ເປັນຫຍັງການປ່ຽນໄປສູ່ຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກສຳລັບການກວດສອບເວເຟີຈຶ່ງເປັນການກຳນົດຜົນຜະລິດຂອງເຄິ່ງຕົວນຳລຸ້ນຕໍ່ໄປ?

ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທົ່ວໂລກໃນປະຈຸບັນກຳລັງເຂົ້າສູ່ຍຸກແຫ່ງຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ບໍ່ເຄີຍມີມາກ່ອນ. ເນື່ອງຈາກຂະໜາດຂອງຄຸນສົມບັດຕ່າງໆໃນແຜ່ນຊິລິໂຄນຫົດຕົວລົງໄປສູ່ໂຫນດ 2nm ແລະ 1nm, ຂອບເຂດສຳລັບຄວາມຜິດພາດໃນການວັດແທກ ແລະ ການກວດກາໄດ້ຫາຍໄປເກືອບໝົດແລ້ວ. ພາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການສ່ຽງສູງນີ້, ເຖິງແມ່ນວ່າລະບົບແສງ ແລະ ລຳແສງເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ສຸດກໍ່ມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືເທົ່າກັບແພລດຟອມທີ່ພວກມັນຕັ້ງຢູ່. ຄວາມເປັນຈິງນີ້ໄດ້ກະຕຸ້ນການປ່ຽນແປງທີ່ສຳຄັນໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳ: ການເພິ່ງພາອາໄສທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກສຳລັບການກວດສອບແຜ່ນເວເຟີເປັນວັດສະດຸພື້ນຖານສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມການທົດສອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.

ເປັນເວລາຫຼາຍທົດສະວັດ, ຫີນແກຣນິດທຳມະຊາດໄດ້ເປັນ "ມາດຕະຖານຄຳ" ສຳລັບວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເນື່ອງຈາກມີການດູດຊຶມການສັ່ນສະເທືອນທີ່ໂດດເດັ່ນ ແລະ ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນສະພາບການຂອງການກວດກາແຜ່ນເວເຟີທີ່ທັນສະໄໝ, ບໍ່ແມ່ນຫີນແກຣນິດທັງໝົດຖືກສ້າງຂຶ້ນມາເທົ່າທຽມກັນ. ການມີໂລຫະປະສົມ ຫຼື ແຮ່ທາດແມ່ເຫຼັກໃນຫີນຊັ້ນມາດຕະຖານສາມາດສ້າງການລົບກວນສະໜາມແມ່ເຫຼັກໃນທ້ອງຖິ່ນ. ສຳລັບລະບົບທີ່ໃຊ້ລຳແສງເອເລັກຕຣອນ ຫຼື ເຊັນເຊີແມ່ເຫຼັກທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ, ການແຊກແຊງດັ່ງກ່າວແມ່ນຮ້າຍແຮງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການບິດເບືອນຂອງລຳແສງ ແລະ ຄວາມບໍ່ຖືກຕ້ອງໃນການວັດແທກທີ່ເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທັງໝົດເສຍຫາຍ.

ZHHIMG ໄດ້ໃຊ້ເວລາຫຼາຍປີໃນການປັບປຸງຂະບວນການຄັດເລືອກເພື່ອຊອກຫາແຫຼ່ງທີ່ເກີດຂອງຮູບແບບທາງທໍລະນີສາດທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ແມ່ເຫຼັກຕໍ່າສຸດເທົ່າທີ່ເປັນໄປໄດ້. ໂດຍການສະໜອງຢ່າງແທ້ຈິງຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກສຳລັບການກວດສອບແຜ່ນເວເຟີ, ພວກເຮົາຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນສາມາດຍູ້ຂີດຈຳກັດຂອງຄວາມລະອຽດໂດຍບໍ່ມີ "ສຽງລົບກວນ" ແບບ phantom ທີ່ລົບກວນວັດສະດຸທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ. ຄວາມແຕກຕ່າງທາງດ້ານເຕັກນິກນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ແຍກເຄື່ອງມືກວດກາມາດຕະຖານອອກຈາກຊຸດການວັດແທກລະດັບໂລກທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາຄວາມຊ້ຳຊ້ອນຂອງລະດັບ subnanometer ໄດ້.

