ການເປີດເຜີຍພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ: ວິທີການລັອກຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆ ±0.5μm ສຳລັບການຕັດແກ້ວໂທລະສັບສະຫຼາດ.

ໃນຂະແໜງການຜະລິດໂທລະສັບສະຫຼາດ, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງການຕັດແກ້ວແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ, ແລະພື້ນຖານຫີນແກຣນິດກຳລັງກາຍເປັນຜູ້ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳນີ້. ດ້ວຍຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກ ແລະ ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວໜ້າ, ມັນບັນລຸຄວາມແມ່ນຍຳໃນການວາງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆໄດ້ ±0.5μm, ເຊິ່ງນຳຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ໂດດເດັ່ນມາສູ່ການຕັດແກ້ວຂອງໂທລະສັບສະຫຼາດ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວັດສະດຸທີ່ມີຢູ່ພາຍໃນວາງພື້ນຖານໃຫ້ແກ່ຄວາມແມ່ນຍຳ
ຫີນແກຣນິດມີຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຕໍ່າຫຼາຍ. ລັກສະນະນີ້ເຮັດໃຫ້ຂະໜາດຂອງມັນມີການປ່ຽນແປງໜ້ອຍຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດແກ້ວສຳລັບໂທລະສັບສະຫຼາດ, ການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນສ້າງຄວາມຮ້ອນ, ແລະອຸນຫະພູມອາກາດອ້ອມຂ້າງອາດຈະປ່ຽນແປງໄດ້ເຊັ່ນກັນ. ພື້ນຖານວັດສະດຸທຳມະດາອາດຈະຜິດຮູບຍ້ອນການຂະຫຍາຍຕົວ ແລະ ການຫົດຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດ. ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດສາມາດສະກັດກັ້ນການຜິດຮູບນີ້ໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຕຳແໜ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຂອງແຕ່ລະອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນຕັດ. ຕົວຢ່າງ, ໃນລະຫວ່າງການຕັດທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມສູງຫຼາຍຊົ່ວໂມງຕິດຕໍ່ກັນ, ເຖິງແມ່ນວ່າອຸນຫະພູມພາຍໃນຂອງອຸປະກອນຈະເພີ່ມຂຶ້ນ 10℃, ການປ່ຽນແປງມິຕິຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ໃນລະດັບນາໂນແມັດ, ໂດຍບໍ່ມີການແຊກແຊງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຕັດ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ໂຄງສ້າງພາຍໃນຂອງຫີນແກຣນິດມີຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ມີຄວາມແຂງສູງ, ແລະ ມັນມີຄວາມຕ້ານທານການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ. ການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຕັດ ແລະ ແຮງສຽດທານຂອງອົງປະກອບຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຮາງນຳທາງໃນລະຫວ່າງການນຳໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວ ແມ່ນຍາກທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ. ມັນສາມາດດູດຊຶມ ແລະ ປ້ອງກັນການສັ່ນສະເທືອນຈາກພາຍນອກ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ການສັ່ນສະເທືອນຖືກສົ່ງໄປຫາເຄື່ອງມືຕັດ, ຮັບປະກັນຂະບວນການຕັດທີ່ລຽບງ່າຍ, ແລະ ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ໝັ້ນຄົງສຳລັບການບັນລຸຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.
ໄດ້ຮັບການສະໜັບສະໜູນຈາກຂະບວນການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນ
ຜ່ານເຕັກນິກການປະມວນຜົນທີ່ກ້າວໜ້າ, ຕົວຊີ້ວັດທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຄວາມຊື່ຂອງພື້ນຖານຫີນແກຣນິດແມ່ນຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນຂອບເຂດທີ່ນ້ອຍທີ່ສຸດ. ໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນ, ເຕັກນິກການບົດ ແລະ ການຂັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ລະດັບຄວາມຮາບພຽງທີ່ສູງທີ່ສຸດຢູ່ເທິງໜ້າດິນພື້ນຖານ, ໂດຍມີການຄວບຄຸມຄວາມທົນທານຂອງຄວາມຮາບພຽງພາຍໃນ ±0.5μm. ດ້ວຍວິທີນີ້, ຮາງນຳທາງຂອງອຸປະກອນຕັດທີ່ຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງພື້ນຖານສາມາດຮັກສາການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນຊື່ທີ່ຊັດເຈນ, ສະໜອງພື້ນຖານທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສຳລັບການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ຊັດເຈນຂອງຫົວຕັດ.

