງ optical
- ລະນາບອ້າງອີງສຳລັບການຈັດລຽນຫຼາຍແກນ
- ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວສຳລັບການຮັກສາການປັບທຽບ
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ Breadboard Optical:
- ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການຕິດຕັ້ງ optical ແບບໂມດູນ
- ຕາຂ່າຍຮູຕິດຕັ້ງແບບມີເກລียว
- ແພລດຟອມທີ່ດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນສຳລັບອຸປະກອນທັດສະນະສາດ
- ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສຳລັບຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການທົດລອງ
ການເຄື່ອງຈັກຫີນແກຣນິດແບບກຳນົດເອງ: ອອກແບບມາສຳລັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະ
ນອກເໜືອໄປຈາກການຕັ້ງຄ່າມາດຕະຖານ
ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸປະກອນທາງດ້ານແສງທີ່ທັນສະໄໝບໍ່ຄ່ອຍຕ້ອງການແຜ່ນສີ່ຫຼ່ຽມມາດຕະຖານ. ແທນທີ່ຈະເປັນແນວນັ້ນ, ຜູ້ຜະລິດຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີໂຄງສ້າງຫີນແກຣນິດທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຫ້ກົງກັບການຕັ້ງຄ່າລະບົບສະເພາະ - ລວມເອົາຄຸນສົມບັດການຕິດຕັ້ງ, ເສັ້ນທາງສາຍໄຟ, ທາງຜ່ານການບໍລິການ, ແລະ ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບສຳລັບແຕ່ລະການນຳໃຊ້.
ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຂັ້ນສູງ
ການເຄື່ອງຈັກ CNC 5 ແກນ:
- ເລຂາຄະນິດສາມມິຕິທີ່ສັບສົນ
- ຄຸນສົມບັດການຕິດຕັ້ງແບບປະສົມປະສານ ແລະ ໜ້າດິນ datum
- ຊິ້ນສ່ວນໃສ່ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ຮູເກຼียว, ແລະ ຮ່ອງຈັດລຽນ
- ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງ: ≤±0.01 ມມ
ການຂັດ ແລະ ການຂັດແບບແມ່ນຍຳ:
- ການຂັດດ້ວຍລໍ້ເພັດສຳລັບການຂັດຜິວໜ້າ
- ຜົນສຳເລັດດ້ານຄວາມຮາບພຽງ: <1 µm ສຳລັບຄວາມແມ່ນຍຳມາດຕະຖານ
- ການຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບພື້ນຜິວລະດັບນາໂນແມັດ
- ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ: Ra 0.1-0.4 µm
ຄຸນສົມບັດປະສົມປະສານ:
- ບຸຊທີ່ມີເກລียว ແລະ ແຜ່ນເຫຼັກສຳລັບຍຶດຕິດ
- ຊ່ອງທາງສາຍເຄເບີ້ນ ແລະ ຊ່ອງທາງທາງອາກາດ
- ຂໍ້ມູນການຈັດລຽງແບບແມ່ນຍຳ
- ຮູບແບບຮູທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບການຕິດຕັ້ງອົງປະກອບ
ການຢັ້ງຢືນຄຸນນະພາບ:
- ການວັດແທກອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີເລເຊີ (Renishaw XL-80)
- ການກວດສອບລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ (ລະບົບ Wyler)
- ການກວດກາເຄື່ອງວັດແທກພິກັດ
- ການວິເຄາະໂປຣໄຟລ໌ພື້ນຜິວ ແລະ ການວິເຄາະເລຂາຄະນິດ
ການເລືອກວັດສະດຸສຳລັບການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີສູງ
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຂອງຫີນແກຣນິດສີດໍາທີ່ນິຍົມ:
| ຊັບສິນ | ລາຍລະອຽດ | ຄວາມສຳຄັນ |
|---|---|---|
| ຄວາມໜາແໜ້ນ | >3,000 ກິໂລກຣາມ/ມ³ | ການດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມວນສານ |
