ວິທີການກວດຫາຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຫີນແກຣນິດ.

ໃນຂົງເຂດການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າທາງວິທະຍາສາດ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງຫີນແກຣນິດເປັນຕົວຊີ້ບອກຫຼັກເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການແນະນຳລະອຽດກ່ຽວກັບວິທີການກວດສອບຫຼັກໆ ແລະ ຂັ້ນຕອນການດໍາເນີນງານຂອງພວກມັນສໍາລັບທ່ານ.
I. ວິທີການກວດຈັບ interferometer ເລເຊີ
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແປນຂອງເລເຊີແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ນິຍົມໃຊ້ສຳລັບການກວດຈັບຄວາມແປນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ. ຍົກຕົວຢ່າງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແປນຂອງເລເຊີ ZYGO GPI XP, ຄວາມລະອຽດຂອງມັນສາມາດບັນລຸ 0.1nm. ເມື່ອດຳເນີນການກວດຈັບ, ກ່ອນອື່ນໝົດໃຫ້ຈັດແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງຂອງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມແປນໃຫ້ສອດຄ່ອງກັບແພລດຟອມ ແລະ ແບ່ງພື້ນຜິວຂອງແພລດຟອມອອກເປັນພື້ນທີ່ຕາຂ່າຍໄຟຟ້າຂະໜາດ 50mm × 50mm. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ຂໍ້ມູນຂອບການລົບກວນໄດ້ຖືກເກັບກຳແບບຈຸດຕໍ່ຈຸດ, ແລະ ຂໍ້ມູນໄດ້ຖືກປະກອບ ແລະ ວິເຄາະໂດຍໃຊ້ພະຫຸພົດ Zernike ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄ່າຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມແປນ. ວິທີການນີ້ສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບແພລດຟອມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ສາມາດກວດຈັບຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມແປນໄດ້ ≤0.5μm/m². ມັນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການກວດຈັບເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍແສງ ແລະ ແພລດຟອມເຄື່ອງວັດແທກສາມພິກັດລະດັບສູງ.
II. ວິທີການອາເຣລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ
ການກວດຈັບລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນງ່າຍຕໍ່ການໃຊ້ງານ ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງ. ເຄື່ອງວັດແທກລະດັບເອເລັກໂຕຣນິກ TESA A2 (ມີຄວາມລະອຽດ 0.01μm/m) ໄດ້ຖືກເລືອກ ແລະ ຈັດລຽງຢູ່ໃນລະດັບ 9×9 ຕາມທິດທາງແກນ X/Y ຂອງແພລດຟອມ. ໂດຍການເກັບກຳຂໍ້ມູນຄວາມອຽງຂອງແຕ່ລະລະດັບພ້ອມໆກັນ ແລະ ຈາກນັ້ນໃຊ້ວິທີການຄິດໄລ່ນ້ອຍທີ່ສຸດ, ຄ່າຄວາມຮາບພຽງສາມາດໄດ້ຮັບຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ວິທີການນີ້ສາມາດລະບຸເງື່ອນໄຂຄວາມໂຄ້ງ ແລະ ຄວາມນູນຂອງແພລດຟອມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຕົວຢ່າງ, ຄວາມຜັນຜວນຂອງ 0.2μm ພາຍໃນຂອບເຂດ 50 ມມ ຍັງສາມາດກວດພົບໄດ້, ເຊິ່ງເໝາະສົມສຳລັບການກວດຈັບຢ່າງວ່ອງໄວໃນການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ.
III. ວິທີການຜລຶກແບບ Optical Flat
ວິທີການຜລຶກແບບ optical flat crystal ແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບການກວດຈັບແພລດຟອມທີ່ມີພື້ນທີ່ນ້ອຍ. ຕິດຜລຶກແບບ optical flat crystal ໃຫ້ແໜ້ນກັບພື້ນຜິວທີ່ຈະທົດສອບຢູ່ເທິງແພລດຟອມ ແລະ ສັງເກດເບິ່ງຂອບການແຊກແຊງທີ່ເກີດຂຶ້ນລະຫວ່າງພວກມັນພາຍໃຕ້ແສງສະຫວ່າງຂອງແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງ monochromatic (ເຊັ່ນ: ໂຄມໄຟໂຊດຽມ). ຖ້າເສັ້ນເປັນເສັ້ນຊື່ຂະໜານກັນ, ມັນຊີ້ບອກເຖິງຄວາມຮາບພຽງທີ່ດີ. ຖ້າມີເສັ້ນໂຄ້ງປະກົດຂຶ້ນ, ໃຫ້ຄິດໄລ່ຄວາມຜິດພາດຂອງຄວາມຮາບພຽງໂດຍອີງໃສ່ລະດັບຄວາມໂຄ້ງຂອງເສັ້ນ. ເສັ້ນໂຄ້ງແຕ່ລະເສັ້ນສະແດງເຖິງຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມສູງ 0.316μm, ແລະ ຂໍ້ມູນຄວາມຮາບພຽງສາມາດໄດ້ຮັບຜ່ານການແປງງ່າຍໆ.
ສີ່. ວິທີການກວດກາເຄື່ອງວັດແທກສາມພິກັດ
ເຄື່ອງວັດແທກສາມພິກັດສາມາດບັນລຸການວັດແທກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນພື້ນທີ່ສາມມິຕິ. ວາງແພລດຟອມຫີນແກຣນິດໄວ້ເທິງໂຕະເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງວັດແທກ ແລະ ໃຊ້ໂພຣບເພື່ອເກັບກຳຂໍ້ມູນຈາກຈຸດວັດແທກຫຼາຍຈຸດເທິງໜ້າດິນຂອງແພລດຟອມຢ່າງເປັນເອກະພາບ. ລະບົບເຄື່ອງວັດແທກປະມວນຜົນ ແລະ ວິເຄາະຂໍ້ມູນເຫຼົ່ານີ້ເພື່ອສ້າງລາຍງານຄວາມຮາບພຽງຂອງແພລດຟອມ. ວິທີການນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດກວດຈັບຄວາມຮາບພຽງເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງໄດ້ຮັບພາລາມິເຕີເລຂາຄະນິດອື່ນໆຂອງແພລດຟອມພ້ອມໆກັນ, ແລະ ເໝາະສົມສຳລັບການກວດຈັບແພລດຟອມຫີນແກຣນິດຂະໜາດໃຫຍ່ຢ່າງຄົບຖ້ວນ.
ການເປັນແມ່ບົດໃນວິທີການກວດຈັບເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານປະເມີນຄວາມຮາບພຽງຂອງເວທີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຫີນແກຣນິດໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ ແລະ ໃຫ້ການຮັບປະກັນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບການດໍາເນີນງານທີ່ໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນຄວາມແມ່ນຍໍາ.