ຄຽງຄູ່ກັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານແມ່ເຫຼັກແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້ສຳລັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ. ໃນ Fab ທີ່ທັນສະໄໝ, ແພລດຟອມຕ້ອງເຮັດຫຼາຍກວ່າພຽງແຕ່ຢູ່ນິ້ງໆ; ມັນຕ້ອງຍັງຄົງ "ເບິ່ງບໍ່ເຫັນ" ຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ. ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ແນວຄວາມຄິດຂອງແພລດຟອມຫີນແກຣນິດທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດກາຍເປັນສິ່ງຈຳເປັນ. ວັດສະດຸອຸດສາຫະກຳແບບດັ້ງເດີມມັກຈະລົ້ມເຫຼວໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ ຫຼື ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ເນື່ອງຈາກການປ່ອຍອາຍພິດອອກ - ການປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ກັກຂັງ ຫຼື ສານປະກອບອິນຊີທີ່ລະເຫີຍໄດ້ ເຊິ່ງສາມາດປົນເປື້ອນແສງ ຫຼື ຕົກຄ້າງຢູ່ເທິງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດ “ຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ຮ້າຍແຮງ”.

ປັດຊະຍາວິສະວະກຳ ZHHIMG ຖືວ່າໜ້າດິນຫີນແກຣນິດເປັນອົງປະກອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແທນທີ່ຈະເປັນກ້ອນຫີນທີ່ຄົງທີ່. ການປຸງແຕ່ງແບບພິເສດຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າທຸກໆແພລດຟອມຫີນແກຣນິດທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດຜ່ານຂັ້ນຕອນການທຳຄວາມສະອາດ ແລະ ການປະທັບຕາທີ່ເຂັ້ມງວດ ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອກຳຈັດການປ່ອຍອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ. ລະດັບຄວາມສົມບູນຂອງວັດສະດຸນີ້ແມ່ນສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບເຄື່ອງມືການພິມດ້ວຍຫີນ ແລະ ການກວດກາທີ່ດຳເນີນງານຢູ່ໃນຫ້ອງສະອາດ Class 1 ຫຼື ISO 3, ບ່ອນທີ່ແມ່ນແຕ່ອະນຸພາກດຽວທີ່ຫຼົງໄຫຼກໍ່ສາມາດສົ່ງຜົນໃຫ້ສູນເສຍຜົນຜະລິດຫຼາຍພັນໂດລາ.

ນອກເໜືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງຫີນເອງ, ການປະສົມປະສານຂອງຫີນແກຣນິດເຂົ້າໃນສະຖາປັດຕະຍະກຳເຄື່ອງຈັກທີ່ກວ້າງຂວາງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມເຂົ້າໃຈຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບການເຄື່ອນໄຫວຂອງໂຄງສ້າງ. ຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂອງເອີຣົບ ແລະ ອາເມລິກາບໍ່ໄດ້ຊອກຫາຜູ້ສະໜອງທີ່ງ່າຍດາຍອີກຕໍ່ໄປ; ພວກເຂົາກຳລັງຊອກຫາຄູ່ຮ່ວມງານຮ່ວມມືທີ່ເຂົ້າໃຈຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ກົນຈັກຂອງການຈັດການເວເຟີຄວາມໄວສູງຕະຫຼອດ 24 ຊົ່ວໂມງ. ຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງ ZHHIMG ໃນການຕົບແຕ່ງແບບແມ່ນຍຳ ແລະ ການໃສ່ແບບກຳນົດເອງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປະສົມປະສານຂັ້ນຕອນທີ່ມີອາກາດ ແລະ ມໍເຕີເສັ້ນຊື່ໂດຍກົງໃສ່ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ, ສ້າງລະບົບທີ່ເປັນເອກະພາບທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຜິດພາດໃນການວາງຊ້ອນກັນ.