| ຄວາມແຂງ | ໂມຮ໌ 6-7 | ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມທົນທານ |
| ການດູດຊຶມນ້ຳ | <0.1% | ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ | >200 MPa | ຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດໂດຍບໍ່ມີການຜິດຮູບ |
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ | 4-9 ×10⁻⁶/°C | ສະຖຽນລະພາບຂອງມິຕິພາຍໃຕ້ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ |
ຊັ້ນວັດສະດຸ:
- G350 (ຊັ້ນມາດຕະຖານ): ເໝາະສຳລັບການນຳໃຊ້ຄວາມແມ່ນຍຳທົ່ວໄປ, ຄວາມຮາບພຽງ ±0.005 ມມ/ມ²
- G650 (ຊັ້ນຄວາມແມ່ນຍຳສູງ): ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳສູງສຸດ, ຄວາມຮາບພຽງ ±0.0015 ມມ/ມ²
ຂະບວນການວິສະວະກຳແບບກຳນົດເອງ
ຂັ້ນຕອນທີ 1: ການຮ່ວມມືດ້ານການອອກແບບ
- ການປຶກສາຫາລືດ້ານວິສະວະກຳໃນໄລຍະຕົ້ນໆຂອງໂຄງການ
- ການສ້າງແບບຈຳລອງ CAD ດ້ວຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ
- ວັດສະດຸ ແລະ ຄຸນສົມບັດສະເພາະ
- ການວິເຄາະການໂຫຼດ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງ
ຂັ້ນຕອນທີ 2: ການຄັດເລືອກ ແລະ ການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸ
- ການເລືອກຫີນແກຣນິດສີດຳລະດັບພຣີມຽມ
- ບັນເທົາຄວາມຕຶງຄຽດຜ່ານການແກ່ຕົວຕາມທຳມະຊາດ ແລະ ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ
- ການເຄື່ອງຈັກຫຍາບໃນເບື້ອງຕົ້ນຈົນເຖິງຂະໜາດສຸດທ້າຍ
- ການຢັ້ງຢືນມິຕິລະດັບກາງ
ຂັ້ນຕອນທີ 3: ການເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
- ເຄື່ອງຕັດ CNC 5 ແກນ ສຳລັບຄຸນສົມບັດທີ່ສັບສົນ
- ການຂັດແມ່ນຍໍາເພື່ອຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງພື້ນຜິວ
- ການປະສົມປະສານຂອງຄຸນສົມບັດການຕິດຕັ້ງ ແລະ ຊິ້ນສ່ວນໃສ່
- ຮູບແບບຮູ ແລະ ໜ້າດິນ datum ທີ່ກຳນົດເອງ
ຂັ້ນຕອນທີ 4: ການປະມວນຜົນ ແລະ ການກວດກາສຸດທ້າຍ
- ການຂັດແບບແມ່ນຍໍາເພື່ອຄວາມຮາບພຽງສູງສຸດ
- ການຢັ້ງຢືນມິຕິທີ່ຄົບຖ້ວນ
- ການວັດແທກພື້ນຜິວ
- ການຮັບຮອງ ແລະ ເອກະສານ
ການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳ: ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດໃນໂລກຕົວຈິງ
ການນຳໃຊ້ການຜະລິດເຄື່ອງນຳໄຟຟ້າ
ລະບົບການພິມດ້ວຍ EUV:
- ພື້ນຖານໂຄງສ້າງທີ່ຮອງຮັບການຮັບແສງ
- ຂັ້ນຕອນການເຄື່ອນໄຫວສຳລັບການວາງຕຳແໜ່ງເວເຟີ
- ລາງນຳທາງສຳລັບການສະແກນແບບແມ່ນຍຳ
- ການບັນລຸການແຍກການສັ່ນສະເທືອນ 0.12nm
ອຸປະກອນກວດກາແຜ່ນເວເຟີ:
- ເວທີການກວດກາສຳລັບການກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງ
- ຖານການເຄື່ອນໄຫວສຳລັບການຈັດການເວເຟີ
- ພື້ນຜິວອ້າງອີງສຳລັບລະບົບທາງແສງ
- ພື້ນຜິວທີ່ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມໃນຂະບວນການ
ອຸປະກອນ CMP:
- ແພລດຟອມຂັດທີ່ມີຄວາມຈຸສູງ
- ການຮັກສາຄວາມຮາບພຽງພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນແບບໄດນາມິກ
- ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີຕໍ່ກັບສິ່ງເສດເຫຼືອ
- ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ໃນໄລຍະຍາວ
ການນຳໃຊ້ທາງດ້ານແສງ ແລະ ເລເຊີ
ລະບົບການປະມວນຜົນເລເຊີ:
- ແພລດຟອມສົ່ງສັນຍານ Beam
- ຖານການເຄື່ອນໄຫວສຳລັບການຕັດ ແລະ ໝາຍດ້ວຍເລເຊີ
- ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນສຳລັບການຈັດວາງລຳແສງ
- ການສັ່ນສະເທືອນເພື່ອການປະມວນຜົນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
ການວັດແທກທາງແສງ:
- ພື້ນຖານອິນເຕີເຟໂຣມິເຕີ
- ແພລດຟອມເຄື່ອງວັດແທກພິກັດ
- ເຄື່ອງວັດໂປຣໄຟລ໌ ແລະ ພື້ນຖານວັດແທກໜ້າດິນ
- ມາດຕະຖານການປັບທຽບ ແລະ ມາດຕະຖານອ້າງອີງ
ເຄື່ອງມືວິທະຍາສາດ:
- ພື້ນຖານອຸປະກອນການກະຈາຍລັງສີເອັກສ໌ (XRD)
- ເວທີກ້ອງຈຸลະທັດເອເລັກຕຣອນ
- ພື້ນຖານເຄື່ອງມືສະເປກໂຕຣສະໂຄປີ
- ຕາຕະລາງແສງໃນຫ້ອງທົດລອງຄົ້ນຄວ້າ
ການນຳໃຊ້ການຜະລິດຂັ້ນສູງ
ການຜະລິດຈໍສະແດງຜົນແບບຮາບພຽງ:
- ແພລດຟອມອຸປະກອນ a-Si Array
- ອຸປະກອນປະມວນຜົນອາເຣ LTPS
- ລະບົບການຈັດການພື້ນຖານພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່
- ການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວພື້ນຜິວຂະໜາດໃຫຍ່
ອັດຕະໂນມັດຄວາມແມ່ນຍໍາ:
- ຫຸ່ນຍົນຈັດການເຊມິຄອນດັກເຕີ
- ລະບົບກວດກາອັດຕະໂນມັດ
- ອຸປະກອນປະກອບຄວາມແມ່ນຍໍາ
- ແພລດຟອມທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດ
ການພິຈາລະນາດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ການດຳເນີນງານ
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດ
ສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດແບບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອອບຕິກຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີອຸປະກອນທີ່ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານຄວາມສະອາດທີ່ເຂັ້ມງວດ:
ຂໍ້ດີຂອງ Granite ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ Cleanroom:
- ພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ຫຼົ່ນລົງທີ່ບໍ່ສ້າງອະນຸພາກ
- ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບໂປໂຕຄອນການທຳຄວາມສະອາດ
- ຄຸນສົມບັດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກປ້ອງກັນການດຶງດູດຂອງອະນຸພາກ
- ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວມີໃຫ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ສະອາດທີ່ສຸດ
ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ
ການປຸງແຕ່ງແບບເຄິ່ງຕົວນຳກ່ຽວຂ້ອງກັບການສຳຜັດກັບສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ:
| ສິ່ງແວດລ້ອມທາງເຄມີ | ປະສິດທິພາບຂອງຫີນແກຣນິດ | ການສະແດງໂລຫະ |
|---|---|---|
| ກົດ (HCl, H₂SO₄, HF) | ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດ | ຕ້ອງການການເຄືອບປ້ອງກັນ |
| ເບສ (NH₄OH, KOH) | ຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດ | ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການກັດກ່ອນ |