ໃນຂະນະດຽວກັນ, ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການປະກອບພື້ນຖານ ແລະ ອົງປະກອບອື່ນໆຂອງອຸປະກອນຕັດ, ເຕັກນິກການວາງຕຳແໜ່ງ ແລະ ການຍຶດຕິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໄດ້ຖືກນຳໃຊ້. ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ແຕ່ລະຈຸດໄດ້ຖືກປັບທຽບຢ່າງແມ່ນຍໍາເພື່ອຮັບປະກັນຕໍາແຫນ່ງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງທີ່ຖືກຕ້ອງລະຫວ່າງອົງປະກອບຕ່າງໆ. ຜ່ານການຍຶດສະກູ ແລະ ການຕິດຕັ້ງເຂັມວາງຕຳແໜ່ງທີ່ຊັດເຈນ, ຫົວຕັດ, ກົນໄກການສົ່ງກຳລັງ, ແລະອື່ນໆ ແມ່ນເຊື່ອມຕໍ່ຢ່າງໃກ້ຊິດກັບພື້ນຖານຫີນແກຣນິດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍລົບລ້າງຊ່ອງຫວ່າງ ແລະ ການວ່າງທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງໃນລະຫວ່າງການວາງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆ.
ລະບົບການຮັບຮູ້ ແລະ ການຄວບຄຸມຂັ້ນສູງເຮັດວຽກປະສານງານກັນ
ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວາງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆ ±0.5μm, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດຍັງຖືກປະສົມປະສານຢ່າງເລິກເຊິ່ງກັບລະບົບການຮັບຮູ້ ແລະ ການຄວບຄຸມທີ່ທັນສະໄໝ. ເຊັນເຊີຕຳແໜ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຕາຂ່າຍ ຫຼື ເຄື່ອງວັດແທກຕາຂ່າຍແມ່ເຫຼັກ ຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນອຸປະກອນຕັດ. ພວກມັນຕິດຕາມຕຳແໜ່ງຂອງຫົວຕັດໃນເວລາຈິງ ແລະ ສົ່ງຂໍ້ມູນກັບຄືນສູ່ລະບົບຄວບຄຸມ. ເມື່ອຫົວຕັດສຳເລັດການຕັດໜຶ່ງຄັ້ງ ແລະ ພ້ອມສຳລັບການວາງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆຄັ້ງຕໍ່ໄປ, ລະບົບຄວບຄຸມຈະປຽບທຽບຂໍ້ມູນທີ່ເຊັນເຊີສົ່ງກັບຕຳແໜ່ງເປົ້າໝາຍທີ່ຕັ້ງໄວ້ລ່ວງໜ້າ.

ເມື່ອກວດພົບການບ່ຽງເບນຂອງຕຳແໜ່ງ, ລະບົບຄວບຄຸມຈະອອກຄຳສັ່ງໃຫ້ຂັບເຄື່ອນມໍເຕີ servo ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພື່ອປັບຕຳແໜ່ງຂອງຫົວຕັດ. ຂະບວນການທັງໝົດສຳເລັດພາຍໃນເວລາສັ້ນໆ, ເຮັດໃຫ້ຫົວຕັດສາມາດປັບໄດ້ໄວ ແລະ ຖືກຕ້ອງຕາມຕຳແໜ່ງເປົ້າໝາຍ, ບັນລຸຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆໄດ້ ±0.5μm. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ລະບົບຄວບຄຸມວົງຈອນປິດນີ້ສາມາດຮຽນຮູ້ ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ເມື່ອເວລາການນຳໃຊ້ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຕຳແໜ່ງຊ້ຳໆຈະໄດ້ຮັບການປັບປຸງຕື່ມອີກ.

ໃນຂົງເຂດການຕັດແກ້ວສຳລັບໂທລະສັບສະຫຼາດ, ພື້ນຖານຫີນແກຣນິດໄດ້ບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການວາງຕໍາແໜ່ງຊ້ຳໆທີ່ ±0.5μm ໂດຍອາໄສຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວັດສະດຸ, ຂະບວນການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນ, ແລະຜົນກະທົບຮ່ວມກັນຂອງລະບົບການຮັບຮູ້ ແລະ ການຄວບຄຸມທີ່ກ້າວໜ້າ. ສິ່ງນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງການຕັດແກ້ວສຳລັບໂທລະສັບສະຫຼາດເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ເຂັ້ມແຂງສຳລັບການພັດທະນາຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດໂທລະສັບສະຫຼາດທັງໝົດ.