ໃນຂະນະທີ່ພວກເຮົາຫັນໄປເບິ່ງອະນາຄົດຂອງອຸດສາຫະກຳ, ບົດບາດຂອງພື້ນຖານໂຄງສ້າງຈະມີຄວາມສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ດ້ວຍການມາເຖິງຂອງການພິມດ້ວຍເຕັກໂນໂລຊີ High-NA EUV ແລະ ການຂະຫຍາຍຂະໜາດ 3D NAND, ມວນສານ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຫີນແກຣນິດທີ່ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກສຳລັບການກວດສອບແຜ່ນເວເຟີແພລດຟອມຕ່າງໆຕ້ອງພັດທະນາເພື່ອຮັບມືກັບການເລັ່ງທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ການໂຫຼດຄວາມຮ້ອນທີ່ສັບສົນຫຼາຍຂຶ້ນ. ZHHIMG ແມ່ນຢູ່ແຖວໜ້າຂອງວິວັດທະນາການນີ້, ໂດຍການລົງທຶນໃນເຄື່ອງມືວັດແທກທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອກວດສອບຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຂະໜານກັບຄວາມທົນທານທີ່ເຄີຍຄິດວ່າເປັນໄປບໍ່ໄດ້ພຽງແຕ່ທົດສະວັດກ່ອນ.

ຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຕໍ່ຄວາມເປັນເລີດຢູ່ ZHHIMG ແມ່ນຂັບເຄື່ອນໂດຍຄວາມເຂົ້າໃຈທີ່ວ່າໃນໂລກຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ, ຄວາມໝັ້ນຄົງແມ່ນຕົວກ່ອນຂອງນະວັດຕະກຳ. ປະສິດທິພາບສູງແພລດຟອມຫີນແກຣນິດທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຫ້ອງສະອາດເປັນຫຼາຍກວ່າການຊື້; ມັນແມ່ນການລົງທຶນໃນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວຂອງສາຍການຜະລິດ. ໂດຍການກຳຈັດການແຊກແຊງແມ່ເຫຼັກ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຢູ່ແຫຼ່ງທີ່ມາ, ZHHIMG ໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ງຽບສະຫງົບ, ສະອາດ ແລະ ໝັ້ນຄົງທີ່ຊິບຂອງມື້ອື່ນຕ້ອງການ.

ສຳລັບອົງກອນຕ່າງໆທີ່ພະຍາຍາມເພີ່ມປະສິດທິພາບການກວດກາຂອງເຂົາເຈົ້າ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນທັງໝົດໃນການເປັນເຈົ້າຂອງຊັບສິນວັດແທກຂອງເຂົາເຈົ້າ, ການເລືອກວັດສະດຸພື້ນຖານແມ່ນການຕັດສິນໃຈພື້ນຖານທີ່ສຸດໃນຂັ້ນຕອນການອອກແບບ. ZHHIMG ສືບຕໍ່ສະໜັບສະໜູນຜູ້ນຳທົ່ວໂລກໂດຍການສະໜອງອົງປະກອບຫີນທີ່ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານສາກົນທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດສຳລັບຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳ.

ໃນໂລກທີ່ຖືກກຳນົດໂດຍກ້ອງຈຸລະທັດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງອັນໃຫຍ່ຫຼວງຂອງຫີນແກຣນິດ ZHHIMG ຍັງຄົງເປັນຜູ້ປົກຄອງທີ່ງຽບສະຫງົບຂອງຍຸກດິຈິຕອນ. ພວກເຮົາຂໍເຊີນວິສະວະກອນຂະບວນການ ແລະ ຜູ້ອອກແບບອຸປະກອນມາສຳຫຼວດວິທີທີ່ວິທະຍາສາດວັດສະດຸພິເສດຂອງພວກເຮົາສາມາດກຳນົດຂອບເຂດຂອງສິ່ງທີ່ລະບົບການກວດກາຂອງເຂົາເຈົ້າສາມາດບັນລຸໄດ້ຄືນໃໝ່.