| ຕົວລະລາຍ | ບໍ່ມີການເສື່ອມສະພາບ | ອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການເຄືອບ |
| ອາຍແກັສໃນຂະບວນການ | ການຕອບສະໜອງທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ | ອາດຈະຕ້ອງການວັດສະດຸພິເສດ |
ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ
ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸປະກອນທາງດ້ານແສງມັກຈະຍາວນານຫຼາຍທົດສະວັດ. ພື້ນຖານໂຄງສ້າງຕ້ອງຮັກສາປະສິດທິພາບຕະຫຼອດອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານນີ້:
ຂໍ້ດີຂອງ Granite ທີ່ມີອາຍຸຍືນ:
- ບໍ່ມີການຜ່ອນຄາຍຄວາມກົດດັນພາຍໃນ (ບໍ່ເຫມືອນກັບໂລຫະ)
- ບໍ່ມີການກັດກ່ອນ ຫຼື ອົກຊີເດຊັນ
- ຮູບຮ່າງທີ່ໝັ້ນຄົງມີອາຍຸການໃຊ້ງານຫຼາຍກວ່າ 20 ປີ
- ຄວາມຕ້ອງການດ້ານການບຳລຸງຮັກສາໜ້ອຍທີ່ສຸດ
- ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຈາກການເຄື່ອນໄຫວຂອງອົງປະກອບ
ແນວທາງການຄັດເລືອກ ແລະ ການຈັດຊື້
ການປະເມີນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ
ເມື່ອລະບຸໂຄງສ້າງ granite ທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບການນຳໃຊ້ semiconductor ຫຼື optical, ໃຫ້ພິຈາລະນາ:
ຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາ:
- ຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດທີ່ຕ້ອງການ
- ຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດ ແລະ ການແຈກຢາຍ
- ການເຊື່ອມໂຍງກັບລະບົບການເຄື່ອນໄຫວ
- ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ
ປັດໄຈສິ່ງແວດລ້ອມ:
- ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ
- ຂໍ້ກຳນົດການຈັດປະເພດຫ້ອງສະອາດ
- ທ່າແຮງການສຳຜັດກັບສານເຄມີ
- ລັກສະນະສະພາບແວດລ້ອມການສັ່ນສະເທືອນ
ຂໍ້ກຳນົດການດຳເນີນງານ:
- ຄວາມຄາດຫວັງຂອງຊີວິດການບໍລິການ
- ການເຂົ້າເຖິງການບຳລຸງຮັກສາ
- ຄວາມຊັບຊ້ອນຂອງການເຊື່ອມໂຍງ
- ຄວາມຕ້ອງການດ້ານເອກະສານ ແລະ ການຕິດຕາມ
ເງື່ອນໄຂການຮັບຮອງຜູ້ສະໜອງ
ເລືອກຄູ່ຮ່ວມງານເຄື່ອງຈັກແກຣນິດທີ່ມີຄວາມສາມາດທີ່ສະແດງໃຫ້ເຫັນ:
- ປະສົບການ: ຢ່າງໜ້ອຍ 10 ປີ ເຮັດວຽກໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ/ແສງ
- ໃບຢັ້ງຢືນ: ການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບ ISO 9001, ສິ່ງແວດລ້ອມ ISO 14001
- ຄວາມສາມາດ: CNC 5 ແກນພາຍໃນບໍລິສັດ, ການຂັດແບບແມ່ນຍໍາ, ການປັບທຽບເລເຊີ
- ການສະໜັບສະໜູນດ້ານວິສະວະກຳ: ການຮ່ວມມືດ້ານການອອກແບບ ແລະ ການບໍລິການເພີ່ມປະສິດທິພາບ
- ລະບົບຄຸນນະພາບ: ການຕິດຕາມໄດ້ຢ່າງຄົບຖ້ວນ ແລະ ເອກະສານທີ່ຄົບຖ້ວນ
- ການຕິດຕັ້ງອ້າງອີງ: ປະສິດທິພາບທີ່ພິສູດແລ້ວໃນການນຳໃຊ້ທີ່ຄ້າຍຄືກັນ
ຂໍ້ກຳນົດເອກະສານຄຸນນະພາບ
ເອກະສານທີ່ຄົບຖ້ວນສົມບູນສະໜັບສະໜູນລະບົບການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບ:
ເອກະສານມາດຕະຖານ:
- ໃບຢັ້ງຢືນວັດສະດຸ ແລະ ເອກະສານຕົ້ນກຳເນີດ
- ບົດລາຍງານການກວດກາດ້ານມິຕິ
- ຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ການຢັ້ງຢືນເລຂາຄະນິດ
- ການວັດແທກພື້ນຜິວ
ເອກະສານຂັ້ນສູງ:
