ແພລດຟອມແກຣນິດທີ່ອຸທິດໃຫ້ກັບຫ້ອງທີ່ສະອາດ: ສູນການປ່ອຍໄອອອນໂລຫະ, ເປັນທາງເລືອກທີ່ເໝາະສົມສຳລັບອຸປະກອນກວດກາແຜ່ນເວເຟີ.

ໃນຂົງເຂດການກວດກາເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນ. ເນື່ອງຈາກຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຂະບວນການຜະລິດຊິບສືບຕໍ່ປັບປຸງດີຂຶ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບແພລດຟອມແບກຫາບຂອງອຸປະກອນກວດຈັບຈຶ່ງມີຄວາມເຂັ້ມງວດເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ແພລດຟອມແກຣນິດ, ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະຂອງການປ່ອຍໄອອອນໂລຫະສູນ ແລະ ມົນລະພິດອະນຸພາກຕ່ຳ, ໄດ້ລື່ນກາຍວັດສະດຸສະແຕນເລດແບບດັ້ງເດີມ ແລະ ກາຍເປັນທາງອອກທີ່ຕ້ອງການສຳລັບອຸປະກອນກວດກາເວເຟີ.

ຫີນແກຣນິດເປັນຫີນອັກຄະນີທຳມະຊາດທີ່ປະກອບດ້ວຍແຮ່ທາດທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະເຊັ່ນ: ຫີນຄວດສ໌, ຫີນເຟວສະປາ ແລະ ຫີນໄມກາ. ລັກສະນະນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນມີປະໂຫຍດຈາກການປ່ອຍໄອອອນໂລຫະສູນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ເຫຼັກສະແຕນເລດ, ໃນຖານະເປັນໂລຫະປະສົມຂອງໂລຫະເຊັ່ນ: ເຫຼັກ, ໂຄຣມຽມ ແລະ ນິກເກີນ, ມັກຈະເກີດການກັດກ່ອນທາງໄຟຟ້າເຄມີຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງມັນ ເນື່ອງຈາກການກັດກ່ອນຂອງໄອນ້ຳ ແລະ ອາຍແກັສທີ່ເປັນກົດ ຫຼື ເປັນດ່າງໃນສະພາບແວດລ້ອມຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການຕົກຕະກອນຂອງໄອອອນໂລຫະເຊັ່ນ: Fe²⁺ ແລະ Cr³⁺. ເມື່ອໄອອອນນ້ອຍໆເຫຼົ່ານີ້ຕິດກັບໜ້າດິນຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ພວກມັນຈະປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າຂອງວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳໃນຂະບວນການຕໍ່ມາເຊັ່ນ: ການພິມດ້ວຍແສງ ແລະ ການແກະສະຫຼັກ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການເລື່ອນຂອງແຮງດັນໄຟຟ້າຂອບເຂດຂອງທຣານຊິດເຕີ, ແລະ ແມ່ນແຕ່ນຳໄປສູ່ການລັດວົງຈອນໃນວົງຈອນ. ຂໍ້ມູນການທົດສອບຂອງສະຖາບັນວິຊາຊີບສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ ຫຼັງຈາກເວທີຫີນແກຣນິດຖືກສຳຜັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກັບສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງຫ້ອງທີ່ສະອາດແບບຈຳລອງ (23±0.5℃, 45%±5% RH) ເປັນເວລາ 1000 ຊົ່ວໂມງ, ການປ່ອຍໄອອອນໂລຫະຕໍ່າກວ່າຂີດຈຳກັດການກວດພົບ (< 0.1ppb). ອັດຕາຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ເກີດຈາກການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະໄອອອນເມື່ອໃຊ້ເວທີເຫຼັກສະແຕນເລດສາມາດສູງເຖິງ 15% ຫາ 20%.