- ຂໍ້ມູນການວັດແທກ interferometer ເລເຊີ
- ການຮັບຮອງການຂີ່ລົດຖີບດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ
- ການທົດສອບຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ (ຖ້າມີ)
- ການຮັບຮອງຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຫ້ອງສະອາດ
ແນວໂນ້ມຕະຫຼາດ ແລະ ທິດທາງໃນອະນາຄົດ
ການເຕີບໂຕຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ
ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທົ່ວໂລກສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ, ເຊິ່ງຊຸກຍູ້ຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນຄວາມແມ່ນຍຳສູງ:
- ການກໍ່ສ້າງໂຮງງານໃໝ່: ໂຮງງານຂະໜາດ 300 ມມ ໃໝ່ຫຼາຍກວ່າ 78 ແຫ່ງທີ່ກຳລັງກໍ່ສ້າງທົ່ວໂລກ
- ໂຫນດຂະບວນການຂັ້ນສູງ: ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບລະບົບການພິມດ້ວຍ EUV
- ການລົງທຶນດ້ານອຸປະກອນ: ລາຍຈ່າຍທຶນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບເຄື່ອງມືການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
- ຂໍ້ກຳນົດດ້ານຄຸນນະພາບ: ການຮັດແໜ້ນຄວາມທົນທານເມື່ອຮູບຮ່າງຂອງຊິບຫົດຕົວລົງ
ວິວັດທະນາການຂອງລະບົບ optical
ລະບົບ optical ທີ່ກ້າວໜ້າກຳລັງເຮັດໃຫ້ມີຄວາມສາມາດໃໝ່ໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ:
- ພາຫະນະອັດຕະໂນມັດ: LIDAR ແລະ ລະບົບຮັບຮູ້ແສງ
- ອຸປະກອນຊີວະພາບ: ການຖ່າຍພາບ ແລະ ການວັດແທກທາງແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ
- ການຄຳນວນແບບ Quantum: ແພລດຟອມ optical ທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງສຳລັບລະບົບ quantum
- ການຜະລິດຂັ້ນສູງ: ການປະມວນຜົນດ້ວຍເລເຊີ ແລະ ການກວດກາດ້ວຍແສງ
ແນວໂນ້ມການເຊື່ອມໂຍງເຕັກໂນໂລຊີ
ວິທີແກ້ໄຂຫີນແກຣນິດໃນອະນາຄົດຈະປະສົມປະສານກັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາ:
- ໂຄງສ້າງປະສົມ: ການປະສົມປະສານກັບເຊລາມິກ ແລະ ວັດສະດຸປະສົມເພື່ອປະສິດທິພາບສູງສຸດ
- ເຊັນເຊີທີ່ຝັງຢູ່: ການເຊື່ອມໂຍງຂອງການຕິດຕາມອຸນຫະພູມ ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນ
- ຄຸນສົມບັດອັດສະລິຍະ: ລະບົບການຊົດເຊີຍທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ປະສົມປະສານກັບແພລດຟອມແກຣນິດ
- ການອອກແບບແບບໂມດູນ: ລະບົບທີ່ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ສຳລັບການພັດທະນາອຸປະກອນຢ່າງວ່ອງໄວ
ສະຫຼຸບ
ຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ກາຍເປັນພື້ນຖານທີ່ບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້ສໍາລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ ແລະ ລະບົບ optical ທີ່ດໍາເນີນການຢູ່ໃນຂອບເຂດຂອງຄວາມສາມາດໃນການວັດແທກ ແລະ ການຜະລິດ. ຍ້ອນວ່າຮູບຮ່າງຂອງຊິບຫົດຕົວຕໍ່າກວ່າໂຫນດຂະບວນການ 7nm ແລະ ລະບົບ optical ຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ sub-micron, ການເລືອກວັດສະດຸໂຄງສ້າງຈະປ່ຽນຈາກຄວາມມັກດ້ານວິສະວະກໍາໄປສູ່ຄວາມຈໍາເປັນດ້ານປະສິດທິພາບ.
ການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ການດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນ, ຄວາມຕ້ານທານສານເຄມີ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວທີ່ສະເໜີໂດຍຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງບໍ່ສາມາດຖືກລອກແບບໂດຍໂລຫະວິສະວະກຳ ຫຼື ວັດສະດຸທາງເລືອກ. ສຳລັບລະບົບການພິມດ້ວຍໄຟຟ້າເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຊ້ອນກັນລະດັບນາໂນແມັດ, ສຳລັບອຸປະກອນກວດກາແຜ່ນເວເຟີທີ່ກວດຈັບຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນລະດັບອະຕອມ, ແລະ ສຳລັບລະບົບການວັດແທກທາງແສງທີ່ຕ້ອງການຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ວັດແທກໃນນາໂນແມັດ, ຫີນແກຣນິດໃຫ້ພື້ນຖານດຽວທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມສາມາດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດວຽກໄດ້.
ວິທີແກ້ໄຂການເຄື່ອງຈັກແກຣນິດແບບກຳນົດເອງໄດ້ພັດທະນາຂຶ້ນເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຊັບຊ້ອນຂອງອຸປະກອນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ. ຜ່ານການເຄື່ອງຈັກ CNC 5 ແກນທີ່ກ້າວໜ້າ, ການບົດແລະການຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະການກວດສອບຄຸນນະພາບທີ່ຄົບຖ້ວນ, ອົງປະກອບແກຣນິດໄດ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອປະສົມປະສານກັບລະບົບເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ລະບົບແສງທີ່ສັບສົນໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ.
ສຳລັບຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນ, ສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າ, ແລະ ສະຖານທີ່ຜະລິດທີ່ດຳເນີນງານຢູ່ແຖວໜ້າຂອງເຕັກໂນໂລຢີ, ການເລືອກສ່ວນປະກອບຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳແມ່ນການຕັດສິນໃຈເຊີງຍຸດທະສາດທີ່ກຳນົດຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ບັນລຸໄດ້, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນ. ໃນການສະແຫວງຫາຄວາມແມ່ນຍຳໃນລະດັບນາໂນແມັດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງບໍ່ແມ່ນທາງເລືອກ - ມັນເປັນພື້ນຖານ.
ໃນຂະນະທີ່ເຕັກໂນໂລຊີເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ທາງດ້ານແສງຍັງສືບຕໍ່ກ້າວໜ້າ, ຫີນແກຣນິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຈະຍັງຄົງເປັນຫຼັກຂອງອຸປະກອນທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ມີຄວາມສາມາດເຫຼົ່ານີ້. ວັດສະດຸທີ່ໄດ້ພັດທະນາໃນໄລຍະເວລາທາງທໍລະນີວິທະຍາໃນປັດຈຸບັນເປັນພື້ນຖານສໍາລັບຜົນສຳເລັດດ້ານການຜະລິດທີ່ຊັບຊ້ອນທີ່ສຸດຂອງມະນຸດຊາດ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 17 ເມສາ 2026