ໃນດ້ານການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ເວທີຫີນແກຣນິດຍັງມີປະສິດທິພາບດີເປັນພິເສດ. ຫ້ອງສະອາດມີຄວາມຕ້ອງການສູງຫຼາຍສຳລັບຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກທີ່ລະລາຍໃນອາກາດ. ຕົວຢ່າງ, ໃນຫ້ອງສະອາດ ISO Class 1, ຈຳນວນອະນຸພາກ 0.1μm ທີ່ອະນຸຍາດຕໍ່ແມັດກ້ອນບໍ່ເກີນ 10. ເຖິງແມ່ນວ່າເວທີເຫຼັກສະແຕນເລດໄດ້ຜ່ານການຂັດເງົາແລ້ວ, ມັນອາດຈະຍັງຜະລິດເສດໂລຫະ ຫຼື ຕະກອນອົກໄຊດ໌ທີ່ລອກອອກຍ້ອນແຮງພາຍນອກເຊັ່ນ: ການສັ່ນສະເທືອນຂອງອຸປະກອນ ແລະ ການປະຕິບັດງານຂອງພະນັກງານ, ເຊິ່ງສາມາດແຊກແຊງເສັ້ນທາງແສງຂອງການກວດສອບ ຫຼື ຂູດພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນ. ເວທີຫີນແກຣນິດ, ດ້ວຍໂຄງສ້າງແຮ່ທາດທີ່ໜາແໜ້ນ (ຄວາມໜາແໜ້ນ ≥2.7g/cm³) ແລະ ຄວາມແຂງສູງ (6-7 ໃນລະດັບ Mohs), ບໍ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະສວມໃສ່ ຫຼື ແຕກຫັກໃນລະຫວ່າງການນຳໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວ. ການວັດແທກສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າພວກມັນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກທີ່ລະລາຍໃນອາກາດຂອງພື້ນທີ່ອຸປະກອນການກວດສອບໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 40% ເມື່ອທຽບກັບເວທີເຫຼັກສະແຕນເລດ, ເຊິ່ງຮັກສາມາດຕະຖານຊັ້ນຫ້ອງສະອາດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ນອກເໜືອໄປຈາກລັກສະນະທີ່ສະອາດຂອງມັນແລ້ວ, ປະສິດທິພາບທີ່ສົມບູນແບບຂອງເວທີແກຣນິດຍັງເກີນກວ່າເຫຼັກສະແຕນເລດຫຼາຍ. ໃນດ້ານຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງມັນແມ່ນພຽງແຕ່ (4-8) ×10⁻⁶/℃, ໜ້ອຍກວ່າເຄິ່ງໜຶ່ງຂອງເຫຼັກສະແຕນເລດ (ປະມານ 17 ×10⁻⁶/℃), ເຊິ່ງສາມາດຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງຂອງອຸປະກອນກວດຈັບໄດ້ດີຂຶ້ນເມື່ອອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງທີ່ສະອາດມີການປ່ຽນແປງ. ລັກສະນະການດູດຊຶມທີ່ສູງ (ອັດຕາສ່ວນການດູດຊຶມ > 0.05) ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສັ່ນສະເທືອນຂອງອຸປະກອນໄດ້ຢ່າງໄວວາ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ໂພຣບກວດຈັບສັ່ນ. ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຕາມທຳມະຊາດຂອງມັນຊ່ວຍໃຫ້ມັນຍັງຄົງໝັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າຈະສຳຜັດກັບຕົວລະລາຍ photoresist, ອາຍແກັສກັດກ່ອນ ແລະ ສານເຄມີອື່ນໆໂດຍບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງມີການປ້ອງກັນການເຄືອບເພີ່ມເຕີມ.

ໃນປະຈຸບັນ, ແພລດຟອມແກຣນິດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນໂຮງງານຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ກ້າວຫນ້າ. ຂໍ້ມູນສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າຫຼັງຈາກການຮັບຮອງເອົາແພລດຟອມແກຣນິດ, ອັດຕາການຕັດສິນທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຂອງການກວດຈັບອະນຸພາກພື້ນຜິວແຜ່ນເວເຟີໄດ້ຫຼຸດລົງ 60%, ວົງຈອນການປັບທຽບອຸປະກອນໄດ້ຂະຫຍາຍອອກໄປສາມເທົ່າ, ແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດໂດຍລວມໄດ້ຫຼຸດລົງ 25%. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາກ້າວໄປສູ່ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແພລດຟອມແກຣນິດ, ດ້ວຍຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກຂອງມັນເຊັ່ນ: ການປ່ອຍໄອອອນໂລຫະສູນ ແລະ ມົນລະພິດອະນຸພາກຕໍ່າ, ຈະສືບຕໍ່ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບການກວດກາແຜ່ນເວເຟີ, ກາຍເປັນກໍາລັງທີ່ສໍາຄັນທີ່ຂັບເຄື່ອນຄວາມກ້າວໜ້າຂອງອຸດສາຫະກໍາ.